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1. (WO2008133183) 静電容量型加速度センサ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/133183    国際出願番号:    PCT/JP2008/057519
国際公開日: 06.11.2008 国際出願日: 17.04.2008
IPC:
G01P 15/125 (2006.01), G01P 15/18 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
出願人: ALPS ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 1-7, Yukigaya otsukamachi, Ota-ku, Tokyo 1458501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAMURA, Manabu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUGAWARA, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IWASAKI, Chisato [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAMURA, Manabu; (JP).
SUGAWARA, Tsuyoshi; (JP).
IWASAKI, Chisato; (JP)
代理人: AOKI, Hiroyoshi; 7F, Nibancho Cashew Bldg. 4-3, Niban-cho Chiyoda-ku, Tokyo 1020084 (JP)
優先権情報:
2007-111311 20.04.2007 JP
2007-230698 05.09.2007 JP
発明の名称: (EN) CAPACITANCE TYPE ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION DU TYPE À CAPACITANCE
(JA) 静電容量型加速度センサ
要約: front page image
(EN)A capacitance type acceleration sensor that is excellent in the linearity of sensitivity and has a simple structure. A pair of fixed electrodes (12) is formed on one main surface of a glass substrate (11). The fixed electrodes (12) of the pair are arranged at positions facing a movable electrode. A silicon substrate (13) is joined to the one main surface of the glass substrate (11), and the silicon substrate (13) has a weight section (13a), which is the movable electrode, and a pair of beam sections (13b) for supporting opposite ends of the weight section (13a). The beam sections (13b) are arranged at positions that are near the bottom surface of the weight section (13a) and are away from the center or an end of the weight section (13a). Further, the pair of fixed electrodes (12) is located, in a plan view, at a position symmetrical with respect to the beam sections (13b). A glass substrate (14) is joined to the silicon substrate (13) on the side opposite to the glass substrate (11).
(FR)Le capteur d'accélération du type à capacitance selon l'invention a une sensibilité d'une excellente linéarité et présente une structure simple. Une paire d'électrodes fixes (12) est formée sur une surface principale d'un substrat en verre (11). Les électrodes fixes (12) de la paire sont agencées à des positions faisant face à une électrode mobile. Un substrat en silicium (13) est joint à la surface principale du substrat en verre (11), et le substrat en silicium (13) a une section de poids (13a), qui est l'électrode mobile, et une paire de sections de poutre (13b) pour supporter les extrémités opposées de la section de poids (13a). Les sections de poutre (13b) sont agencées à des positions qui sont proches de la surface inférieure de la section de poids (13a) et qui sont éloignées du centre ou d'une extrémité de la section de poids (13a). En outre, la paire d'électrodes fixes (12) est placée, en vue plane, à une position symétrique par rapport aux sections de poutre (13b). Un substrat en verre (14) est joint au substrat en silicium (13) du côté opposé au substrat en verre (11).
(JA)感度のリニアリティを確保しつつ、構造が簡単である静電容量型加速度センサを提供すること。ガラス基板(11)の一方の主面上には、一対の固定電極(12)が形成されている。この一対の固定電極(12)は、それぞれ可動電極と対向する位置に配置される。ガラス基板(11)の一方の主面上には、可動電極である錘部(13a)及び錘部(13a)の両端を支持する一対の梁部(13b)を有するシリコン基板(13)が接合されている。梁部(13b)は、錘部(13a)の底面に近い部分に設けられており、錘部(13a)の中心又は端部からずれた位置に設けられている。また、一対の固定電極(12)は、平面視において、梁部(13b)を中心に対称な位置に設けられている。シリコン基板(13)のガラス基板(11)と反対側には、ガラス基板(14)が接合されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)