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1. (WO2008129983) コンベアおよび成膜装置とそのメンテナンス方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/129983    国際出願番号:    PCT/JP2008/057339
国際公開日: 30.10.2008 国際出願日: 15.04.2008
IPC:
B65G 49/06 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
出願人: ULVAC, Inc. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ISHINO, Koji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAMURA, Hajime [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUDA, Mayako [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHINDOU, Takaaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOSHIMIZU, Takaharu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ISHINO, Koji; (JP).
NAKAMURA, Hajime; (JP).
MATSUDA, Mayako; (JP).
SHINDOU, Takaaki; (JP).
KOSHIMIZU, Takaharu; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
2007-106877 16.04.2007 JP
発明の名称: (EN) CONVEYOR, AND FILM-FORMING APPARATUS AND MAINTENANCE METHOD THEREOF
(FR) TRANSPORTEUR, ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM ET PROCÉDÉ DE MAINTENANCE DE CELUI-CI
(JA) コンベアおよび成膜装置とそのメンテナンス方法
要約: front page image
(EN)A conveyor, and a film-forming apparatus and a maintenance method thereof. In a conveyor comprising a frame, a lower supporting mechanism for supporting a carrier on which a substrate is vertically mounted and conveying the carrier, and an upper supporting mechanism for supporting the carrier, the frame is composed of a lower frame and an upper frame, the lower supporting mechanism is provided in the lower frame, the upper supporting mechanism is provided in the upper frame, and the upper frame is movable separately from the lower frame. By rotating the upper frame, a cathode member can be placed in a space formed above the lower frame, so that the distance between a film-forming processing path and a carrier conveyance path can be narrowed. Accordingly, a courtyard of the film-forming apparatus can be narrowed, so that in the conveyor which can convey the carrier and the film-forming apparatus including this conveyor and further including a vacuum processing device and a conveyance system, the installation area thereof can be narrowed.
(FR)L'invention concerne un transporteur, et un dispositif de formation de film et un procédé de maintenance de celui-ci. Dans un transporteur comprenant un cadre, un mécanisme de support inférieur pour supporter un support sur lequel un substrat est monté verticalement et transporter le support, et un mécanisme de support supérieur pour supporter le support, le cadre est composé d'un cadre inférieur et d'un cadre supérieur, le mécanisme de support inférieur est prévu dans le cadre inférieur, le mécanisme de support supérieur est prévu dans le cadre supérieur, et le cadre supérieur peut être déplacé séparément du cadre inférieur. En tournant le cadre supérieur, un élément de cathode peut être placé dans un espace formé au-dessus du cadre inférieur, de sorte que la distance entre un trajet de traitement de formation de film et un trajet de transport de support peut être diminuée. Par conséquent, une surface au sol du dispositif de formation de film peut être diminuée, de sorte que, dans le transporteur qui peut transporter le support et le dispositif de formation de film comprenant ce transporteur et comprenant en outre un dispositif de traitement sous vide et un système de transport, la surface d'installation de celui-ci peut être réduite.
(JA) このコンベアおよび成膜装置とそのメンテナンス方法は、フレームと、基板が縦型に載置されたキャリアを支持すると共にキャリアを搬送する下部支持機構と、キャリアを支持する上部支持機構と、を備えたコンベアにおいて、フレームが、下部フレームと上部フレームとで構成され、下部支持機構が下部フレームに設けられ、上部支持機構が上部フレームに設けられ、上部フレームが下部フレームと分離して移動可能に構成されている。そこで、上部フレームを回動させることにより、下部フレームの上方に形成された空間に、カソード部材を配置することができるため、成膜処理経路とキャリア搬送経路との間隔を狭くすることができる。したがって、成膜装置の中庭を狭くすることができるため、キャリアを搬送可能なコンベアおよび、このコンベアを備え、真空処理装置および搬送システムを備えた成膜装置において、その設置面積を狭小化することが可能である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)