WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2008142769) 半導体装置の試験装置及び試験方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/142769    国際出願番号:    PCT/JP2007/060358
国際公開日: 27.11.2008 国際出願日: 21.05.2007
IPC:
G01R 31/26 (2006.01)
出願人: FUJITSU MICROELECTRONICS LIMITED [JP/JP]; 7-1, Nishi-Shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1630722 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAMURA, Hideaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAMURA, Hideaki; (JP)
代理人: KOKUBUN, Takayoshi; 5th Floor, NBF Ikebukuro City Building 17-8, Higashi-Ikebukuro 1-chome Toshima-ku, Tokyo 170-0013 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE TESTING DEVICE AND TESTING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET MÉTHODE D'ESSAI DE SEMI-CONDUCTEURS
(JA) 半導体装置の試験装置及び試験方法
要約: front page image
(EN)A semiconductor device testing device includes: a temperature detection part which detects the temperatures of semiconductor devices mounted on a testing board; and temperature control units which control the temperatures of the semiconductors according to the result of the detection. Each of the temperature control unit has: a thermal head for cooling or heating the semiconductor device; solution pipes through which the solutions set to different temperatures are made to flow parallelly; and a channel switch part which switches whether to make the solutions flowing through the pipes flow to the thermal head. When a semiconductor device has a small heat generation amount not reaching a regulated temperature with such a solution temperature that controls the temperature of a semiconductor of a large heat generation amount to be in the range of the regulated temperature, the channel switch part switches the solution made to flow to the thermal head to a solution at a higher temperature. Thus, without regard to the difference of the heat generation amounts, the temperatures of the semiconductors are controlled to be within the range of the regulated temperature.
(FR)L'invention porte sur un dispositif d'essai de semi-conducteurs comprenant une partie de détection de température qui détecte les températures de semi-conducteurs montés sur une plaque d'essai; et des unités de commande de température qui contrôlent les températures des semi-conducteurs selon le résultat de la détection. Chacune de l'unité de commande de température présente: une tête thermique refroidissant ou chauffant le semi-conducteur; des tubes d'apport de solutions où s'écoulent parallèlement des solutions à des températures différentes, et un commutateur de canal sélectionnant le tube alimentant la tête thermique. Quand un semi-conducteur présente une température n'atteignant pas la température voulue, le commutateur de canal sélectionne le canal d'apport de la solution à forte température. Ainsi, indépendamment de la différence entre les quantités de chaleur produites, la température des semi-conducteurs est maintenus dans la plage des températures régulées.
(JA) 試験ボードに搭載された複数の半導体装置の温度を検出する温度検出部と、その検出結果に基づいて半導体装置の温度を制御する温度制御ユニットとを備え、かつ温度制御ユニットは、半導体装置を冷却又は加熱するサーマルヘッドと、異なる温度に設定した複数の溶液が並列に流通される複数の溶液用配管と、溶液用配管を流通する溶液をサーマルヘッドに流通させるか否かを切り替える流路切替部とを備え、発熱量が大きい半導体装置の温度を規定温度範囲内に収めるような溶液温度では規定温度に到達できない発熱量が小さい半導体装置に対しては、流路切替部によりサーマルヘッドに流通させる溶液をより高温のものに切り替えるようにして、発熱量の差にかかわらず、半導体装置の温度を規定温度範囲内に制御できるようにする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)