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1. (WO2009020089) 芳香族スルホニウム塩化合物
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/020089    国際出願番号:    PCT/JP2008/063952
国際公開日: 12.02.2009 国際出願日: 04.08.2008
IPC:
C07C 381/12 (2006.01), C07D 333/76 (2006.01), C08G 59/68 (2006.01), C09K 3/00 (2006.01), G03F 7/004 (2006.01)
出願人: ADEKA CORPORATION [JP/JP]; 2-35, Higashiogu 7-chome, Arakawa-ku, Tokyo 1160012 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAYASHIKI, Tetsuyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KIMURA, Kentaro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAYASHIKI, Tetsuyuki; (JP).
KIMURA, Kentaro; (JP)
代理人: HONDA, Ichiro; 6th Floor, Ikeden Building, 12-5, Shimbashi 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1050004 (JP)
優先権情報:
2007-205876 07.08.2007 JP
発明の名称: (EN) AROMATIC SULFONIUM SALT COMPOUND
(FR) COMPOSÉ DE SEL DE SULFONIUM AROMATIQUE
(JA) 芳香族スルホニウム塩化合物
要約: front page image
(EN)This invention provides a photoacid generating agent, which can generate an acid efficiently in relation with absorbed energy, can realize excellent developing properties, and can form a fine pattern, and a cation polymerization initiator having excellent curing properties, and a resist composition and a cation polymerization composition using the photoacid generating agent and the cation polymerization initiator. An aromatic sulfonium salt compound represented by general formula (I) wherein E1 to E4 each independently represent a substituent represented by general formula (II) or (III). In general formula (I), preferably, r and s are 0 (zero), m and n are 0 (zero), or n and r are 0 (zero). More preferably, in general formula (I), any one of m and s is 1.
(FR)Cette invention concerne un agent générant un acide sous l'effet de la lumière, lequel peut générer un acide efficacement en fonction de l'énergie absorbée, peut réaliser d'excellentes propriétés de développement et peut former un motif fin ; un initiateur de polymérisation cationique ayant d'excellentes propriétés de durcissement ; et une composition de résist et une composition de polymérisation cationique utilisant l'agent générant un acide sous l'effet de la lumière et l'initiateur de polymérisation cationique. L'invention concerne précisément un composé de sel de sulfonium aromatique représenté par la formule générale (I), dans laquelle formule E1 à E4 représentent chacun indépendamment un substituant représenté par la formule générale (II) ou (III). Dans la formule générale (I), de préférence, r et s valent 0 (zéro), m et n valent 0 (zéro) ou n et r valent 0 (zéro). De façon plus particulièrement préférable, dans la formule générale (I), l'un quelconque de m et de s vaut 1.
(JA) 吸収したエネルギーに対して効率的に酸を発生することができ、現像性に優れ、微細なパターンを形成できる光酸発生剤、および、硬化性に優れたカチオン重合開始剤を提供することにあり、また、これらを用いたレジスト組成物およびカチオン重合組成物を提供する。  下記一般式(I)、 (一般式(I)中、E~Eは、それぞれ独立に、下記一般式(II)または下記一般式(III)、 で表される置換基である)で表される芳香族スルホニウム塩化合物である。一般式(I)中、rおよびsが0であるもの、mおよびnが0であるもの、あるいはnおよびrが0であるものが好ましく、一般式(I)中、mとsのいずれか一方が1であるものが、より好ましい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)