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1. (WO2008129932) 放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置
Document

明 細 書

発明の名称 放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置

技術分野

0001  

背景技術

0002   0003  

発明の開示

発明が解決しようとする課題

0004   0005  

課題を解決するための手段

0006   0007  

発明の効果

0008  

図面の簡単な説明

0009   0010  

発明を実施するための最良の形態

0011   0012   0013   0014   0015   0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038   0039   0040   0041   0042   0043   0044   0045   0046   0047   0048   0049   0050   0051   0052   0053   0054   0055   0056   0057   0058   0059   0060   0061   0062   0063   0064   0065   0066  

請求の範囲

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11   12   13   14   15   16   17   18   19  

図面

1   2   3   4   5   6   7  

明 細 書

放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置

技術分野

[0001]
 本発明は、放電ランプ、放電ランプと電源とを接続する際に使用される接続用ケーブル、放電ランプを備えた光源装置、及びこの光源装置を備えた露光装置に関する。

背景技術

[0002]
 各種デバイス(マイクロデバイス、電子デバイス等)を製造するためのリソグラフィ工程においては、レチクル(又はフォトマスク等)に形成されたパターンをレジストが塗布されたウエハ(又はガラスプレート等)上に転写するために、ステッパー等の一括露光型(静止露光型)の投影露光装置、及びスキャニング・ステッパー等の走査露光型の投影露光装置などの露光装置が使用されている。これらの露光装置では、水銀ランプ等の放電ランプと集光鏡とを組み合わせてなる露光用の光源装置が使用されており、その放電ランプは所定の取り付け機構を介して保持されていた。
[0003]
 従来の放電ランプを有する光源装置の中には、発熱の影響を軽減するために冷却機構を備えたタイプがある。従来の冷却機構の一例は、放電ランプの一方の口金の外面からバルブ部の外面を経て他方の口金の外面に向けて冷却された空気を供給する機構である(例えば、特許文献1参照)。従来の冷却機構の別の例として、放電ランプの口金にリング状の溝部を設け、その溝部及び所定の送風管を介してバルブ部に冷却された空気を供給する機構も知られている(例えば、特許文献2参照)。
特許文献1 : 特開平9-213129号公報
特許文献2 : 特開平11-283898号公報

発明の開示

発明が解決しようとする課題

[0004]
 従来の光源装置における放電ランプの冷却機構は、主に放電ランプのバルブ部に冷風を吹き付けていたため、口金に対する冷却作用が小さいという問題があった。
 また、放電ランプには、固定側の口金と自由端側の口金とがあり、従来の冷却機構を用いて自由端側の口金を冷却する場合には、口金の周囲にも送風用の配管等を設置する必要があり、放電ランプからの光が多く遮光されるという問題があった。
[0005]
 本発明はこのような事情に鑑み、放電ランプの口金に対する冷却作用が大きいと共に、自由端側の口金を冷却する際に放電ランプから発生する光に対する遮光量が少ない光源装置を提供することを目的とする。
 さらに、本発明は、そのような光源装置に適用できる放電ランプ及び接続用ケーブル、並びにそのような光源装置を用いる露光技術を提供することをも目的とする。

課題を解決するための手段

[0006]
 本発明による放電ランプは、ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、そのガラス部材に連結された口金部材と、その口金部材に設けられ、導電性材料で形成される中継部材と、その中継部材と電気的に接続される導電性部材を有する連結部材と、その中継部材及びその連結部材に設けられ、その口金部材に冷却用媒体を供給するための流路とを備えるものである。
[0007]
 また、本発明による接続用ケーブルは、冷却用媒体及び電力を用いる装置とその冷却用媒体の供給源及び電源とを連結するための接続用ケーブルであって、可撓性材料より形成されて、その冷却用媒体の流路を有する管状部材と、導電性を持つ可撓性材料より形成されて、その管状部材を覆うように設けられた被覆部材とを備えたものである。
 また、本発明による光源装置は、電源と冷却用媒体の供給源とに接続される光源装置であって、本発明の放電ランプと、その電源及びその供給源と、その放電ランプとを接続するための本発明の接続用ケーブルとを有するものである。
 また、本発明による露光装置は、光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、その光源装置として本発明の光源装置を用いるものである。

