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1. (WO2009037754) 基板搬送システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/037754    国際出願番号:    PCT/JP2007/068187
国際公開日: 26.03.2009 国際出願日: 19.09.2007
IPC:
B65G 1/00 (2006.01), B65G 19/06 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
出願人: HIRATA CORPORATION [JP/JP]; 9-20, Togoshi 3-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1420041 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HORI, Takehiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANAKA, Toshiharu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HORI, Takehiko; (JP).
TANAKA, Toshiharu; (JP)
代理人: OHTSUKA, Yasunori; 7th FL., SHUWA KIOICHO PARK BLDG. 3-6, KIOICHO, CHIYODA-KU Tokyo 1020094 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TRANSFERT DE SUBSTRATS
(JA) 基板搬送システム
要約: front page image
(EN)Provided is a substrate transfer system for transferring substrates between first and second storing cassettes which store substrates, and a processing apparatus. The processing apparatus is separately arranged from the first and the second storing cassettes in a direction orthogonally intersecting with the arrangement direction of the first and the second storing cassettes, and processes the substrates. The substrate transfer system is provided with a simultaneous transfer conveyer which transfers a plurality of substrates at the same time; a conveyer moving means which moves the simultaneous transfer conveyer between the first and the second storing cassettes; a separate transfer conveyer which separately transfers the substrates; and an aligning means for aligning the substrate on the separate transfer conveyer with the processing apparatus.
(FR)L'invention porte sur un système de transfert de substrats pour transférer des substrats entre des première et deuxième cassettes de stockage qui stockent des substrats, et sur un appareil de traitement. L'appareil de traitement est disposé de façon séparée des première et deuxième cassettes de stockage dans une direction coupant de façon orthogonale la direction d'agencement des première et deuxième cassettes de stockage, et traite les substrats. Le système de transfert de substrats comporte un convoyeur de transfert simultané qui transfère une pluralité de substrats en même temps ; des moyens de déplacement de convoyeur qui déplacent le convoyeur de transfert simultané entre les première et deuxième cassettes de stockage ; un convoyeur de transfert séparé qui transfère séparément les substrats ; et des moyens d'alignement pour aligner le substrat sur le convoyeur de transfert séparé avec l'appareil de traitement.
(JA) 本発明は、基板を収納する第1及び第2の収納カセットと、前記第1及び第2の収納カセットの配置方向と直交する方向に前記第1及び第2の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムを提供する。この基板搬送システムは、複数枚の基板を同時搬送可能な同時搬送コンベアと、前記第1及び第2の収納カセットの間で前記同時搬送コンベアを移動するコンベア移動手段と、前記複数枚の基板を個別に搬送可能な個別搬送コンベアと、前記個別搬送コンベア上の前記基板と、前記処理装置との位置決めを行う位置決め手段と、を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)