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World Intellectual Property Organization
1. (WO2009090762) 薄膜形成装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/090762    国際出願番号:    PCT/JP2008/056528
国際公開日: 23.07.2009 国際出願日: 26.03.2008
B05C 15/00 (2006.01), B05C 5/00 (2006.01)
出願人: SAT CO., LTD. [JP/JP]; 14-19, Fujisaki 1-chome Tsuchiura-shi, Ibaraki 300-0813 (JP) (米国を除く全ての指定国).
WATANABE, Michihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAKAMOTO, Atsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAITO, Tadayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAJIMA, Junichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: WATANABE, Michihiro; (JP).
SAKAMOTO, Atsushi; (JP).
SAITO, Tadayuki; (JP).
TAJIMA, Junichi; (JP)
代理人: NAKAGAWA, Kunio; Tsukuba International Patent Office 1-7, Ninomiya 2-chome Tsukuba-shi, Ibaraki 3050051 (JP)
2008-6366 16.01.2008 JP
(JA) 薄膜形成装置
要約: front page image
(EN)Intended is to provide a thin film forming apparatus, which realizes the homogeneity of a film thickness when a thin film is formed by discharging and applying material solutions onto a substrate in a vacuum from ink jet heads and which mounts individual components neatly without deteriorating the discharging and applying functions. The thin film forming apparatus comprises a plurality of ink jet heads for discharging the material solutions from a plurality of nozzles formed at a constant interval, thereby to apply the material solutions to the substrate, applied solution containers for feeding the material solutions to the ink jet heads by making use of the water head difference between the nozzle faces and the liquid faces, a substrate transfer table for placing the substrate thereon and moving the same horizontally, and an evacuated chamber having evacuating means for housing the ink jet heads, the applied solution containers and the substrate transfer table. The thin film forming apparatus is characterized by the constitution, in which the applied solution containers connected directly to the ink jet heads are held under the common evacuated environments.
(FR)L'invention concerne un appareil de formation de film mince permettant d'assurer l'homogénéité d'une épaisseur de film lorsqu'un film mince est formé en déchargeant et en appliquant des solutions de matières sur un substrat dans un milieu sous vide, au moyen de têtes à jet d'encre, et permettant de monter correctement des composants individuels sans détériorer les fonctions de déchargement et d'application. L'appareil de formation de film mince comprend une pluralité de têtes à jet d'encre permettant de décharger les solutions de matières à partir d'une pluralité de buses formées à des intervalles constants et permettant ainsi d'appliquer les solutions de matières sur le substrat; des récipients de solution d'application pour fournir les solutions de matières aux têtes à jet d'encre en utilisant la différence de niveau d'eau entre les faces de buses et les faces de liquide; une table de transfert de substrat pour le placement et le déplacement horizontal du substrat; et une chambre sous vide comprenant un moyen de mise sous vide pour loger les têtes à jet d'encre, les récipients de solution d'application et la table de transfert de substrat. L'appareil de formation de film mince est caractérisé par sa constitution, selon laquelle les récipients de solution d'application reliés directement aux têtes à jet d'encre sont maintenus dans des environnements communs sous vide.
(JA)本発明は、減圧下でインクジェットヘッドから基板上に材料溶液を吐出塗布して薄膜を形成する際に、膜厚の均一性を実現すると共に、吐出塗布の機能を損なうことなく各構成を簡潔に実装した薄膜形成装置を提供することを目的とするものである。 本発明は、一定間隔で形成された複数のノズルから材料溶液を吐出して基板に塗布する複数のインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドにノズル面と液面との水頭差を利用して材料溶液を供給する塗布溶液収納容器と、前記基板を載置し水平に移動させる基板搬送テーブルと、前記インクジェットヘッド及び塗布溶液収納容器及び基板搬送テーブルを収容する減圧手段を備えた減圧室とからなり、前記インクジェットヘッドに直接接続された前記塗布溶液収納容器を同じ減圧環境下に置くことを特徴とする薄膜形成装置の構成とした。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)