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1. (WO2009084547) プローブカード

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/084547    国際出願番号:    PCT/JP2008/073473
国際公開日: 09.07.2009 国際出願日: 24.12.2008
G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/26 (2006.01)
出願人: ALPS ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 1-7, Yukigaya-otsukamachi, Ota-ku, Tokyo 1458501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MURATA, Shinji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MURATA, Shinji; (JP)
代理人: NAKAO, Shunsuke; c/o Nakao & Ito Patent Office, 3-5, Uchikanda 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010047 (JP)
2007-340115 28.12.2007 JP
発明の名称: (EN) PROBE CARD
(JA) プローブカード
要約: front page image
(EN)Disclosed is a probe card whereby increased probe pin density can be realized, even if perpendicular cantilevers are in a form that is susceptible to bowing and deformation. The probe card (1) of this invention is equipped with a multiplicity of probe pins (3A). A probe pin (3A) is formed with four perpendicular cantilevers (4), which contact ball electrodes (10), and which are arranged equidistantly spaced on the circumference of a virtual circle VC. Here, the probe pins (3A) are arranged with the motion regions (3AR) of the multiplicity of probe pins (3) overlapping one another, and with the pin angles of rotation set to 0° or 45° so that said angles of rotation alternately differ from one another in the X-Y direction.
(FR)L'invention concerne une carte de sonde qui permet d'obtenir une densité accrue de broches de sonde, même si les éléments en porte-à-faux perpendiculaires ont une forme qui est susceptible de s'arquer ou de se déformer. La carte de sonde (1) de la présente invention est équipée d'une multitude de broches de sonde (3A). Une broche de sonde (3A) comporte quatre éléments en porte-à-faux (4) perpendiculaires, qui viennent en contact avec des électrodes en boule (10), et qui sont agencés à égales distances sur la circonférence d'un cercle virtuel VC. Ici, les broches de sonde (3A) sont agencées avec les régions de mouvement (3AR) de la multitude de broches de sonde (3) se chevauchant les unes les autres, et avec les angles de rotation des broches fixés à 0° ou 45° de sorte que lesdits angles de rotation diffèrent alternativement les uns des autres dans la direction X-Y.
(JA)【課題】垂直型カンチレバーが湾曲変形しやすい状態にあってもプローブピンの高密度化を実現することができるプローブカードを提供する。 【解決手段】本発明のプローブカード1は、複数のプローブピン3Aを備えている。プローブピン3Aはボール型電極10と接触する4個の垂直型カンチレバー4を仮想円VCの周上に等間隔配置して形成されている。ここで、複数のプローブピン3の可動領域3ARは相互にオーバーラップしており、それらの回転角を0度または45度に設定してX-Y方向において交互に回転角が異なるようにプローブピン3Aが配設されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)