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1. (WO2008142747) 加熱処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/142747    国際出願番号:    PCT/JP2007/060021
国際公開日: 27.11.2008 国際出願日: 16.05.2007
予備審査請求日:    05.09.2007    
IPC:
G01J 5/60 (2006.01)
出願人: Canon ANELVA Corporation [JP/JP]; 2-5-1 Kurigi, Asao-ku Kawasaki-shi, Kanagawa 215-8550 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KUMAGAI, Akira [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIBAGAKI, Masami [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NUMAJIRI, Kenji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
EGAMI, Akihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KUMAGAI, Akira; (JP).
SHIBAGAKI, Masami; (JP).
NUMAJIRI, Kenji; (JP).
EGAMI, Akihiro; (JP)
代理人: OKABE, Masao; No. 602, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) HEAT TREATMENT APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT THERMIQUE
(JA) 加熱処理装置
要約: front page image
(EN)Provided is a heat treatment apparatus which enables temperature control which always maintains temperature to be constant and temperature control in a high-temperature range of 1850°C or more. The heat treatment apparatus has a treatment chamber, a heated object supporting member provided in the treatment chamber, a heating means disposed within the heated object supporting member, and a temperature measurement means which measures the temperature of the heated object supporting member. The temperature measurement means is disposed outside a transmission window which is formed in the peripheral wall of the treatment chamber and which can transmit infrared energy radiated by the heated object supporting member. The temperature measurement means has a convergence means which converges the infrared energy radiated by the heated object supporting member, and a calculation part which calculates temperature according to the intensity ratio of two wavelengths of the infrared rays.
(FR)Cette invention concerne un appareil de traitement thermique qui permet une commande de température maintenant toujours une température constante et une commande de température dans une plage de températures élevées de 1850 °C ou plus. L'appareil de traitement thermique comporte une chambre de traitement, un élément de support d'objet chauffé situé dans la chambre de traitement, des moyens de chauffage situés à l'intérieur de l'élément de support d'objet chauffé, et des moyens de mesure de température qui mesurent la température de l'élément de support d'objet chauffé. Les moyens de mesure de température se situent à l'extérieur d'une fenêtre de transmission qui est formée dans la paroi périphérique de la chambre de traitement et qui peut transmettre une énergie infrarouge émise par l'élément de support d'objet chauffé. Les moyens de mesure de température comportent des moyens de convergence qui font converger l'énergie infrarouge émise par l'élément de support d'objet chauffé, et une partie de calcul qui calcule la température selon le rapport d'intensité de deux longueurs d'onde des rayons infrarouges.
(JA)常に一定の温度制御と、1850度以上の高温領域における温度制御が可能な加熱処理装置を提供することを目的とする。処理室と、処理室内に設けられた加熱物支持部材と、加熱物支持部材内に配置された加熱手段と、加熱物支持部材の温度を測定する温度測定手段とを有する加熱処理装置であって、温度測定手段が、処理室の周壁に設けられた加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを透過可能な透過窓の外部に配置されており、温度測定手段が、加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを集光する集光部と、赤外線内の2波長の強度比に基づいて温度を算出する算出部とを有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)