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1. (WO2009028157) 移動体駆動方法及び移動体駆動システム、並びにパターン形成方法及びパターン形成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/028157    国際出願番号:    PCT/JP2008/002265
国際公開日: 05.03.2009 国際出願日: 21.08.2008
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KANAYA, Yuho [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KANAYA, Yuho; (JP)
代理人: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO. Karakida Center Bldg. 1-53-9, Karakida Tama-shi, Tokyo 206-0035 (JP)
優先権情報:
2007-219103 24.08.2007 JP
発明の名称: (EN) MOVING BODY DRIVING METHOD, MOVING BODY DRIVING SYSTEM, PATTERN FORMING METHOD, AND PATTERN FORMING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'ENTRAÎNEMENT DE CORPS MOBILE, SYSTÈME D'ENTRAÎNEMENT DE CORPS MOBILE, PROCÉDÉ DE FORMATION DE MODÈLE, ET DISPOSITIF DE FORMATION DE MODÈLE
(JA) 移動体駆動方法及び移動体駆動システム、並びにパターン形成方法及びパターン形成装置
要約: front page image
(EN)An interferometer, e.g., a Z interferometer (43A, 43B) is used to measure first position information on a stage (WST). Simultaneously, a surface position measuring system, e.g., two Z heads (743, 763) is used to measure second position information on the stage (WST). The moving average of the differences between the first position information and the second position information is calculated for a predetermined measurement time to determine a coordinate offset. By using the coordinate offset, the reliability of the output signal of the surface position measurement system is verified. When the normality is confirmed, the stage (WST) is servo-controlled by using the sum of the first position information and the coordinate offset. By this hybrid servo control, control of the drive of the stage (WST) with both interferometer stability and Z-head precision is possible.
(FR)La présente invention concerne un interféromètre, par exemple, un interféromètre Z (43A, 43B) qui est utilisé pour mesurer des premières informations de position sur un plateau (WST). Simultanément, un système de mesure de position de surface, par exemple, deux têtes Z (743, 763) est utilisé pour mesurer des secondes informations de position sur le plateau (WST). La moyenne mobile des différences entre les premières informations de première position et les secondes informations de position est calculée pour un temps de mesure prédéterminé pour déterminer un décalage de coordonnées. En utilisant le décalage de coordonnées, la fiabilité du signal de sortie du système de mesure de position de surface est vérifiée. Lorsque la normalité est confirmée, le plateau (WST) est servocommandé en utilisant la somme des premières informations de position et le décalage de coordonnées. Grâce à cette servocommande hybride, la commande de l'entraînement du plateau (WST), avec une stabilité d'interféromètre et une précision de tête Z, est possible.
(JA) 干渉計システム、例えばZ干渉計(43A,43B)を用いてステージ(WST)の第1の位置情報を計測する。同時に、面位置計測システム、例えば2つの(Zヘッド743,763)を用いてステージ(WST)の第2の位置情報を計測する。第1の位置情報と第2の位置情報の差を所定の計測時間にわたって移動平均して座標オフセットを設定し、該座標オフセットを用いて面位置計測システムの出力信号の信頼性を検証する。正常が確認されたら、第1の位置情報と座標オフセットの和を用いてステージ(WST)をサーボ制御する。このハイブリッド方式のサーボ制御により、干渉計の安定性とZヘッドの精密さを兼ね備えたステージ(WST)の駆動制御が可能になる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)