(EN) A main rotating section (15) which rotates with a main shaft (13) at the center is provided with a plurality of sub-rotating sections (16), and each sub-rotating section (16) has a plurality of work holders (17). A work (W) held by the work holder (17) rotates on its own rotating shaft (46), while rotating with the main shaft (13) at the center and rotating with a sub-shaft (36) at the center by rotation of the main rotating section (15) and sub-rotating sections (16). Films are formed by making surfaces of the works (W) sequentially face a target (23).
(FR) Une section rotative principale (15) qui tourne avec un arbre principal (13) au centre est équipée d'une pluralité de sous-sections rotatives (16), et chaque sous-section rotative (16) comporte une pluralité de porte-pièces (17). Une pièce (W) supportée par le porte-pièce (17) tourne sur son propre arbre rotatif (46), tout en tournant avec l'arbre principal (13) au centre et en tournant avec un sous-arbre (36) au centre par la rotation de la section rotative principale (15) et des sous-sections rotatives (16). Des films sont formés en faisant en sorte que les surfaces des pièces (W) fassent face à une cible (23) de façon séquentielle.
(JA) 主軸（１３）を中心に回転する主回転部（１５）には、複数の副回転部（１６）を設けてあり、各副回転部（１６）には、それぞれ複数のワークホルダ（１７）を設けてある。ワークホルダ（１７）に保持されるワーク（Ｗ）は、主回転部（１５），副回転部（１６）の回転により、主軸（１３）を中心にした回転と副軸（３６）を中心にした回転をしながら、回転軸（４６）を中心に自転し、各ワーク（Ｗ）の各面がターゲット（２３）に順次に対面されて成膜が行われる。