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1. (WO2008143011) 薄膜センサ、薄膜センサモジュールおよび薄膜センサの製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/143011    国際出願番号:    PCT/JP2008/058561
国際公開日: 27.11.2008 国際出願日: 08.05.2008
IPC:
H01C 7/02 (2006.01), G01D 21/00 (2006.01), G01K 7/18 (2006.01), H01L 37/00 (2006.01)
出願人: MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD. [JP/JP]; 1-11-1, Osaki, Shinagawa-ku, Tokyo 1418584 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MAEDA, Tomoyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IKEDA, Makoto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WADA, Mitsuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
INOUE, Shinichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MAEDA, Tomoyuki; (JP).
IKEDA, Makoto; (JP).
WADA, Mitsuhiro; (JP).
INOUE, Shinichi; (JP)
代理人: SUZUKI, Shunichiro; S.SUZUKI & ASSOCIATES, Gotanda Yamazaki Bldg. 6F, 13-6, Nishigotanda 7-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031 (JP)
優先権情報:
2007-126774 11.05.2007 JP
発明の名称: (EN) THIN FILM SENSOR, THIN FILM SENSOR MODULE AND METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM SENSOR
(FR) CAPTEUR À FILM MINCE, MODULE DE CAPTEUR À FILM MINCE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CAPTEUR À FILM MINCE
(JA) 薄膜センサ、薄膜センサモジュールおよび薄膜センサの製造方法
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide a thin film sensor, which has excellent adhesion between a substrate and a platinum temperature-sensitive resistive element having a high resistance temperature coefficient, without having a complicated manufacturing step. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A thin film sensor is provided with a substrate composed of single crystal of an aluminum oxide, and a temperature-sensitive resistive element, which is laminated on the substrate and is composed of platinum crystal.
(FR)L'objet de la présente invention est un capteur à film mince, qui présente une excellente adhérence entre un substrat et un élément résistif thermosensible de platine doté d'un coefficient résistance-température élevé, sans présenter d'étape de fabrication compliquée. Selon la présente invention, un capteur à film mince est équipé d'un substrat constitué d'un monocristal d'un oxyde d'aluminium, et d'un élément résistif thermosensible, qui est laminé sur le substrat et est constitué d'un cristal de platine.
(JA)[課題]複雑な製造工程を経ることなく、基板と白金製感温抵抗体との密着性に優れ、該感温抵抗体の抵抗温度係数が大きい薄膜センサを提供すること。 [解決手段]酸化アルミニウム類の単結晶からなる基板と、該基板に積層された、白金結晶からなる感温抵抗体とを有することを特徴とする薄膜センサ。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)