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1. (WO2009031358) 圧電共振子
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/031358    国際出願番号:    PCT/JP2008/062464
国際公開日: 12.03.2009 国際出願日: 10.07.2008
IPC:
H03H 9/17 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H01L 41/18 (2006.01), H01L 41/187 (2006.01), H01L 41/22 (2013.01)
出願人: Murata Manufacturing Co., Ltd. [JP/JP]; 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555 (JP) (米国を除く全ての指定国).
UMEDA, Keiichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: UMEDA, Keiichi; (JP)
代理人: YAMAMOTO, Toshinori; Room 810, Kondo Bldg., 4-12, Nishitenma 4-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300047 (JP)
優先権情報:
2007-231854 06.09.2007 JP
発明の名称: (EN) PIEZOELECTRIC RESONATOR
(FR) RÉSONATEUR PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電共振子
要約: front page image
(EN)A piezoelectric resonator in which the quality is stabilized and the resonance characteristics are improved. An acoustic reflector section (4) arranged between a vibrating portion (2) where a piezoelectric thin film (16) is sandwiched between a pair of electrodes (15, 17) and a substrate (12) includes (a) a plurality of low acoustic impedance layers (30, 32, 34) composed of a material having a relatively low acoustic impedance and a plurality of high acoustic impedance layers (20, 22) composed of a material having a relatively high acoustic impedance, and (b) adjustment layers (13s, 13t), which are arranged between the high acoustic impedance layers (20, 22) and the low acoustic impedance layers (30, 32) on the side of the substrate (12) and have an acoustic impedance between those of the high acoustic impedance layers (20, 22) and the low acoustic impedance layers (30, 32). The low acoustic impedance layers (30, 32, 34) and the high acoustic impedance layers (20, 22) have a compressive stress and the adjustment layers (13s, 13t) have a tensile stress.
(FR)La présente invention concerne un résonateur piézoélectrique dans lequel la qualité est stabilisée et les caractéristiques de résonance améliorées. Une section de réflecteur acoustique (4) placée entre une partie vibrante (2), où un film mince piézoélectrique (16) est enserré entre une paire d'électrodes (15, 17) et un substrat (12), comprend : (a) une pluralité de couches à faible impédance acoustique (30, 32, 34) composées d'un matériau ayant une impédance acoustique relativement faible et une pluralité de couches à forte impédance acoustique (20, 22) composées d'un matériau ayant une impédance acoustique relativement haute et (b) des couches d'ajustement (13s, 13t), agencées entre les couches à forte impédance acoustique (20, 22) et les couches à faible impédance acoustique (30, 32) du côté du substrat (12) et ayant une impédance acoustique entre celles des couches à forte impédance acoustique (20, 22) et celles à faible impédance acoustique (30, 32). Les couches à faible impédance acoustique (30, 32, 34) et celles à forte impédance acoustique (20, 22) ont une résistance à la compression et les couches d'ajustement (13s, 13t) ont une résistance à la tension.
(JA) 品質が安定し、共振特性を改善することができる圧電共振子を提供する。  一対の電極15,17の間に圧電薄膜16が挟まれた振動部2と基板12との間に配置された音響反射器部4は、(a)交互に配置され、音響インピーダンスが相対的に低い材料からなる複数の低音響インピーダンス層30,32,34及び音響インピーダンスが相対的に高い材料からなる複数の高音響インピーダンス層20,22と、(b)高音響インピーダンス層20,22とその基板12側の低音響インピーダンス層30,32との間に配置され、音響インピーダンスが高音響インピーダンス層20,22と低音響インピーダンス層30,32の中間の値である調整層13s,13tとを含む。低音響インピーダンス層30,32,34と高音響インピーダンス層20,22とは圧縮応力を有し、調整層13s,13yは引張応力を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)