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1. (WO2009031656) 吊り下げ装置及び露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/031656    国際出願番号:    PCT/JP2008/066091
国際公開日: 12.03.2009 国際出願日: 05.09.2008
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), F16F 15/02 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KATO, Noriya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KATO, Noriya; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
2007-232947 07.09.2007 JP
発明の名称: (EN) SUSPENDING APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) APPAREIL DE SUSPENSION ET APPAREIL D'EXPOSITION
(JA) 吊り下げ装置及び露光装置
要約: front page image
(EN)A suspending apparatus is provided with a connecting member for suspending and supporting an object. The connecting member is provided with a first member connected to the object, and a second member connected to the first member. The first member and the second member are connected with their relative positions specified in a first direction and to be relatively movable in a second direction which is different from the first direction.
(FR)L'invention porte sur un appareil de suspension muni d'un élément de connexion permettant de suspendre et porter un objet. L'élément de connexion comporte un premier élément relié à l'objet et un second élément relié au premier élément. Le premier élément et le second élément sont connectés dans des positions relatives spécifiées dans une première direction de manière à être relativement mobiles dans une seconde direction différente de la première.
(JA) 吊り下げ装置は、物体を吊り下げ支持するための連結部材を備える。前記連結部材は、前記物体に接続された第1部材と、前記第1部材に連結された第2部材と、を有し、前記第1部材と前記第2部材とは、第1方向に対しては相対位置が規定され且つ前記第1方向とは異なる第2方向に対しては相対移動可能に連結されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)