発明の効果

[0008]
 本発明の放電ランプによれば、放電用の電力は、連結部材の導電性部材、中継部材、及び口金部材を介して放電用の電極に供給される。さらに、冷却用媒体は、連結部材及び中継部材に設けられた流路を介して口金部材に供給される。
 本発明の接続用ケーブルによれば、電源からの電力は、可撓性を持つ被覆部材を介して装置側に供給され、供給源からの冷却用媒体は、その被覆部材内に設けられた可撓性を持つ管状部材の内部を通して装置側に供給される。
 従って、本発明の光源装置及び露光装置によれば、電源からの電力は、接続用ケーブルの被覆部材、放電ランプの連結部材の導電性部材、中継部材、及び口金部材を介して放電用の電極に供給される。さらに、供給源からの冷却用媒体は、接続用ケーブルの管状部材を通過した後、放電ランプの連結部材及び中継部材内の流路を通して口金部材に供給される。従って、その口金部材に対する冷却作用が大きい。また、冷却用媒体は、接続用ケーブルの電力供給用の可撓性を持つ被覆部材内の可撓性を持つ管状部材を通して放電ランプ側に供給される。従って、その口金部材が自由端側にある場合に、その接続用ケーブルによる放電ランプから発生する光の遮光量が少なく、光の利用効率が高いと共に、光源装置の温度上昇も少ない。

図面の簡単な説明

[0009]
[図1] 実施形態の一例の投影露光装置の概略構成を示す図である。
[図2] 図2(A)は図1中の放電ランプ1を示す一部を切り欠いた図、図2(B)は図2(A)のBB線に沿う断面図である。
[図3] 図3(A)は図2(A)の口金部28側の流路折り曲げ部材51及び口金側コネクタ52を示す平面図、図3(B)は、図2(A)の口金部28近傍の構成を示す断面図、図3(C)は図3(B)の要部の側面図である。
[図4] 実施形態の一例の連結ケーブル57を示す一部を切り欠いた図である。
[図5] 図3(B)の放電ランプ1の口金側コネクタ52に図4の連結ケーブル57を介して電源32及び送風装置34を連結した状態を示す一部を切り欠いた図である。
[図6] 実施形態の変形例であって、放電ランプ1の流路折り曲げ部材51と口金側コネクタとの間に延長ケーブル57Aを接続した例の要部を示す一部を切り欠いた図である。
[図7] 実施形態の変形例の口金部近傍の構成を示す一部を切り欠いた図である。

符号の説明

[0010]
 1…放電ランプ、2…楕円鏡、25…ガラス管、25a…バルブ部、25c…棒状部、26,28…口金部、28b…溝部、30…露光光源、31…取り付け部材、32…電源、33A,33B…電力ケーブル、34…送風装置、35A…送風用配管、41…電源側コネクタ、50…カバー部材、51…流路折り曲げ部材、51c…送風路、52…口金側コネクタ、55…固定部、57…連結ケーブル、57A…延長ケーブル、58A,58B…ケーブル側コネクタ、62A,62B…ケーブル側連結部材

