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1. (WO2009028134) 単結晶直径の検出方法および単結晶引上げ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/028134    国際出願番号:    PCT/JP2008/002038
国際公開日: 05.03.2009 国際出願日: 30.07.2008
IPC:
C30B 15/22 (2006.01)
出願人: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YANAGIMACHI, Takahiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SONOKAWA, Susumu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YANAGIMACHI, Takahiro; (JP).
SONOKAWA, Susumu; (JP)
代理人: YOSHIMIYA, Mikio; 1st Shitaya Bldg. 8F 6-11, Ueno 7-chome Taito-ku, Tokyo 1100005 (JP)
優先権情報:
2007-225679 31.08.2007 JP
発明の名称: (EN) SINGLE CRYSTAL DIAMETER DETECTING METHOD AND SINGLE CRYSTAL PULL-UP APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DU DIAMÈTRE D'UN MONOCRISTAL ET APPAREIL DE TRACTION D'UN MONOCRISTAL.
(JA) 単結晶直径の検出方法および単結晶引上げ装置
要約: front page image
(EN)A method for detecting the diameter of a single crystal grown by the Czochralski method is characterized in that the diameter of a single crystal is determined by means of both a camera and a load cell, the diameter measured by means of the camera is corrected by using the difference between the diameter measured by means of the camera and the diameter computed by using the load cell and a correction coefficient &agr; predetermined according to the growth rate of the single crystal, and the corrected value is used as the diameter of the single crystal. A single crystal pull-up apparatus comprises both a camera and a load cell for determining the diameter of a pulled-up single crystal. With this, the accuracy of measurement of the diameter of a large-diameter heavy-weight crystal is improved, and yield enhancement and reduction of quality variation are achieved.
(FR)L'invention porte sur un procédé de détection du diamètre d'un monocristal poussé par la méthode de Czochralski. Le procédé est caractérisé par le fait que le diamètre d'un monocristal est déterminé au moyen à la fois d'une caméra et d'une cellule de charge, le diamètre mesuré au moyen de la caméra est corrigé par l'utilisation de la différence entre le diamètre mesuré au moyen de la caméra et le diamètre calculé à l'aide de la cellule de charge, et un coefficient de correction &agr; prédéterminé selon la vitesse de croissance du monocristal, et la valeur corrigée est utilisée comme diamètre du monocristal. L'invention porte également sur un appareil de traction du monocristal qui comprend à la fois une caméra et une cellule de charge pour déterminer le diamètre d'un monocristal tiré. Avec ceci, la précision de la mesure du diamètre d'un cristal de poids élevé, et de grand diamètre est améliorée, et une augmentation du rendement et une réduction de la variation de qualité sont obtenues.
(JA) 本発明は、チョクラルスキー法により育成される単結晶の直径を検出する方法であって、カメラとロードセルの両方によってそれぞれ単結晶の直径を検出し、カメラ検出直径とロードセルにより算出した直径との差と、前記単結晶の成長速度に応じて予め求められた補正係数αとによって前記カメラ検出直径を補正し、該補正によって得られた値を前記単結晶の直径とすることを特徴とする単結晶直径の検出方法および引上げる単結晶の直径を検出するためのカメラとロードセルの両方を具備する単結晶引上げ装置である。これによって、大口径、高重量結晶の直径の測定精度を向上し、歩留まりの向上と品質ばらつきの低減を達成することができるようになる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)