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1. (WO2009093284) 走査型プローブ顕微鏡
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/093284    国際出願番号:    PCT/JP2008/000078
国際公開日: 30.07.2009 国際出願日: 24.01.2008
IPC:
G01Q 20/02 (2010.01), G01Q 30/06 (2010.01)
出願人: Shimadzu Corporation [JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi Kyoto, 6048511 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ITO, Takeshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ITO, Takeshi; (JP)
代理人: KOBAYASI, Ryohei; KOBAYASI PATENT & TRADEMARK, 7th Floor, Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto, 6008091 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡
要約: front page image
(EN)Part of light emitted from a laser light source (11) for detecting displacement of a cantilever (4) is taken by a half mirror (20) and introduced into a photo-detector (21) having a four-divided light receiving surface. If an emitting direction of the emitted light is inclined by a factor such as a change in an ambient temperature, a light spot position moves on the light reception surface of the photo-detector (21). Therefore, a quantity of the inclination and the inclined direction in the emitting can be recognized from a quantity and direction of the movement. A drive quantity computing unit (22) calculates the drive quantity according to the quantity and direction of the inclination, and causes an actuator (23) to displace the laser light source (11) around a Y-axis and a Z-axis. Thus, the inclination in the emitting direction can be compensated, and erroneous recognition that a specimen surface is uneven can be prevented.
(FR)La présente invention concerne un microscope dont une partie de lumière émise provenant d'une source lumineuse (11) pour la détection du déplacement d'une console (4) est reprise par un demi-miroir (20) et introduite dans un capteur optique (21) présentant une surface de réception de lumière divisée en quatre. Si une direction d'émission de la lumière émise est inclinée par un facteur tel qu'un changement dans la température ambiante, une position de tache de lumineux se déplace sur la surface de réception de lumière du capteur optique (21). Par conséquent, une quantité de l'inclinaison et la direction inclinée dans l'émission peuvent être identifiées à partir d'une quantité et de la direction du déplacement. Une unité de calcul de quantité d'entraînement (22) calcule la quantité d'entraînement selon la quantité et la direction de l'inclinaison, et entraîne le déplacement de la source lumineuse laser par un actionneur (23) autour d'un axe des ordonnées et d'un axe optique. Ainsi, l'inclinaison dans la direction d'émission peut être compensée, et une identification erronée qu'une surface d'échantillon est irrégulière peut être évitée.
(JA) カンチレバー(4)の変位を検出するためにレーザ光源(11)から出射された光の一部をハーフミラー(20)で取り出し、4分割された受光面を有する光検出器(21)に導入する。周囲温度の変化等の要因により出射光の出射方向が傾くと、光検出器(21)の受光面上で光スポット位置が移動するから、その移動量と移動方向から出射方向の傾き量と傾き方向とが認識可能である。駆動量演算部(22)はその傾き量及び方向に応じて駆動量を計算し、アクチュエータ(23)によりレーザ光源(11)をY軸周り及びZ軸周りに変位させる。これにより、出射光の出射方向の傾きが補償され、試料表面の凹凸であるとの誤認識を防止することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)