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1. WO2009054417 - カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法、およびカンチレバー評価プログラム

公開番号 WO/2009/054417
公開日 30.04.2009
国際出願番号 PCT/JP2008/069155
国際出願日 22.10.2008
IPC
G01Q 60/38 2010.1
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
60特定の型のSPMまたはそのための装置;その基本的な構成部品
24AFMまたはそのための装置,例.AFM用のプローブ
38プローブまたはその製造または関連する器具類,例.プローブホルダー
CPC
G01Q 30/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
04Display or data processing devices
G01Q 30/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
08Means for establishing or regulating a desired environmental condition within a sample chamber
12Fluid environment
出願人
  • みずほ情報総研 株式会社 MIZUHO INFORMATION & RESEARCH INSTITUTE, INC. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 学校法人 早稲田大学 WASEDA UNIVERSITY [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 渡辺 尚貴 WATANABE, Naoki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 塚田 捷 TSUKADA, Masaru [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 渡辺 尚貴 WATANABE, Naoki
  • 塚田 捷 TSUKADA, Masaru
代理人
  • 恩田 博宣 ONDA, Hironori
優先権情報
2007-27931526.10.2007JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CANTILEVER EVALUATION SYSTEM, CANTILEVER EVALUATION METHOD, AND CANTILEVER EVALUATION PROGRAM
(FR) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET PROGRAMME D'ÉVALUATION D'UN CANTILEVER
(JA) カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法、およびカンチレバー評価プログラム
要約
(EN) A control part (21) of a cantilever evaluation system (20) calculates a stream function value &psgr;z(x,y;t+1) and vorticity ωz(x,y;t+1) at a time step t+1 using border conditions according to displacement h(z;t) of the cantilever (C) and velocity δh/δt(z;t) a stream function value &psgr;z(x,y;t) and vorticity ωz(x,y;t) in a two-dimensional plane (S2-3). The control part (21) calculates reaction of fluid (Fliq) of a cantilever (C) using the calculated stream function value &psgr;z(x,y) and vorticity ωz(x,y) (S2-6). The control part (21) substitutes the calculated reaction of fluid (Fliq) into a displacement calculation formula (6), thereby calculating displacement h (z;t+1) of a one-dimensional beam at a next time step t+1 (S3-2). The control part (21) repeats such calculations every grid point, and further repeats them every time step.
(FR) Une partie commande (21) du système d'évaluation de cantilever (20) de l'invention calcule une valeur de fonction de courant &psgr;z(x,y;t+1) et une vorticité ωz(x,y;t+1) à une étape temporelle t+1 au moyen de conditions de bordure selon un déplacement h(z;t) du cantilever (C) et une vitesse δh/δt(z;t), une valeur de fonction de courant &psgr;z(x,y;t) et une vorticité ωz(x,y;t) dans un plan bidimensionnel (S2-3). La partie commande (21) calcule la réaction de fluide (Fliq) d'un cantilever (C) au moyen de la valeur de fonction de courant &psgr;z(x,y) et de la vorticité ωz(x,y) calculées (S2-6). La partie commande (21) substitue la réaction calculée de fluide (Fliq) dans une formule de calcul de déplacement (6), pour ainsi calculer le déplacement h (z;t+1) d'une poutre unidimensionnelle à l'étape temporelle t+1 suivante (S3-2). La partie commande (21) répète ces calculs à chaque point de la grille et les répète encore à chaque étape temporelle.
(JA) カンチレバー評価システム(20)の制御部(21)は、カンチレバー(C)の変位h(z;t)と速度∂h/∂t(z;t)に応じた境界条件と、2次元面内の流れ関数値ψz(x,y;t)と渦度ωz(x,y;t)を用いて、次のタイムステップt+1における流れ関数値ψz(x,y;t+1)と渦度ωz(x,y;t+1)を算出する(S2-3)。制御部(21)は、算出した流れ関数値ψz(x,y)と渦度ωz(x,y)を用いて、カンチレバー(C)の流体抗力(Fliq)を算出する(S2-6)。制御部(21)は、算出した流体抗力(Fliq)を変位算出式(6)に代入することによって、次のタイムステップt+1における一次元梁の変位h(z;t+1)を算出する(S3-2)。制御部(21)はこのような計算を格子点毎に繰返し、更にタイムステップ毎に繰返す。
関連特許文献
国際事務局に記録されている最新の書誌情報