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1. (WO2008136502) バルブ開閉動作確認方法、ガス処理装置および記憶媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/136502    国際出願番号:    PCT/JP2008/058369
国際公開日: 13.11.2008 国際出願日: 01.05.2008
IPC:
H01L 21/316 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKEYAMA, Tamaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKEYAMA, Tamaki; (JP)
代理人: TAKAYAMA, Hiroshi; Hirakawacho Tsujita Bldg. 2F 1-7-20 Hirakawacho, Chiyoda-ku Tokyo 1020093 (JP)
優先権情報:
2007-121962 02.05.2007 JP
発明の名称: (EN) VALVE OPEN/CLOSE OPERATION CHECK METHOD, GAS TREATMENT DEVICE, AND STORAGE MEDIUM
(FR) PROCÉDÉ DE VÉRIFICATION DE FONCTIONNEMENT D'OUVERTURE/FERMETURE DE SOUPAPE, DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE GAZ, ET SUPPORT DE STOCKAGE
(JA) バルブ開閉動作確認方法、ガス処理装置および記憶媒体
要約: front page image
(EN)A base pressure in a chamber is formed and valves are set to the state that a valve close instruction is given. A gas is fed to a plurality of gas lines at a line-fill mode and it is judged whether the pressure in the chamber exceeds a tolerance. If YES, it is judged that there exists a valve not closed and an alarm is generated. If NO, it is judged that a plurality of valves are set to the state that an open instruction is given and the gas is fed to the plurality of gas lines while controlling the flow rate. Check is made to determine whether the gas flow rate is below the tolerance. If YES, it is judged that the valve of the gas line is not actually opened and an alarm is generated. If NO, it is judged that no trouble is present.
(FR)Une pression de base dans une chambre est formée et des soupapes sont réglées à l'état selon lequel une instruction de fermeture de soupape est donnée. Un gaz est adressé à une pluralité de conduites de gaz à un mode de remplissage de conduite et il est déterminé si ou non la pression dans la chambre dépasse une tolérance. Si OUI, il est déterminé qu'il existe une soupape non fermée et une alarme est générée. Si NON, il est déterminé qu'une pluralité de soupapes sont réglées à l'état selon lequel une instruction d'ouverture est donnée et le gaz est adressé à la pluralité de conduites de gaz tout en commandant le débit. Une vérification est réalisée pour déterminer si ou non le débit gazeux est en dessous de la tolérance. Si OUI, il est déterminé que la soupape de la conduite de gaz n'est pas réellement ouverte et une alarme est générée. Si NON, il est déterminé qu'aucun problème n'est présent.
(JA)チャンバ内のベース圧を形成し、バルブを閉指令が与えられた状態として、複数のガスラインにラインフィルモードでガスを流し、チャンバ内圧力がトレランスを超えたか否かを判断し、トレランスを超えた際に、実際には閉じていないバルブが存在すると判断してアラームを発生し、トレランスを超えていない場合に、複数のバルブを開指令が与えられた状態として、複数のガスラインに流量を制御しつつガスを流し、ガス流量がトレランスを下回ったか否かを判断し、トレランスを下回った際に、そのガスラインのバルブが実際には開いていないと判断し、アラームを発生し、ガス流量がトレランスを下回ったラインが存在しない場合に異常なしとする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)