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1. (WO2009093596) 金属微粒子の生成方法、金属含有ペーストの製造方法及び金属薄膜配線の形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/093596    国際出願番号:    PCT/JP2009/050834
国際公開日: 30.07.2009 国際出願日: 21.01.2009
予備審査請求日:    13.11.2009    
IPC:
B22F 9/02 (2006.01), B22F 9/14 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), H01B 13/00 (2006.01), H01L 21/288 (2006.01)
出願人: CANON ANELVA CORPORATION [JP/JP]; 2-5-1, Kurigi, Asao-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2158550 (JP) (米国を除く全ての指定国).
National University Corporation Nagoya University [JP/JP]; 1, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-shi, Aichi, 4608601 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SASAKI, Koichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IKEDA, Masayoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAGO, YASUMI [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SASAKI, Koichi; (JP).
IKEDA, Masayoshi; (JP).
SAGO, YASUMI; (JP)
代理人: OHTSUKA, Yasunori; 7th FL., KIOICHO PARK BLDG. 3-6, KIOICHO CHIYODA-KU, Tokyo 1020094 (JP)
優先権情報:
2008-011801 22.01.2008 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR PRODUCING METAL FINE PARTICLE, METHOD FOR PRODUCING METAL-CONTAINING PASTE, AND METHOD FOR FORMING METAL THIN FILM WIRING
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE FINES PARTICULES MÉTALLIQUES, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE PÂTE CONTENANT DU MÉTAL, ET PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN CÂBLAGE À FILM MINCE MÉTALLIQUE
(JA) 金属微粒子の生成方法、金属含有ペーストの製造方法及び金属薄膜配線の形成方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a method for safely producing metal fine particles at low cost without using a chlorine gas. Specifically, copper fine particles (101a, 101b) are produced by sputtering a copper target (2), which is arranged in a chamber (6) of a sputtering apparatus, by generating a plasma (100) in the chamber (6) while setting the pressure within the chamber (6) to not less than 13 Pa.
(FR)L'invention concerne un procédé pour produire sûrement de fines particules métalliques à un coût réduit sans utiliser de gaz chlore. En particulier, des particules fines de cuivre (101a, 101b) sont produites en pulvérisant une cible de cuivre (2), disposée dans une chambre (6) d'un appareil de pulvérisation, en générant un plasma (100) dans la chambre (6) tout en fixant la pression à l'intérieur de la chambre (6) au minimum à 13 Pa.
(JA) 塩素ガスを使用することなく、金属微粒子を安全にかつ安価に生成する方法等を提供する。スパッタ装置のチャンバー6内に銅ターゲット2を設置し、チャンバー6内の圧力を13Pa以上とした状態でチャンバー6内にプラズマ100を生成して銅ターゲット2をスパッタすることにより、銅微粒子101a,101bを生成する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)