WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2009090871) 被検査体の検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/090871    国際出願番号:    PCT/JP2009/000114
国際公開日: 23.07.2009 国際出願日: 14.01.2009
IPC:
G01B 11/02 (2006.01), G01B 11/245 (2006.01), H05K 13/08 (2006.01)
出願人: SAKI CORPORATION [JP/JP]; 4-14-7, Nakanobu, Shinagawa-ku, Tokyo 1420053 (JP) (米国を除く全ての指定国).
AKIYAMA, Yoshihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: AKIYAMA, Yoshihiro; (JP)
代理人: MORISHITA, Sakaki; 2-11-12, Ebisu-Nishi, Shibuya-ku, Tokyo 1500021 (JP)
優先権情報:
2008-006227 15.01.2008 JP
発明の名称: (EN) APPARATUS FOR INSPECTING SUBJECT TO BE INSPECTED
(FR) APPAREIL POUR L'INSPECTION D'UN OBJET À INSPECTER
(JA) 被検査体の検査装置
要約: front page image
(EN)Provided is a substrate inspecting system wherein a line sensor (38) of a first scanning unit (30) scans through a telecentric lens (40) a vertically viewed image of a surface of a substrate (2) to be inspected. The line sensor (38) of a second scanning unit (32) scans an image of a substrate (2) to be inspected, at an angle tilted to a first direction by a first angle (α) from a direction vertical to the surface to be inspected. The line sensor (38) of a third scanning unit (34) scans an image of the substrate (2) to be inspected, at an angle tilted to a second direction by a second angle (β) from the direction vertical to the surface to be inspected. A judging section calculates the height of the surface of the substrate (2) to be inspected by using image data obtained by the first scanning unit (30), the second scanning unit (32) and the third scanning unit (34).
(FR)La présente invention a pour objet un système d'inspection d'un substrat, un capteur de ligne (38) d'une première unité de balayage (30) balayant à travers une lentille télécentrique (40) une image vue verticalement d'une surface d'un substrat (2) à inspecter. Le capteur de ligne (38) d'une deuxième unité de balayage (32) balaie une image d'un substrat (2) à inspecter, à un angle incliné dans une première direction selon un premier angle (α) par rapport à une direction perpendiculaire à la surface à inspecter. Le capteur de ligne (38) d'une troisième unité de balayage (34) balaie une image du substrat (2) à inspecter, à un angle incliné dans une seconde direction selon un second angle (β) par rapport à une direction perpendiculaire à la surface à inspecter. Une section d'estimation calcule la hauteur de la surface du substrat (2) à inspecter en utilisant les données d'image obtenues par la première unité de balayage (30), la deuxième unité de balayage (32) et la troisième unité de balayage (34).
(JA) 基板検査システムにおいて、第1走査ユニット(30)のラインセンサ(38)は、テレセントリックレンズ(40)を介して基板(2)の被検査面を垂直に見た映像を走査する。第2走査ユニット(32)のラインセンサ(38)は、被検査面と垂直な方向から第1角度(α)だけ第1方向側に傾いた角度で基板(2)の被検査面を見た映像を走査する。第3走査ユニット(34)のラインセンサ(38)は、被検査面と垂直な方向から第2角度(β)だけ第2方向側に傾いた角度で基板(2)の被検査面を見た映像を走査する。判定部は、第1走査ユニット(30)、第2走査ユニット(32)、および第3走査ユニット(34)によって取得された画像データを利用して基板(2)の被検査面の高さを算出する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)