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1. (WO2009091012) 銅または銅合金用のエッチング液、エッチング前処理液およびエッチング方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/091012    国際出願番号:    PCT/JP2009/050503
国際公開日: 23.07.2009 国際出願日: 08.01.2009
IPC:
C23F 1/18 (2006.01), C23F 1/00 (2006.01)
出願人: MITSUBISHI PAPER MILLS LIMITED [JP/JP]; 4-2, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KATO, Makoto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TOYODA, Yuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAGAWA, Kunihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHIDA, Mariko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KANEDA, Yasuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KATO, Makoto; (JP).
TOYODA, Yuji; (JP).
NAKAGAWA, Kunihiro; (JP).
ISHIDA, Mariko; (JP).
KANEDA, Yasuo; (JP)
代理人: NAKAMURA, Shizuo; 3rd Fl., ST Bldg., 24-10, Taito 2-chome Taito-ku, Tokyo 110-0016 (JP)
優先権情報:
2008-005490 15.01.2008 JP
2008-133499 21.05.2008 JP
2008-310821 05.12.2008 JP
発明の名称: (EN) ETCHANT FOR COPPER OR COPPER ALLOY, LIQUID FOR ETCHING PRETREATMENT, AND ETCHING METHOD
(FR) AGENT DE GRAVURE POUR CUIVRE OU ALLIAGE DE CUIVRE, LIQUIDE POUR PRÉTRAITEMENT DE GRAVURE, ET PROCÉDÉ DE GRAVURE
(JA) 銅または銅合金用のエッチング液、エッチング前処理液およびエッチング方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is an etchant which contains (1) 1-20% by mass of iron (III) chloride and (2) 5-100% by mass of oxalic acid relative to the iron (III) chloride, while containing water as a main component. Also disclosed is an etching method using the etchant. In the etching method, a pretreatment is performed by using an aqueous solution containing at least one component selected from the group consisting of acids and substances dissolving copper or a copper alloy. Consequently, the etching method achieves high yield.
(FR)L'invention porte sur un agent de gravure qui contient (1) 1-20 % en masse de chlorure de fer (III) et (2) 5-100 % en d'acide oxalique par rapport au chlorure de fer (III), et qui contient de l'eau comme composant principal. L'invention porte également sur un procédé de gravure utilisant l'agent de gravure. Dans le procédé de gravure, un prétraitement est effectué à l'aide d'une solution aqueuse contenant au moins un composant choisi dans le groupe constitué par des acides et des substances dissolvant le cuivre ou un alliage de cuivre. Par conséquent, le procédé de gravure a un rendement élevé.
(JA)水を主成分とし、(1)1~20質量%の塩化鉄(III)および(2)塩化鉄に対して5~100質量%のシュウ酸を含有せしめたエッチング液、およびかかるエッチング液を用いたエッチング方法である。かかるエッチング方法において、銅または銅合金を溶解する成分及び酸から選択される少なくとも1種の成分を含む水溶液で前処理を行うことで、良好な歩留まりが実現できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)