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1. WO2009044871 - 電子源及び電子ビーム装置

公開番号 WO/2009/044871
公開日 09.04.2009
国際出願番号 PCT/JP2008/068077
国際出願日 03.10.2008
IPC
H01J 37/06 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
04電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
06電子源;電子銃
H01J 1/15 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
1電子管または放電ランプの2以上の基本的な型に共通な電極,磁気制御手段,スクリーンあるいはそれらのマウントまたは間隔保持の細部
02主電極
13固体熱電子陰極
15電流によって直接加熱される陰極
H01J 1/16 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
1電子管または放電ランプの2以上の基本的な型に共通な電極,磁気制御手段,スクリーンあるいはそれらのマウントまたは間隔保持の細部
02主電極
13固体熱電子陰極
15電流によって直接加熱される陰極
16形状に特徴のあるもの
CPC
B82Y 10/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
10Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
B82Y 40/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
40Manufacture or treatment of nanostructures
H01J 1/15
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
1Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
02Main electrodes
13Solid thermionic cathodes
15Cathodes heated directly by an electric current
H01J 1/18
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
1Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
02Main electrodes
13Solid thermionic cathodes
15Cathodes heated directly by an electric current
18Supports; Vibration-damping arrangements
H01J 2237/0216
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
02Details
0216Means for avoiding or correcting vibration effects
H01J 2237/06316
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
06Sources
063Electron sources
06308Thermionic sources
06316Schottky emission
出願人
  • 電気化学工業株式会社 DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 野々垣 良三 NONOGAKI, Ryozo [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 照井 良典 TERUI, Yoshinori [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 野々垣 良三 NONOGAKI, Ryozo
  • 照井 良典 TERUI, Yoshinori
代理人
  • 園田 吉隆 SONODA, Yoshitaka
優先権情報
2007-26204605.10.2007JP
PCT/JP2008/05435911.03.2008JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ELECTRON SOURCE AND ELECTRON BEAM APPARATUS
(FR) SOURCE D'ÉLECTRONS ET APPAREIL À FAISCEAU D'ÉLECTRONS
(JA) 電子源及び電子ビーム装置
要約
(EN)
Provided is an electron source which outputs a stable electron beam even when vibration is applied from the external to an apparatus which uses the electron source. The electron source is provided with an insulator (5); two conductive terminals (4) arranged at an interval on the insulator (5); a long filament (3) stretched between the conductive terminals (4); and a needle-like cathode (1) having an electron discharging section attached to the filament (3). The vertical cross-section shape of the filament (3) in the axis direction has a long direction and a short direction, and the maximum length in the long direction is 1.5 times or more but not more than 5 times the maximum length in the short direction.
(FR)
Cette invention se rapporte à une source d'électrons qui produit un faisceau d'électrons stable même lorsque des vibrations sont appliquées depuis l'extérieur à un appareil qui utilise la source d'électrons. La source d'électrons comporte un isolant (5) ; deux bornes conductrices (4) disposées à un intervalle sur l'isolant (5) ; un long filament (3) étiré entre les bornes conductrices (4) ; et une cathode en forme d'aiguille (1) comportant une section de décharge d'électrons attachée au filament (3). La forme en coupe transversale verticale du filament (3) dans la direction de l'axe comporte une longue direction et une courte direction, et la longueur maximale dans la longue direction fait 1,5 fois ou plus, mais pas plus de 5 fois la longueur maximale dans la courte direction.
(JA)
 電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、安定した電子線を与える電子源を提供する。 絶縁碍子(5)と、絶縁碍子(5)に間隔を空けて配置された2つの導電端子(4)と、導電端子(4)の間に張られている長尺のフィラメント(3)と、フィラメント(3)に取り付けられた電子放射部を有する針状の陰極(1)とを備える電子源であって、フィラメント(3)の軸方向に対する垂直断面形状が長方向と短方向を有し、長方向の最大長がその短方向の最大長の1.5倍以上5倍以下である電子源。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報