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1. (WO2008139834) フィルム搬送装置および巻取式真空成膜方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/139834    国際出願番号:    PCT/JP2008/057600
国際公開日: 20.11.2008 国際出願日: 18.04.2008
IPC:
C23C 14/56 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HIRONO, Takayoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TADA, Isao [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKATSUKA, Atsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HIRONO, Takayoshi; (JP).
TADA, Isao; (JP).
NAKATSUKA, Atsushi; (JP)
代理人: OMORI, Junichi; 4th Floor, Matrice Bldg. 2-13-7, Minamiaoyama Minato-Ku, Tokyo 1070062 (JP)
優先権情報:
2007-127877 14.05.2007 JP
発明の名称: (EN) FILM CONVEYING DEVICE AND WINDING-TYPE VACUUM FILM-FORMING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE FILM ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM PAR LE VIDE DE TYPE À ENROULEMENT
(JA) フィルム搬送装置および巻取式真空成膜方法
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To protect the film-forming area of a base film and realize stable running performance of the film. [MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] This winding-type vacuum film- forming device (10) comprises a guide unit (20) including a guide roller (17A) with a pair of annular guide parts (17b) for supporting both side edges of the base film (F) and an auxiliary roller (18) disposed in opposite to the guide roller (17A) and pressing the both side edges of the base film (F) onto the pair of guide parts (17b). With such a constitution, the film-forming area (Fc) of the base film (F) can be avoided from contacting with respective roll surfaces of the guide roller (17A) and the auxiliary roller (18) in the guide unit (20), whereby the film-forming area (Fc) can be protected.
(FR)L'invention consiste à protéger la zone de formation de film d'un film de base et à réaliser des performances stables de passage du film. Pour cela, ce dispositif de formation de film par le vide de type à enroulement (10) comprend une unité de guidage (20) incluant un rouleau de guidage (17A) comportant une paire de pièces de guidage annulaires (17b) permettant de supporter les deux bords latéraux du film de base (F) et un rouleau auxiliaire (18) disposé en face du rouleau de guidage (17A) et pressant les deux bords latéraux du film de base (F) sur la paire de pièces de guidage (17b). Grâce à une conception de ce type, on peut empêcher la zone de formation du film (Fc) du film de base (F) d'entrer en contact avec les surfaces des rouleaux respectives du rouleau de guidage (17A) et du rouleau auxiliaire (18) dans l'unité de guidage (20), grâce à quoi on peut protéger la zone de formation du film (Fc).
(JA)【課題】ベースフィルムの成膜領域を保護でき、かつ安定したフィルム走行性を実現する。 【解決手段】本発明に係る巻取式真空成膜装置10は、ベースフィルムFの両側縁部を支持する一対の環状のガイド部17bを有するガイドローラ17Aと、ガイドローラ17Aに対向して配置されベースフィルムFの両側縁部を一対のガイド部17bに向けて押圧する補助ローラ18とを含むガイドユニット20を有する。これにより、ベースフィルムFの成膜領域Fcとガイドユニット20のガイドローラ17Aおよび補助ローラ18の各々のロール面との接触を回避でき、当該成膜領域Fcの保護を図ることができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)