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World Intellectual Property Organization
1. (WO2009028526) ステージ装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/028526    国際出願番号:    PCT/JP2008/065244
国際公開日: 05.03.2009 国際出願日: 27.08.2008
H01L 21/68 (2006.01), B05C 5/00 (2006.01), B23Q 1/00 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TANAKA, Yasuzo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YUYAMA, Junpei [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAHAGI, Mitsuru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MINAMI, Hirofumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAKAHASHI, Makoto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ITO, Shinya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TANAKA, Yasuzo; (JP).
YUYAMA, Junpei; (JP).
YAHAGI, Mitsuru; (JP).
MINAMI, Hirofumi; (JP).
TAKAHASHI, Makoto; (JP).
ITO, Shinya; (JP)
代理人: ISHIJIMA, Shigeo; Toranomonkougyou Bldg., 3F 1-2-18, Toranomon Minato-ku Tokyo 1050001 (JP)
2007-221404 28.08.2007 JP
(JA) ステージ装置
要約: front page image
(EN)Provided is a stage apparatus, which can be easily positioned at an actual installation site. Frames (25) having auxiliary base plates (21) arranged thereon are placed on carriages (22), thereby to constitute auxiliary placing tables (20a to 20d). The auxiliary base plates (21) are moved by the carriages (22), and the frames (25) are fixed on a main placing table (10) having a main base plate (11). By adjusting mechanisms (30) mounted on the auxiliary placing tables (20a to 20d), the main base plate (11) and the auxiliary base plates (21) are positioned to each other. The main placing table (10) and the auxiliary placing tables (20a to 20d) are equipped with main positioning members (16) and auxiliary positioning members (241 and 242), so that they can be so separated as can restore the positioned states. As a result, the main placing table (10) and the auxiliary placing tables (20a to 20d) can be easily positioned to each other when they are assembled after carried.
(FR)L'invention concerne un appareil de scène, qui peut être facilement positionné au niveau d'un site d'installation réel. Des cadres (25) ayant des plaques de base auxiliaires (21) agencées sur eux sont placés sur des chariots (22), pour ainsi constituer des tables de placement auxiliaires (20a à 20d). Les plaques de base auxiliaires (21) sont déplacées par les chariots (22), et les cadres (25) sont fixés sur une table de placement principale (10) ayant une plaque de base principale (11). Par des mécanismes d'ajustement (30) montés sur les tables de placement auxiliaires (20a à 20d), la plaque de base principale (11) et les plaques de base auxiliaires (21) sont positionnées entre elles. La table de placement principale (10) et les tables de placement auxiliaires (20a à 20d) sont équipées d'éléments de positionnement principaux (16) et d'éléments de positionnement auxiliaires (241 et 242), de sorte qu'elles peuvent être séparées de façon à pouvoir reprendre les états positionnés. En conséquence, la table de placement principale (10) et les tables de placement auxiliaires (20a à 20d) peuvent être facilement positionnées entre elles lorsqu'elles sont assemblées après avoir été transportées.
(JA) 本設置場所での位置合わせが容易なステージ装置を提供する。台車(22)上に副ベース板(21)が配置された架台(25)を乗せて副載置台(20a~20d)を構成し、台車(22)で副ベース板(21)を移動させ、架台(25)を主ベース板(11)を有する主載置台(10)に固定する。副載置台(20a~20d)に設けた調整機構(30)によって、主ベース板(11)副ベース板と(21)を位置合わせする。主載置台(10)と副載置台(20a~20d)には、主位置決め部材(16)と副位置決め部材(241、242)が設けられているので、位置合わせ状態が復元できるようにして分離することができる。従って搬送した後、組み立てる際に、位置合わせが容易である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)