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1. WO2009050857 - 凹部形成方法、凹凸製品の製造方法、発光素子の製造方法および光学素子の製造方法

公開番号 WO/2009/050857
公開日 23.04.2009
国際出願番号 PCT/JP2008/002817
国際出願日 07.10.2008
IPC
G11B 7/26 2006.1
G物理学
11情報記憶
B記録担体と変換器との間の相対運動に基づいた情報記録
7光学的手段による記録または再生,例.光ビームの照射による記録,低パワー光ビームを用いる再生;そのための記録担体
24形状、構造または物性によって、または材料の選定によって特徴づけられる記録担体
26記録担体の製造に特に適した方法または装置
G03F 7/20 2006.1
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
CPC
G11B 7/246
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
7Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation ; by modifying optical properties or the physical structure; , reproducing using an optical beam at lower power ; by sensing optical properties; Record carriers therefor
24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
241characterised by the selection of the material
242of recording layers
244comprising organic materials only
246containing dyes
G11B 7/2492
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
7Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation ; by modifying optical properties or the physical structure; , reproducing using an optical beam at lower power ; by sensing optical properties; Record carriers therefor
24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
241characterised by the selection of the material
242of recording layers
244comprising organic materials only
249containing organometallic compounds
2492neutral compounds
G11B 7/253
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
7Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation ; by modifying optical properties or the physical structure; , reproducing using an optical beam at lower power ; by sensing optical properties; Record carriers therefor
24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
241characterised by the selection of the material
252of layers other than recording layers
253of substrates
G11B 7/261
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
7Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation ; by modifying optical properties or the physical structure; , reproducing using an optical beam at lower power ; by sensing optical properties; Record carriers therefor
24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
261Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
出願人
  • 富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 宇佐美由久 USAMI, Yoshihisa [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 宇佐美由久 USAMI, Yoshihisa
代理人
  • 小川啓輔 OGAWA, Keisuke
優先権情報
2007-26766515.10.2007JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CONCAVE PORTION FORMING METHOD, CONCAVE-CONVEX PRODUCT MANUFACTURING METHOD, LIGHT-EMITTING ELEMENT MANUFACTURING METHOD, AND OPTICAL ELEMENT MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UNE PARTIE CONCAVE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN PRODUIT CONCAVO-CONVEXE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ÉLÉMENT ÉLECTROLUMINESCENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE
(JA) 凹部形成方法、凹凸製品の製造方法、発光素子の製造方法および光学素子の製造方法
要約
(EN) A concave portion forming method for forming concave portions in a heat-mode recording material layer whose shape is changeable comprises a concave portion forming step of forming a concave portion by irradiating the recording material layer with light collected from an optical system including a light source, an inspection light irradiating step of, during or after the formation of the concave portion in the recording material layer, irradiating the concave portion with inspection light, a detecting step of detecting the light quantity of the inspection light reflected or diffracted from the concave portion, and an output adjusting step of adjusting an output of the light source such that the light quantity reaches a predetermined value according to the light quantity (S1-S4). Moreover, a concave-convex product manufacturing method, a light-emitting element manufacturing method, and an optical element manufacturing method which use the above method are provided.
(FR) La présente invention concerne un procédé de formation d'une partie concave permettant de former des parties concaves dans une couche de matériau d'enregistrement en mode thermique dont la forme peut changer. Le procédé comprend une étape de formation de partie concave consistant à former une partie concave en exposant la couche de matériau d'enregistrement à une lumière recueillie à partir d'un système optique comprenant une source de lumière ; une étape d'exposition à la lumière d'inspection consistant à, pendant ou après la formation de la partie concave dans la couche de matériau d'enregistrement, exposer la partie concave à la lumière d'inspection ; une étape de détection consistant à détecter la quantité de lumière de la lumière d'inspection réfléchie ou diffractée à partir de la partie concave ; et une étape d'ajustement de sortie consistant à ajuster une sortie de la source de lumière de telle sorte que la quantité de lumière atteigne une valeur prédéterminée selon la quantité de lumière (S1 à S4). En outre, l'invention concerne un procédé de fabrication d'un produit concavo-convexe, un procédé de fabrication d'un élément électroluminescent et un procédé de fabrication d'élément optique qui utilise le procédé ci-dessus.
(JA) ヒートモードの形状変化が可能な記録材料層に複数の凹部を形成する凹部形成方法であって、前記記録材料層に、光源を含んで構成される光学系から集光した光を照射することで凹部を形成する凹部形成工程と、前記記録材料層への凹部の形成中または形成後において、その凹部に検査光を当てる検査光照射工程と、前記凹部から反射または回折する検査光の光量を検出する検出工程と、前記光量に基づいて当該光量が所定値となるように前記光源の出力を調整する出力調整工程(S1~S4)と、を備えた方法を提供する。また、この方法を用いた凹凸製品の製造方法、発光素子の製造方法および光学素子の製造方法を提供する。
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