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1. WO2009050993 - 非接触膜厚測定方法及び装置

公開番号 WO/2009/050993
公開日 23.04.2009
国際出願番号 PCT/JP2008/067297
国際出願日 25.09.2008
IPC
G01B 15/02 2006.1
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
15波動性または粒子性放射線の使用によって特徴づけられた測定装置
02厚み測定用
CPC
G01B 11/0666
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
0616of coating
0666using an exciting beam and a detection beam including surface acoustic waves [SAW]
出願人
  • アイシン精機株式会社 AISIN SEIKI KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 大竹 秀幸 OHTAKE, Hideyuki [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 大竹 秀幸 OHTAKE, Hideyuki
代理人
  • 大川 宏 OHKAWA, Hiroshi
優先権情報
2007-26917116.10.2007JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) NON-CONTACT FILM THICKNESS MEASUREMENT METHOD AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE DE L'ÉPAISSEUR D'UN FILM SANS CONTACT
(JA) 非接触膜厚測定方法及び装置
要約
(EN) It is an object to provide a non-contact film thickness measurement method and its device that are configured to make an optical system easily adjustable. A terahertz wave generation means (4) receives incident pump light (Lpu) and generates a terahertz wave pulse (Lt). The terahertz wave generation means (4) generates the terahertz wave pulse (Lt) along the coaxial direction of the residual pump light (LApu) that is not used for the generation of the terahertz wave pulse (Lt) in the pump light (Lpu) but is projected from the terahertz wave generation means (4). Further, since the wavelength of the pump light (Lpu) ranges from the visible area to the near infrared area, an optical path from the terahertz wave pulse generation means (4) to a film thickness measurement subject (20) and an optical path from the film thickness measurement subject (20) to a detection means (7) are easily adjustable with the pump light (Lpu) regarded as guide light (alignment of an incident optical system (5) with a receiving optical system (6) can be easily carried out).
(FR) L'invention concerne un procédé et un dispositif de mesure de l'épaisseur d'un film sans contact configurés de manière à faciliter le réglage d'un système optique. Un moyen de production d'onde térahertz (4) reçoit une lumière de pompage incidente (Lpu) et génère une impulsion d'onde térahertz (Lt). Le moyen de production d'onde térahertz (4) génère l'impulsion d'onde térahertz (Lt) le long de la direction coaxiale de la lumière de pompage résiduelle (LApu) qui n'est pas utilisée pour générer l'impulsion d'onde térahertz (Lt) dans la lumière de pompage (Lpu) mais qui est projetée à partir du moyen de production d'onde térahertz (4). En outre, puisque la longueur d'onde de la lumière de pompage (Lpu) est située entre le visible et le proche infrarouge, un chemin optique allant du moyen de production d'une impulsion d'onde térahertz (4) vers l'échantillon dont l'épaisseur de film est à mesurer (20) et un chemin optique allant de l'échantillon dont l'épaisseur de film est à mesurer (20) vers un moyen de détection (7) peuvent être facilement ajustés en utilisant la lumière de pompage (Lpu) comme lumière de guidage (l'alignement d'un système optique incident (5) avec un système optique de réception (6) peut être réalisé facilement).
(JA) 光学系の調整が容易な非接触膜厚測定方法及び装置を提供することを目的とする。 ポンプ光Lpu が入射されてテラヘルツ波パルスLt を発生するテラヘルツ波発生手段4は、ポンプ光Lpu の内テラヘルツ波パルスの発生に使われないでテラヘルツ波発生手段4から出射される残りのポンプ光LApu と同軸方向にテラヘルツ波パルスLt を発生させる。そして、ポンプ光Lpu の波長が可視域~近赤外域にあるので、ポンプ光Lpu をガイド光としてテラヘルツ波パルス発生手段4から膜厚測定対象20までの光路及び膜厚測定対象20から検出手段7までの光路が容易に調整(入射光学系5、受光光学系6を容易にアライメント)され得る。 
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