処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. WO2009051166 - 振動装置および圧電ポンプ

公開番号 WO/2009/051166
公開日 23.04.2009
国際出願番号 PCT/JP2008/068724
国際出願日 16.10.2008
IPC
H01L 41/09 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
09電気的入力および機械的出力をもつもの
F04B 43/02 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
B液体用容積形機械;ポンプ
43柔軟な作動部材を有する機械,ポンプまたはポンプ装置
02板状の柔軟な部材をもつもの,例.ダイアフラム
F04B 43/04 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
B液体用容積形機械;ポンプ
43柔軟な作動部材を有する機械,ポンプまたはポンプ装置
02板状の柔軟な部材をもつもの,例.ダイアフラム
04電気駆動によるポンプ
H01L 41/22 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
H01M 8/04 2006.01
H電気
01基本的電気素子
M化学的エネルギーを電気的エネルギーに直接変換するための方法または手段,例.電池
8燃料電池;その製造
04補助的な装置,例.圧力制御のためのもの,または流体循環のためのもの
CPC
F04B 43/04
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
43Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
02having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
04Pumps having electric drive
F04B 43/046
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
43Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
02having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
04Pumps having electric drive
043Micropumps
046with piezo-electric drive
F04B 45/027
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
45Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
02having bellows
027having electric drive
H01L 41/0973
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
09with electrical input and mechanical output ; , e.g. actuators, vibrators
0926using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
0973Membrane type
H01M 8/04201
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
8Fuel cells; Manufacture thereof
04Auxiliary arrangements, e.g. for control of pressure or for circulation of fluids
04082Arrangements for control of reactant parameters, e.g. pressure or concentration
04201Reactant storage and supply, e.g. means for feeding, pipes
Y02E 60/50
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
60Enabling technologies or technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
50Fuel cells
出願人
  • 株式会社村田製作所 Murata Manufacturing Co., Ltd. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 平田篤彦 HIRATA, Atsuhiko [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 神谷岳 KAMITANI, Gaku [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 平田篤彦 HIRATA, Atsuhiko
  • 神谷岳 KAMITANI, Gaku
代理人
  • 小森久夫 KOMORI, Hisao
優先権情報
2007-26932816.10.2007JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VIBRATION DEVICE, AND PIEZOELECTRIC PUMP
(FR) DISPOSITIF VIBRANT, ET POMPE PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 振動装置および圧電ポンプ
要約
(EN)
The warpage of a piezoelectric layer is eliminated so that the danger for the piezoelectric layer to break is reduced even if a tensile stress acts on the piezoelectric layer by vibrations. A piezoelectric pump (100) comprises a piezoelectric element (54), an intermediate plate (53) and a diaphragm (51). The piezoelectric element (54) has a flat plate shape. The intermediate plate (53) is jointed to the principal face of the piezoelectric element (54), thereby to apply a residual stress in the compression direction to the piezoelectric element (54). The diaphragm (51) is so jointed to the intermediate plate (53) as to confront the principal face of the piezoelectric element (54), so that the residual stress in the compression direction is applied from the intermediate plate (53) and so that it constitutes a portion of the wall face of a pump chamber (41) having an opening (31). A fluid passage is formed in the piezoelectric pump (100). The fluid passage communicates at its one end with the outside of the pump chamber (41) and at its other end with the pump chamber (41) through the opening (31).
(FR)
Selon l'invention, la déformation d'une couche piézoélectrique est supprimée de sorte que le danger de rupture de la couche piézoélectrique est réduit même si une contrainte de traction est exercée sur la couche piézoélectrique par des vibrations. Une pompe piézoélectrique (100) comprend un élément piézoélectrique (54), une plaque intermédiaire (53) et une membrane (51). L'élément piézoélectrique (54) a une forme de plaque plate. La plaque intermédiaire (53) est assemblée à la face principale de l'élément piézoélectrique (54), pour ainsi appliquer une contrainte résiduelle dans la direction de compression à l'élément piézoélectrique (54). La membrane (51) est assemblée à la plaque intermédiaire (53) de façon à faire face à la face principale de l'élément piézoélectrique (54), de sorte que la contrainte résiduelle dans la direction de compression est appliquée à partir de la plaque intermédiaire (53) et de façon à constituer une partie de la face de paroi d'une chambre de pompe (41) ayant une ouverture (31). Un passage de fluide est formé dans la pompe piézoélectrique (100). Le passage de fluide communique par une première extrémité avec l'extérieur de la chambre de pompe (41) et par son autre extrémité avec la chambre de pompe (41) à travers l'ouverture (31).
(JA)
 圧電体層の反りをなくし、振動によって圧電体層に引っ張り応力が作用しても圧電体層が破壊する危険性を低減する。圧電ポンプ(100)は、圧電体素子(54)と中間板(53)と振動板(51)とを備える。圧電体素子(54)は、平板状である。中間板(53)は、圧電体素子(54)の主面に接合され、圧電体素子(54)に圧縮方向の残留応力を付与する。振動板(51)は、圧電体素子(54)の主面に対向するように中間板(53)に接合されて中間板(53)から圧縮方向の残留応力が付与され、且つ、開口穴(31)を有するポンプ室(41)の壁面の一部を構成する。圧電ポンプ(100)には、流体の通路が形成されている。流体の通路は、一端がポンプ室の外部に連通し、他端が開口穴(31)を介してポンプ室(41)に連通する
他の公開
関連公開情報:
国際事務局に記録されている最新の書誌情報