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1. (WO2009081586) インプリント装置およびインプリント方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/081586    国際出願番号:    PCT/JP2008/003953
国際公開日: 02.07.2009 国際出願日: 25.12.2008
IPC:
B29C 59/02 (2006.01), B29C 33/40 (2006.01), B81C 99/00 (2010.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: SCIVAX CORPORATION [JP/JP]; Kanagawa Sciencepark East 502, 3-2-1, Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2130012 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKAYA, Yoshiaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HASHIMA, Yuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HAYASHIDA, Yoshihisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KAWAGUCHI, Hirosuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANAKA, Satoru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KANAI, Akihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
UEHARA, Kazuaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKAYA, Yoshiaki; (JP).
HASHIMA, Yuji; (JP).
HAYASHIDA, Yoshihisa; (JP).
KAWAGUCHI, Hirosuke; (JP).
TANAKA, Satoru; (JP).
KANAI, Akihiko; (JP).
UEHARA, Kazuaki; (JP)
代理人: OKUDA, Noritsugu; 1-2354-430, Yurigaoka, Moriya-shi, Ibaraki 3020110 (JP)
優先権情報:
2007-335093 26.12.2007 JP
発明の名称: (EN) IMPRINTING DEVICE AND IMPRINTING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'IMPRESSION ET PROCÉDÉ D'IMPRESSION
(JA) インプリント装置およびインプリント方法
要約: front page image
(EN)An imprinting device and method which can uniformly apply pressure between a die and an object to be imprinted and can raise and lower the temperature of the object at high speed. The imprinting device (1) used to transfer a pattern of the die (100) to a film-like object (200) to be imprinted has a stage (11) for holding the die (100), a pressurizing chamber forming housing (13) for forming a pressurizing chamber (12) together with the object (200) to be imprinted, a closing means (14) for closing between the pressurizing chamber forming housing (13) and the object (200) to be imprinted, an opening and closing means (15) for opening and closing between the pressurizing chamber forming housing (13) and the object (200) to be imprinted, a pressurizing means (16) for adjusting the gas pressure in the pressurizing chamber (12), a heating means (17) for heating either one or both of the die (100) and the object (200) to be imprinted, and a gas removing means (18) for removing gas between the die (100) and the object (200) to be imprinted.
(FR)L'invention porte sur un dispositif et un procédé d'impression qui permettent d'appliquer uniformément une pression entre une matrice et un objet devant être imprimé et qui peuvent élever et abaisser la température de l'objet à une grande vitesse. Le dispositif d'impression (1) utilisé pour transférer un motif de la matrice (100) à un objet de type film (200) devant être imprimé possède une platine (11) destinée à tenir la matrice (100), un boîtier formant une chambre de pressurisation (13) pour former une chambre de pressurisation (12) conjointement avec l'objet (200) devant être imprimé, un moyen de fermeture (14) destiné à assurer une fermeture entre le boîtier formant une chambre de pressurisation (13) et l'objet (200) devant être imprimé, un moyen d'ouverture et de fermeture (15) destiné à assurer une ouverture et une fermeture entre le boîtier formant une chambre de pressurisation (13) et l'objet (200) devant être imprimé, un moyen de pressurisation (16) pour régler la pression de gaz dans la chambre de pressurisation (12), un moyen de chauffage (17) pour chauffer la matrice (100) et/ou l'objet (200) devant être imprimé, et un moyen d'évacuation de gaz (18) pour évacuer le gaz entre la matrice (100) et l'objet (200) devant être imprimé.
(JA) 型と被成型物の間に圧力を均一に加えることができると共に、高速に昇降温することができるインプリント装置及びインプリント方法を提供する。型(100)のパターンをフィルム状の被成型物(200)に転写するためのインプリント装置(1)であって、型(100)を保持するためのステージ(11)と、被成型物(200)と共に加圧室(12)を構成する加圧室用筐体(13)と、加圧室用筐体(13)と被成型物(200)との間を密閉する密閉手段(14)と、加圧室用筐体(13)と被成型物(200)との間を開閉する開閉手段(15)と、加圧室(12)内の気圧を調節する加圧手段(16)と、型(100)と被成型物(200)のいずれか一方又は両方を加熱するための加熱手段(17)と、型(100)と被成型物(200)の間の気体を除去する脱気手段(18)と、を具備するインプリント装置(1)。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)