発明を実施するための最良の形態

[0011]
 以下、本発明の好ましい実施形態の一例につき図1~図5を参照して説明する。
 図1は、本例の露光光源30を備えた投影露光装置(露光装置)を示し、この図1において、アーク放電型の水銀ランプよりなる放電ランプ1が、取り付け部材31を介して絶縁物よりなる固定板29に固定されている。また、放電ランプ1内の陽極側及び陰極側の電極には、それぞれ電源32から可撓性を持つ電力ケーブル33A及び33Bを介して電力が供給されている。また、放電ランプ1の2つの口金には可撓性を持つ送風用配管35A及び35Bを介して送風装置34から、防塵フィルタを通して冷却された空気(以下、冷風と言う。)が供給されている。送風装置34としては、外気を取り込んで除塵及び冷却を行って得られた空気(又は窒素ボンベから取り込んだ窒素ガス等でもよい)を所定の風量で供給する機構が使用できる。送風装置34としては、それ以外に、工場内でエアーシリンダ等のために圧縮空気を供給する圧縮空気供給部を使用してもよい。その冷風は、室温程度でもよく、必ずしも室温以下にまで冷却されていなくともよい。
[0012]
 また、放電ランプ1のバルブ部を囲むように楕円鏡2(集光ミラー)が不図示のブラケットに固定されている。放電ランプ1のバルブ部内の発光部は、一例として楕円鏡2の第1焦点P1の近傍に配置されている。放電ランプ1、楕円鏡2、取り付け部材31、電力ケーブル33A,33B、送風用配管35A,35B、電源32、及び送風装置34を含んで露光光源30が構成されている(詳細後述)。
[0013]
 放電ランプ1から射出された光束は、楕円鏡2によって第2焦点P2付近に収束された後、開状態のシャッタ3の近傍を通過して発散光となって光路折り曲げ用のミラー4に入射する。シャッタ3の開閉はシャッタ駆動装置3aによって行われ、一例として後述のステージ制御系15が、装置全体の動作を統括制御する主制御系14の指令のもとでシャッタ駆動装置3aを制御する。
[0014]
 ミラー4で反射された光束は干渉フィルタ5に入射し、干渉フィルタ5により所定の輝線(例えば波長365nmのi線)の露光光ILのみが選択される。なお、露光光ILとしては、i線の他に、g線、h線、若しくはこれらの混合光等、又は水銀ランプ以外のランプの輝線等も使用できる。その選択された露光光ILは、フライアイレンズ6(オプティカル・インテグレータ)に入射し、フライアイレンズ6の射出面に配置された可変開口絞り7上に多数の2次光源が形成される。可変開口絞り7を通過した露光光ILは、第1リレーレンズ8を経てレチクルブラインド(可変視野絞り)9に入射する。レチクルブラインド9の配置面はレチクルRのパターン面と実質的に共役であり、駆動装置9aを介してレチクルブラインド9の開口形状を設定することで、レチクルR上での照明領域が規定される。また、ウエハWのステッピング時等に不要な露光光がウエハW上に照射されないように、ステージ制御系15が駆動装置9aを介してレチクルブラインド9を開閉できるようにも構成されている。
[0015]
 レチクルブラインド9を通過した露光光ILは、第2リレーレンズ10、露光光ILを反射するダイクロイックミラー11、及びコンデンサレンズ12を介してレチクルRのパターン面のパターン領域を落射照明する。シャッタ3、ミラー4、干渉フィルタ5、フライアイレンズ6、可変開口絞り7、リレーレンズ8,10、レチクルブラインド9、ダイクロイックミラー11、及びコンデンサレンズ12を含んで照明光学系13が構成されている。露光光源30からの光束は、照明光学系13を経て露光光ILとしてレチクルR(マスク)を照明し、レチクルRのパターン領域内のパターンが投影光学系PLを介して、フォトレジストが塗布されたウエハW(感光基板)の一つのショット領域上に投影倍率β(βは例えば1/4,1/5等)で露光される。以下、投影光学系PLの光軸AXに平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内で図1の紙面に平行にX軸を、図1の紙面に垂直にY軸を取って説明する。
[0016]
 このとき、レチクルRは、レチクルベース(不図示)上でX方向、Y方向、及びZ軸周りの回転方向に微動可能なレチクルステージRST上に保持されている。レチクルステージRSTの位置は、これに固定された移動鏡17Rに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計18Rによって高精度に計測され、この計測値がステージ制御系15及び主制御系14に供給されている。その計測値及び主制御系14からの制御情報に基づいて、ステージ制御系15がリニアモータ等を含む駆動系19Rを介してレチクルステージRSTの位置を制御する。
