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1. WO2009044597 - 高周波スパッタリング装置

国内段階移行に関する情報(詳細)
官庁移行日国内番号国内ステータス
中華人民共和国 29.08.2008200880110336.6
大韓民国 02.04.20101020107007282Published: 11.06.2010
Granted: 26.12.2012