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1. (WO2009110366) プラズマ処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/110366    国際出願番号:    PCT/JP2009/053510
国際公開日: 11.09.2009 国際出願日: 26.02.2009
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01), H05H 1/00 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ITO, Toru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAGASEKI, Sumie [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ITO, Toru; (JP).
NAGASEKI, Sumie; (JP)
代理人: SUYAMA, Saichi; Kanda Higashiyama Bldg., 1 Kandata-cho 2-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1010046 (JP)
優先権情報:
2008-057883 07.03.2008 JP
発明の名称: (EN) PLASMA PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA
(JA) プラズマ処理装置
要約: front page image
(EN)A plasma monitoring device (100) is provided with a measuring section (101), and a coaxial cable (102) connected to the measuring section (101). One end of the coaxial cable (102) is inserted into a plasma generating region in a processing chamber (2). A leading end portion of the coaxial cable (102) is permitted to be a probe, and the portion is in a state where the core cable is exposed. The measuring section (101) detects frequency distribution of electromagnetic waves existing in plasma detected by the probe portion of the coaxial cable (102), and displays the detected frequency distribution.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de surveillance de plasma (100) qui est pourvu d'une section de mesure (101) et d'un câble coaxial (102) connecté à la section de mesure (101). Une extrémité du câble coaxial (102) est introduite dans une région de génération de plasma dans une chambre de traitement (2). Une partie d'extrémité avant du câble coaxial (102) est autorisée à former une sonde, et la partie est dans un état dans lequel l'âme du câble est exposée. La section de mesure (101) détecte une distribution de fréquence d'ondes électromagnétiques, existant dans un plasma, détectée par la partie sonde du câble coaxial (102), et affiche la distribution de fréquence détectée.
(JA) プラズマモニタリング装置100は、測定部101と、この測定部101に接続された同軸ケーブル102とを備えている。同軸ケーブル102の一端は、処理チャンバー2内のプラズマ生成領域内に挿入されている。同軸ケーブル102の先端部分は、プローブとされており、この部分は芯線が露出した状態とされている。測定部101は、同軸ケーブル102のプローブ部分で検出されたプラズマ中に存在する電磁波の周波数分布を検出し、この検出した周波数分布を表示する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)