[0017]
 一方、ウエハWは不図示のウエハホルダを介してウエハステージWST上に保持され、ウエハステージWSTはウエハベース(不図示)上にX方向及びY方向に移動自在に載置されている。ウエハステージWSTの位置は、これに固定された移動鏡17Wに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計18Wにより高精度に計測され、この計測値はステージ制御系15及び主制御系14に供給されている。その計測値及び主制御系14からの制御情報に基づいて、ステージ制御系15はリニアモータ等を含む駆動系19Wを介してウエハステージWST(ウエハW)の位置を制御する。
[0018]
 ウエハWの露光時には、ウエハステージWSTによりウエハWの各ショット領域を投影光学系PLの露光フィールド内に移動する動作と、露光光源30からの光束を照明光学系13を介してレチクルRに照射して、レチクルRのパターンを投影光学系PLを介してウエハW上の当該ショット領域に露光する動作とがステップ・アンド・リピート方式で繰り返される。これによって、レチクルRのパターンの像がウエハW上の各ショット領域に転写される。
[0019]
 なお、この露光に際して予めアライメントを行うために、レチクルRの上方には、レチクルRに形成されたアライメントマークの位置を検出するためのレチクルアライメント顕微鏡20が設置され、投影光学系PLの側面には、ウエハW上の各ショット領域に付設されたアライメントマークの位置を検出するためのアライメントセンサ21が設置されている。また、ウエハステージWST上のウエハWの近傍にはアライメントセンサ21等のための複数の基準マークが形成された基準マーク部材22が設けられている。レチクルアライメント顕微鏡20及びアライメントセンサ21の検出信号はアライメント信号処理系16に供給され、アライメント信号処理系16は、例えばそれらの検出信号の画像処理によって被検マークの配列座標を求め、この配列座標の情報を主制御系14に供給する。主制御系14は、その配列座標の情報に基づいてレチクルR及びウエハWのアライメントを行う。
[0020]
 次に、本例の投影露光装置の放電ランプ1を含む露光光源30の基本的な構成につき説明する。
 図2(A)は、図1の露光光源30中の放電ランプ1及びその取り付け機構を示す一部を切り欠いた図であり、この図2(A)において、放電ランプ1は、バルブ部25a及びこれを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状の2つの棒状部25b,25cからなるガラス管25と、一方の固定側の棒状部25bの端部に連結された陰極側の口金部26と、他方の外側に向けて階段状に直径が小さくなる自由端側の棒状部25cの端部に連結された陽極側の口金部28とを備えている。そのバルブ部25a内に発光部を形成するための陽極EL1及び陰極EL2が対向して固定され、陰極EL2及び陽極EL1はそれぞれ口金部26及び28に接続され、口金部26及び28は電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属製である。口金部26、ガラス管25、及び口金部28は、ガラス管25の棒状部25b,25cの中心軸を結び発光部の中心を通る一つの直線上に配置されている。その棒状部25b,25cの中心軸を結ぶ直線に平行な方向が放電ランプ1の長手方向Lである。
[0021]
 口金部26及び28は、基本的に陰極EL2及び陽極EL1に電源32から電力ケーブル33B及び33A(図1参照)を介して電力を供給するための電力受給端子として使用される。その他に、口金部26は、ガラス管25(放電ランプ1)を保持するための被保持部としても使用され、口金部26及び28はともにガラス管25から伝導してくる熱を冷却するための気体を流す機構を備えている。
[0022]
 即ち、陰極EL2に接続された口金部26には、棒状部25bから外側に順に、フランジ部26aと、円柱状の軸部26bと、円柱状の凹部26fと、軸部26bより僅かに小さい外径の円柱状の固定部26hとが形成され、凹部26fと固定部26hとの境界部に長手方向Lにほぼ垂直な面よりなる被押圧面26gが形成されている。
 放電ランプ1を固定する際には、放電ランプ1の軸部26bを2点鎖線で示す取り付け部材31の開口部31bに嵌合させて、フランジ部26aを取り付け部材31の上面31aに載置する。図2(B)に示すように、フランジ部26aには円形の開口27A,27Bが形成されており、これらの開口27A,27Bに図2(A)の上面31aに固定されている円柱状の突部(不図示)を挿通することで、放電ランプ1の回転方向の位置決めが行われる。
