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1. (WO2008143302) レジスト下層膜形成用組成物
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/143302    国際出願番号:    PCT/JP2008/059387
国際公開日: 27.11.2008 国際出願日: 21.05.2008
IPC:
G03F 7/11 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: JSR CORPORATION [JP/JP]; 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo 1048410 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YOSHIMURA, Nakaatsu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KONNO, Yousuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YOSHIMURA, Nakaatsu; (JP).
KONNO, Yousuke; (JP)
代理人: WATANABE, Kazuhira; 3rd Fl., No.8 Kikuboshi Tower Building, 20-18, Asakusabashi 3-chome, Taito-ku, Tokyo 1110053 (JP)
優先権情報:
2007-137012 23.05.2007 JP
発明の名称: (EN) COMPOSITION FOR FORMING RESIST LOWER LAYER FILM
(FR) COMPOSITION POUR FORMER UN FILM DE COUCHE INFÉRIEURE DE RÉSIST
(JA) レジスト下層膜形成用組成物
要約: front page image
(EN)Provided is a composition for forming a resist lower layer film. The composition contains (A) a resin, (B) a cross-linking agent having a butyl-ether group and (c) a solvent.
(FR)L'invention concerne une composition pour former un film de couche inférieure de résist. La composition contient (A) une résine, (B) un agent de réticulation ayant un groupe butyl-éther et (c) un solvant.
(JA) (A)樹脂、(B)ブチルエーテル基を有する架橋剤及び(C)溶剤を含有するレジスト下層膜形成用組成物。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)