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1. (WO2009028364) ダイシング装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/028364    国際出願番号:    PCT/JP2008/064799
国際公開日: 05.03.2009 国際出願日: 20.08.2008
B24B 27/06 (2006.01), B24B 55/06 (2006.01), H01L 21/301 (2006.01)
出願人: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. [JP/JP]; 9-7-1, Shimorenjaku, Mitaka-city Tokyo 1818515 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ITO, Junichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ITO, Junichi; (JP)
代理人: MATSUURA, Kenzo; Matsuura & Associates P.O. Box 176 Shinjuku Sumitomo Bldg. 39F 6-1, Nishi-shinjuku 2-chome Shinjuku-ku, Tokyo 163-0239 (JP)
2007-220930 28.08.2007 JP
(JA) ダイシング装置
要約: front page image
(EN)Provided is a dicing apparatus, which arranges an oil pan (20) just below X-tables (16 and 18) thereby to retain the capacity of the oil pan (20) sufficiently and to improve the drainage. In the dicing apparatus (1), guide rails (22 and 36) and ball screws (24 and 38) for guiding the X-tables (16 and 18) movably in an X-direction are arranged along the side faces of the oil pan (20), and a pair of bellows (34 and 46) for covering the guide rails (22 and 36) and the ball screws (24 and 38) are likewise arranged vertically along the side faces of the oil pan (20). The remnants having stuck to the bellows (34 and 46) flow down along the bellows (34 and 46) by their own weights, and drop into the oil pan (20) having a sufficient capacity, so that they are discharged. As a result, the remnants do not deposit in the bellows (34 and 46), so that the breakage of the bellows (34 and 46), as might otherwise be caused by the deposition of the remnants, can be prevented.
(FR)L'invention porte sur un appareil de découpe en dés dans lequel un bac à huile (20) est disposé juste au-dessous des plateaux (16 et 18) de déplacement X, de façon à assurer capacité suffisante du bac à huile (20) et à améliorer le drainage. Dans cet appareil de découpe en dés (1), des rails de guidage (22 et 36) et des vis à billes (24 et 38) pouvant guider les plateaux (16 et 18) de déplacement X de façon mobile dans une direction X sont agencés le long des faces latérales du bac à huile (20), et une paire de soufflets (34 et 46) pouvant couvrir les rails de guidage (22 et 36) et les vis à billes (24 et 38) sont agencés de la même manière verticalement le long des faces latérales du bac à huile (20). Les résidus ayant adhéré aux soufflets (34 et 46) glissent vers le bas le long des soufflets (34 et 46) sous l'effet de leur propre poids et tombent dans le bac à huile (20) qui a une capacité suffisante, de sorte qu'ils sont évacués. En conséquence, les résidus ne se déposent pas dans les soufflets (34 et 46), ce qui permet d'empêcher la rupture des soufflets (34 et 46), comme cela pourrait autrement être provoqué par le dépôt des résidus.
(JA) 本発明の実施形態の形態のダイシング装置(1)は、Xテーブル(16、18)の真下にオイルパン(20)を配置することにより、オイルパン(20)の容積を十分に確保し、排水性を向上させている。また、Xテーブル(16、18)をX方向に移動自在に案内するガイドレール(22、36)と、ボールねじ(24、38)とをオイルパン(20)の側面に沿って配置し、ガイドレール(22、36)と、ボールねじ(24、38)とを覆うそれぞれ一対の蛇腹(34、46)も同様にオイルパン(20)の側面に沿って鉛直方向に配置した。蛇腹(34、46)に付着した端材は自重により蛇腹(34、46)に沿って流下し、十分な容積を有するオイルパン(20)に落下して排出される。したがって、蛇腹(34、46)には、端材が堆積しないので、端材の堆積に起因する蛇腹(34、46)の破損を防止できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)