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1. (WO2009028537) 製造装置、情報処理方法、及びプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/028537    国際出願番号:    PCT/JP2008/065271
国際公開日: 05.03.2009 国際出願日: 27.08.2008
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MIMURA, Ryoko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIOYAMA, Noriki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MIMURA, Ryoko; (JP).
SHIOYAMA, Noriki; (JP)
代理人: TANIGAWA, Hidekazu; P.O. Box 53, OMM Building 8F 7-31, Otemae 1-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 540-0008 (JP)
優先権情報:
2007-222680 29.08.2007 JP
発明の名称: (EN) MANUFACTURING EQUIPMENT, INFORMATION PROCESSING METHOD, AND PROGRAM
(FR) ÉQUIPEMENT DE FABRICATION, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'INFORMATIONS, ET PROGRAMME
(JA) 製造装置、情報処理方法、及びプログラム
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide manufacturing equipment capable of easily managing the propriety of the execution of each function therein. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] Manufacturing equipment (30) for performing a semiconductor process for a processed substrate comprises a license key receiving section (31) for receiving the license key corresponding to equipment propriety information indicating the propriety of the use of the manufacturing equipment (30) and function propriety information indicating the propriety of the execution of each function, a function authentication section (33) for judging the propriety of the execution of each function in the manufacturing equipment (30) by using the device propriety information and function propriety information corresponding to the received license key, an execution section (34) for executing the processing of each function, an execution instruction receiving section (35) for receiving an execution instruction for the execution section (34) to instruct the execution of each function, and an execution control unit (36) for controlling so that a function judged by the execution section (34) that it is not permitted to be executed is not executed according to the judgment of the propriety by the function authentication section (33).
(FR)La présente invention a pour but de proposer un équipement de fabrication capable de gérer facilement la validité de l'exécution de chaque fonction dans l'équipement. L'invention concerne un équipement de fabrication (30) pour réaliser un procédé semi-conducteur pour un substrat traité comprenant une section de réception de clef d'autorisation (31) destinée à recevoir la clef d'autorisation correspondant aux informations de validité d'équipement qui indiquent la validité de l'utilisation de l'équipement de fabrication (30) et aux informations de validité de fonction qui indiquent la validité de l'exécution de chaque fonction ; une section d'authentification de fonction (33) destinée à juger la validité de l'exécution de chaque fonction dans l'équipement de fabrication (30) en utilisant les informations de validité de dispositif et les informations de validité de fonction correspondant à la clef d'autorisation reçue ; une section d'exécution (34) destinée à exécuter le traitement de chaque fonction ; une section de réception d'instructions d'exécution (35) destinée à recevoir une instruction d'exécution pour que la section d'exécution (34) commande l'exécution de chaque fonction ; et une unité de commande d'exécution (36) destinée à effectuer une commande de sorte qu'une fonction, jugée par la section d'exécution (34) comme non autorisée à être exécutée, ne soit pas exécutée selon le jugement de la validité par la section d'authentification de fonction (33).
(JA)【課題】製造装置における各機能の実行の可否を容易に管理することができる製造装置を提供する。 【解決手段】被処理基板に対する半導体プロセスを行う製造装置30であり、製造装置30の使用の可否を示す装置可否情報及び各機能の実行の可否を示す機能可否情報に対応するライセンスキーを受け付けるライセンスキー受付部31と、受け付けられたライセンスキーに対応する装置可否情報及び機能可否情報を用いて、製造装置30における各機能の実行の可否を判断する機能認証部33と、各機能の処理を実行する実行部34と、実行部34による各機能の実行を指示する実行指示を受け付ける実行指示受付部35と、機能認証部33による可否の判断に応じて、実行部34によって実行することが許可されていないと判断された機能が実行されないように制御する実行制御部36とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)