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1. (WO2008139809) 質量分析ユニット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/139809    国際出願番号:    PCT/JP2008/057249
国際公開日: 20.11.2008 国際出願日: 14.04.2008
IPC:
G01N 27/62 (2006.01), H01J 41/10 (2006.01), H01J 49/42 (2006.01)
出願人: ULVAC, Inc. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAJIMA, Toyoaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KUROKAWA, Yujirou [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YURI, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANAKA, Ryota [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YOSHIDA, Shuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAJIMA, Toyoaki; (JP).
KUROKAWA, Yujirou; (JP).
YURI, Tsutomu; (JP).
TANAKA, Ryota; (JP).
YOSHIDA, Shuji; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
2007-129408 15.05.2007 JP
発明の名称: (EN) MASS SPECTROMETRY UNIT
(FR) UNITÉ DE SPECTROMÉTRIE DE MASSE
(JA) 質量分析ユニット
要約: front page image
(EN)A mass spectrometry unit comprising a mass spectrometry section for measuring the partial pressure by detecting the ion current value for every mass charge ratio of gas to be measured is further provided with a control section for previously holding the record of the mass charge ratio of a specific gas which causes decline of the function at a specific part of the mass spectrometry unit. When the ion current value of mass charge ratio of the specific gas detected at the mass spectrometry section reaches a predetermined value, the control section outputs a signal warning the functional decline at the specific part.
(FR)Cette invention se rapporte à une unité de spectrométrie de masse comprenant une section de spectrométrie de masse permettant de mesurer la pression partielle en détectant la valeur du courant ionique pour chaque rapport de charge de masse de gaz à mesurer, ladite unité étant équipée par ailleurs d'une section de commande destinée à conserver préalablement l'enregistrement du rapport de charge de masse d'un gaz spécifique qui entraîne la réduction de la fonction au niveau d'une partie spécifique de l'unité de spectrométrie de masse. Lorsque la valeur du courant ionique du rapport de charge de masse du gaz spécifique détecté au niveau de la section de spectrométrie de masse atteint une valeur prédéterminée, la section de commande génère un signal avertissant de la réduction fonctionnelle au niveau de la partie spécifique.
(JA) この質量分析ユニットは、被測定ガスの質量電荷比ごとのイオン電流値を検出して分圧を測定する質量分析部を備えた質量分析ユニットであって、この質量分析ユニットの特定部位の機能を低下させる特定ガスの質量電荷比の記録を予め保持する制御部をさらに備え;前記質量分析部により検出された前記特定ガスの質量電荷比のイオン電流値が所定値以上となった場合に、前記制御部が、前記特定部位の機能低下を示す警告信号を出力する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)