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1. (WO2009037724) 小型流量制御弁

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/037724    国際出願番号:    PCT/JP2007/001009
国際公開日: 26.03.2009 国際出願日: 18.09.2007
F16K 1/00 (2006.01), F16K 27/02 (2006.01), F16K 31/04 (2006.01), F16K 31/44 (2006.01)
出願人: FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012 (JP) (米国を除く全ての指定国).
DOHI, Ryousuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NISHINO, Kouji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIRATA, Kaoru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IKEDA, Nobukazu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: DOHI, Ryousuke; (JP).
NISHINO, Kouji; (JP).
HIRATA, Kaoru; (JP).
IKEDA, Nobukazu; (JP)
代理人: SUGIMOTO, Takeo; Kitahama-Katano Bldg. 1-21, Kitahama 2-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 5410041 (JP)
(JA) 小型流量制御弁
要約: front page image
(EN)A small flow rate control valve which is applied to a pressure type flow rate control device of semiconductor manufacturing equipment and chemical product manufacturing equipment, the cost of which can be reduced, which can be formed in a compact shape by simplifying the structure, and which can operate highly accurately. The small flow rate control valve is constituted by a valve box (2) in which an inflow path (7) and an outflow path (8) are formed separately on both sides and which comprises a valve seat (9) on an inflow path (7) side or an outflow path (8) side, a movable body (3) which is provided in the valve box (2) and which can move in a horizontal direction, a valve body (4) which is provided on the movable body (3) and which can come into contact with or get away from the valve seat (9), an extensible extension cylindrical body (5) which is provided between the valve box (2) and the movable body (3), which permits the movement of the movable body (3) in the horizontal direction, and which allows the inflow path (7) and the outflow path (8) to be communicated with each other, and an actuator (6) which is provided in the valve box (2) and which allows the movable body (3) to move.
(FR)L'invention porte sur une petite vanne de régulation de débit, qui est appliquée à un dispositif de régulation de débit du type à pression d'un équipement de fabrication de semi-conducteurs et d'un équipement de fabrication de produits chimiques, dont le coût peut être réduit, qui peut être formé sous une forme compacte par simplification de la structure et qui peut fonctionner avec une haute précision. La petite vanne de régulation de débit est constituée par un boîtier de vanne (2) dans lequel un trajet d'admission (7) et un trajet d'échappement (8) sont formés séparément sur les deux côtés et qui comprend un siège de vanne (9) sur un côté de trajet d'admission (7) ou un côté de trajet d'échappement (8), un corps mobile (3) qui est disposé dans le boîtier de vanne (2) et qui peut se déplacer dans une direction horizontale, un corps de vanne (4) qui est disposé sur le corps mobile (3) et qui peut venir en contact avec le siège de vanne (9) ou s'éloigner de celui-ci, un corps cylindrique d'extension extensible (5) qui est disposé entre le boîtier de vanne (2) et le corps mobile (3), qui permet le mouvement du corps mobile (3) dans la direction horizontale et qui permet au trajet d'admission (7) et au trajet d'échappement (8) de communiquer l'un avec l'autre, et un actionneur (6) qui est disposé dans le boîtier de vanne (2) et qui permet au corps mobile (3) de se déplacer.
(JA) 半導体製造設備や化学品製造設備等の圧力式流量制御装置に適用される小型流量制御弁であって、コストの低減が図れると共に、構造を簡単化してコンパクトに形成でき、それでいて高精度の作動が行なえる様にする。  流入路7と流出路8が左右に離間して形成されて流入路7側又は流出路8側に弁座9を備えた弁箱2と、弁箱2に設けられて左右方向に移動可能な可動体3と、可動体3に設けられて弁座9に当離座し得る弁体4と、弁箱2と可動体3との間に設けられて可動体3の左右方向の移動を許容すると共に流入路7と流出路8を連通し得る伸縮可能な伸縮筒体5と、弁箱2に設けられて可動体3を移動させる為のアクチュエータ6とで構成する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)