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1. WO2009054117 - シリコン製造装置及び方法

国内段階移行に関する情報(詳細)
官庁移行日国内番号国内ステータス
中華人民共和国 20.10.2008200880113052.2
欧州特許庁(EPO) 21.04.20102008841622Published: 11.08.2010
Withdrawn: 03.05.2012
アメリカ合衆国 21.04.201012739022Published: 30.09.2010