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1. (WO2008143191) MEMSセンサおよびその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/143191    国際出願番号:    PCT/JP2008/059078
国際公開日: 27.11.2008 国際出願日: 16.05.2008
IPC:
G01P 15/12 (2006.01), G01P 15/125 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
出願人: ROHM CO., LTD. [JP/JP]; 21, Saiin Mizosaki-cho, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6158585 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKATANI, Goro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKATANI, Goro; (JP)
代理人: INAOKA, Kosaku; c/o AI ASSOCIATION OF PATENT AND TRADEMARK ATTORNEYS, Sun Mullion NBF Tower, 21st Floor 6-12, Minamihommachi 2-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 541-0054 (JP)
優先権情報:
2007-131831 17.05.2007 JP
発明の名称: (EN) MEMS SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
(FR) CAPTEUR DE MEMS ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) MEMSセンサおよびその製造方法
要約: front page image
(EN)An MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) sensor comprises a base layer and a deformation part formed above the base layer with a gap therebetween and deformed by an external force. The deformation part is made of an organic material.
(FR)L'invention concerne un capteur de MEMS (systèmes microélectromécaniques) qui comprend une couche de base et une partie de déformation formée au-dessus de la couche de base avec un intervalle entre elles et déformée par une force externe. La partie de déformation est faite d'un matériau organique.
(JA) 本発明のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)センサは、基層と、前記基層上に前記基層と間隔を空けて設けられ、外力により変形する変形部とを備える。前記変形部は、有機材料からなる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)