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1. (WO2009038164) 搬送装置の停止検知方法

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/038164    国際出願番号:    PCT/JP2008/066962
国際公開日: 26.03.2009 国際出願日: 19.09.2008
H01L 21/677 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
FUJII, Yoshinori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: FUJII, Yoshinori; (JP)
代理人: SEIGA Patent and Trademark Corporation; 9th Fl., Saisho Bldg. 8-1-14, Nishi-Gotanda Shinagawa-ku, Tokyo 1410031 (JP)
2007-243454 20.09.2007 JP
(JA) 搬送装置の停止検知方法
要約: front page image
(EN)Provided is a stop detecting method for conveyor means, which detects the stop of the conveyor means, after actuated, promptly and easily without inviting any increase of parts number, so that it can improve the throughput and the operation rate. The conveyor means comprises a drive motor (3) and a conveyor arm (6) attached at its one side to the spindle (4) of the drive motor (3), so that it generates an induced electromotive force when the drive motor (3) acts the force in the rotating direction upon the spindle (4). Moreover, a conveying object (S) is held on the other side of the conveyor arm, and the drive motor (3) is activated to drive the spindle (4) rotationally by a predetermined rotation angle and then to stop it. At this time, the induced electromotive force, which is generated by the vibration of the conveyor arm (6), is detected. When the induced electromotive force detected is at or lower than a predetermined value, it is decided that the conveyor arm (6) has stopped.
(FR)L'invention concerne un procédé de détection d'arrêt pour moyen transporteur, qui détecte l'arrêt du moyen transporteur, après actionnement, rapidement et facilement sans entraîner aucune augmentation du nombre de pièces, de sorte qu'il peut améliorer le débit et la vitesse de fonctionnement. Le moyen transporteur comprend un moteur d'entraînement (3) et un bras transporteur (6) fixé par son premier côté à la broche (4) du moteur d'entraînement (3), de sorte qu'il génère une force électromotrice induite lorsque le moteur d'entraînement (3) exerce la force dans la direction de rotation sur la broche (4). De plus, un objet transporté (S) est tenu sur l'autre côté du bras transporteur, et le moteur d'entraînement (3) est activé pour entraîner la broche (4) en rotation par un angle de rotation prédéterminé puis pour l'arrêter. A cet instant, la force électromotrice induite, qui est générée par la vibration du bras transporteur (6), est détectée. Lorsque la force électromotrice induite détectée est égale ou inférieure à une valeur prédéterminée, il est décidé que le bras transporteur (6) s'est arrêté.
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)