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1. (WO2009093523) 磁気センサ及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/093523    国際出願番号:    PCT/JP2009/050526
国際公開日: 30.07.2009 国際出願日: 16.01.2009
IPC:
G01R 33/09 (2006.01), H01L 43/08 (2006.01), H01L 43/12 (2006.01)
出願人: ALPS ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 1-7, Yukigaya-otsukamachi, Ota-ku, Tokyo, 1458501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ANDO, Hideto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAKABATAKE, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAITO, Tatusya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ANDO, Hideto; (JP).
TAKABATAKE, Takashi; (JP).
SAITO, Tatusya; (JP)
代理人: NOZAKI, Teruo; Oak Ikebukuro Building 3F, 1-21-11 Higashi-Ikebukuro, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
優先権情報:
2008-013341 24.01.2008 JP
発明の名称: (EN) MAGNETIC SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
(FR) CAPTEUR MAGNÉTIQUE ET PROCÉDÉ POUR SA FABRICATION
(JA) 磁気センサ及びその製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is a magnetic sensor which especially has stabilized connection between an electrode pad and an element section and is manufactured by a simplified manufacturing process. A method for manufacturing such magnetic sensor is also provided. A magnetoresistance effect element is provided with an element section (12), and an extending region (13) which is formed to extend from an end section of the element section (12), in plane view. On the element section (12) and the extending region (13), an insulating layer (18) is formed. A contact hole (19), which has a recessed shape and continuously penetrates the insulating layer (18) and the extending region (13), is formed on the insulating layer and the extending region. An electrode pad (21) is formed on the contact hole (19), a surface of the electrode pad (21) is exposed to the external, and the electrode pad (21) and the extending region (13) are electrically connected to each other. The element section (12) and the extending region (13) are integrally formed by the same layer constitution using magnetoresistance effects wherein an electric resistance value of the element section and that of the extending region fluctuate with respect to an external magnetic field.
(FR)L'invention porte sur un capteur magnétique qui comporte en particulier une connexion stabilisée entre une zone d'électrode et une section d'élément, et qui est fabriquée par un procédé de fabrication simplifié. L'invention porte également sur un procédé de fabrication d'un tel capteur magnétique. Un élément à effet de magnétorésistance comporte une section d'élément (12), et une région d'extension (13) qui est formée de façon à s'étendre à partir d'une section d'extrémité de la section d'élément (12), en vue en plan. Sur la section d'élément (12) et la région d'extension (13), est formée une couche d'isolement (18). Un trou de contact (19), qui a une forme en cavité et qui pénètre de façon continue dans la couche d'isolement (18) et la région d'extension (13), est formé sur la couche d'isolement et la région d'extension. Une zone d'électrode (21) est formée sur le trou de contact (19), une surface de la zone d'électrode (21) est exposée à l'extérieur, et la zone d'électrode (21) et la région d'extension (13) sont électriquement connectées l'une à l'autre. La section d'élément (12) et la région d'extension (13) sont intégralement formées par la même constitution de couche à l'aide d'effets de magnétorésistance, une valeur de résistance électrique de la section d'élément et celle de la région d'extension fluctuant par rapport à un champ magnétique externe.
(JA)【課題】 特に、電極パッドと素子部との接続の安定化と共に、製造プロセスの簡素化を図ることが可能な磁気センサ及びその製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 磁気抵抗効果素子は、平面視にて、素子部12と、素子部12の端部から引き出して形成された延出領域13とを備え、素子部12上及び延出領域13上には、絶縁層18が形成されている。絶縁層18及び延出領域13には連続して貫く凹形状のコンタクトホール19が形成されており、コンタクトホール19には電極パッド21が形成され、電極パッド21の表面は外部に露出しているとともに、電極パッド21と延出領域13とは電気的に接続されている。素子部12と延出領域13とが外部磁場に対して電気抵抗値が変動する磁気抵抗効果を利用した同じ層構成にて一体形成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)