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1. (WO2008133156) 導電性保護膜及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/133156    国際出願番号:    PCT/JP2008/057466
国際公開日: 06.11.2008 国際出願日: 17.04.2008
IPC:
C23C 14/06 (2006.01)
出願人: NANOTEC CORPORATION [JP/JP]; 572-61, Toyofuta, Kashiwa-shi, Chiba 2770872 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAMORI, Hideki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIRATSUKA, Masanori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAMORI, Hideki; (JP).
HIRATSUKA, Masanori; (JP)
代理人: ISHIHARA, Shoji; c/o Ishihara International Patent Firm, No. 302, Wakai Bldg., 7-8, Higashi-Ikebukuro 3-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
優先権情報:
2007-111769 20.04.2007 JP
発明の名称: (EN) CONDUCTIVE PROTECTIVE FILM AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
(FR) FILM PROTECTEUR CONDUCTEUR ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 導電性保護膜及びその製造方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a conductive diamond-like carbon protective film having both high hardness and high wear resistance, which is produced by a specific film-forming method. Also disclosed is a method for producing such a conductive diamond-like carbon protective film. Specifically disclosed is a method for producing a conductive protective film for protecting a substrate, wherein a conductive diamond-like carbon protective film containing a predetermined amount of boron is formed on the substrate by using a mixed gas containing a hydrocarbon raw material gas and a boron doping gas at a predetermined ratio. It is preferable that one or more members selected from the group consisting of trimethyl borate, trimethyl boron and triethyl boron are used as the boron doping gas.
(FR)L'invention concerne un film protecteur de carbone sous forme de diamant amorphe conducteur, présentant à la fois une rigidité élevée et une résistance à l'usure élevée fabriqué par un procédé de formation de film spécifique. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un tel film protecteur de carbone sous forme de diamant amorphe conducteur. L'invention concerne spécifiquement un procédé de fabrication d'un film protecteur conducteur pour protéger un substrat, un film protecteur de carbone sous forme de diamant amorphe conducteur contenant une quantité prédéterminée de bore étant formé sur le substrat à l'aide d'un gaz mixte contenant un gaz de matière brute d'hydrocarbure et un gaz de dopage au bore dans un rapport prédéterminé. Il est préférable qu'un ou plusieurs éléments choisis dans le groupe constitué par le borate de triméthyle, le triméthyle bore et le triéthyle bore soient utilisés en tant que gaz de dopage au bore.
(JA) 本発明は、特定の成膜方法を用いて高い硬度と耐摩耗性を兼ね備えた導電性ダイヤモンドライクカーボン保護膜及びその製造方法を提供する。基板を保護する導電性保護膜の製造方法であって、炭化水素系原料ガスとボロンドーピングガスとを所定割合で導入した混合ガスを用いて所定量のボロンを含む導電性ダイヤモンドライクカーボン被膜を前記基板上に形成するようにした。前記ボロンドーピングガスとして、ホウ酸トリメチル、トリメチルボロン及びトリエチルホウ素からなる群から選ばれる一種又は二種以上を用いることが好ましい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)