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1. (WO2009093553) 照明装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/093553    国際出願番号:    PCT/JP2009/050711
国際公開日: 30.07.2009 国際出願日: 20.01.2009
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
FUKUI, Tatsuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KATO, Masaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: FUKUI, Tatsuo; (JP).
KATO, Masaki; (JP)
代理人: FUJIMOTO, Yoshihiro; VerdyNOGIZAKA 2F, 14-7, Minamiaoyama 1-chome, Minato-ku, Tokyo, 1070062 (JP)
優先権情報:
2008-010286 21.01.2008 JP
発明の名称: (EN) ILLUMINATING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL D'ÉCLAIRAGE, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 照明装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)An illuminating apparatus is provided with a light guide fiber (10), which receives illuminating light emitted from light sources (2a, 2b, 2c) from a plurality of light incoming ports (12a, 12b, 12c) and outputs, from a common light outputting port (14a), at least a part of each illuminating light received by each light incoming port; an illuminating relay optical system (6b) which optically relays the illuminating light emitted from the light source (2b) and permits the relayed light to be a first luminous flux having a first incidence angle so as to introduce the first luminous flux into the light incoming port (12b); and illuminating relay optical systems (6a, 6c), which optically relay the illuminating light emitted from the light sources (2a, 2c) and permit the relayed light to be a second luminous flux having a second incidence angle different from the first incidence angle so as to introduce the second luminous flux into the light incoming ports (12a, 12c).
(FR)L'invention porte sur un appareil d'éclairage comprenant une fibre guide de lumière (10), qui reçoit une lumière d'éclairage émise par des sources de lumière (2a, 2b, 2c) par une pluralité de ports d'entrée de lumière (12a, 12b, 12c) et délivre, par un port de sortie de lumière commun (14a), au moins une partie de chaque lumière d'éclairage reçue par chaque port d'entrée de lumière ; un système optique de relais d'éclairage (6b) qui relaye optiquement la lumière d'éclairage émise par la source de lumière (2b) et permet à la lumière relayée d'être un premier flux lumineux ayant un premier angle d'incidence de façon à introduire le premier flux lumineux dans le port d'entrée de lumière (12b) ; et des systèmes optiques de relais d'éclairage (6a, 6c) qui relayent optiquement la lumière d'éclairage émise par les sources de lumière (2a, 2c) et permettent à la lumière relayée d'être un second flux lumineux ayant un second angle d'incidence différent du premier angle d'incidence de façon à introduire le second flux lumineux dans les ports d'entrée de lumière (12a, 12c).
(JA)光源2a,2b,2cから発せられる照明光を複数の入射口12a,12b,12cから受光し、該入射口ごとに受光した各照明光の少なくとも一部を共通の射出口14aから射出させるライトガイドファイバ10と、光源2bからの照明光を光学的にリレーして第1の入射角を有する第1光束とし、入射口12bへ導入する照明リレー光学系6bと、光源2a,2cからの照明光をそれぞれ光学的にリレーして前記第1の入射角と異なる第2の入射角を有する第2光束とし、入射口12a,12cへ導入する照明リレー光学系6a,6cとを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)