[0023]
 また、軸部26bの外面に、長手方向Lに平行な軸の周りに螺旋状に溝部26dが形成されている。溝部26dには、送風装置34から可撓性を持つ送風用配管35B、及び取り付け部材31に形成された送風路31cを介して冷風が供給されている。また、導電性の良好な金属製の取り付け部材31に端子38がボルト39によって固定され、端子38が電力ケーブル33Bによって電源32に接続されている。この構成により、電源32から、電力ケーブル33B、端子38、取り付け部材31、及び口金部26のフランジ部26aを介して放電ランプ1の陰極EL2に電力が供給される。
[0024]
 また、取り付け部材31の下方の3箇所に回転自在に、かつ引っ張りコイルばね37A,37B,37Cによって下方に付勢されるように付勢部材36A,36B,36Cが固定されている。付勢部材36A~36Cの先端部で口金部26の被押圧面26gを下方に付勢することによって、口金部26(ひいては放電ランプ1)が取り付け部材31に安定に保持される。さらに、不図示のレバー機構によって付勢部材36A~36Cを上方に引き上げることによって、放電ランプ1を容易に取り付け部材31から取り外すことができる。
[0025]
 次に、図2(A)において、放電ランプ1の陽極側(本例では自由端側でもある)の口金部28の概略構造は、ほぼ円柱状の軸部28aの表面に長手方向Lに平行な軸の周りに螺旋状に溝部28bを形成したものである。さらに、口金部28を外側から覆うように導電性の良好な金属(例えば銅、しんちゅう、アルミニウム等。以下同様)製のほぼ円筒状のカバー部材50が固定されている。カバー部材50上に導電性の良好な金属製のほぼ円板状の流路折り曲げ部材51が固定され、流路折り曲げ部材51の長手方向Lに直交する方向を向いて平面に加工された側面51a(図3(B)参照)に、口金側コネクタ52が固定されている。口金側コネクタ52の長手方向Lに直交する方向を向いた連結部に図1の電力ケーブル33A及び送風用配管35Aを連結可能である(詳細後述)。
[0026]
 このように放電ランプ1の長手方向Lに直交する方向に向けて、電力ケーブル33A及び送風用配管35Aを連結するための口金側コネクタ52を設けた場合には、図1に示すように、電力ケーブル33A及び送風用配管35Aを、楕円鏡2によって放電ランプ1からの光束が集光される第2焦点P2から離すことができる。従って、電力ケーブル33A及び送風用配管35Aによる放電ランプ1からの光束の遮光量が少ないとともに、その光束によって加熱される部材が少なくなるため、放電ランプ1の温度上昇が抑制される。
[0027]
 図3(B)は、図2(A)の放電ランプ1の陽極側の口金部28付近の構成を示す拡大断面図であり、図3(A)は図3(B)の平面図、図3(C)は図3(B)の要部の側面図である。図3(B)において、口金部28の溝部28bが形成された軸部28aの上端には、リング状の切り欠き部28dを隔てて円板状のマウント部28cが形成され、マウント部28cの中心部から外側に向けて通気用の溝部28eが形成されている。
[0028]
 また、カバー部材50は、マウント部28cの上面に載置される輪帯状の平板部50aと、口金部28の側面を覆う円筒部50cとを有し、円筒部50cの先端部50caは、口金部28からさらにガラス管25の棒状部25c側に伸びている。なお、図3(B)では、軸部28aと円筒部50cとの間には隙間があるように描かれているが、その隙間は実際には極めて小さくしてもよい。
[0029]
 カバー部材50上に固定された流路折り曲げ部材51の底面には、カバー部材50の平板部50aの中央の開口50bに突き出るように円筒状の突部51dが形成され、この突部51dの中央部から流路折り曲げ部材51の中央部に向かい、そこで平坦な側面51aに向かって折れ曲がるように冷風を供給するための送風路51cが形成され、送風路51cの先端部は側面51aに設けられた凹部51bに連通している。また、図3(A)に示すように、流路折り曲げ部材51の上面の4箇所に座ぐり部51eが形成され、座ぐり部51e内のボルト53によって、図3(B)に示すように、流路折り曲げ部材51及びカバー部材50(ボルト53用の開口が設けられている)が口金部28に一体的に固定されている。
[0030]
 また、口金側コネクタ52は、流路折り曲げ部材51の側面51aに固定された固定部54と、固定部54の中央の開口部にねじ部55aによって螺合するように固定された円筒部55とを有し、固定部54及び円筒部55はともに導電性の良好な金属製である。固定部54は側面51aに固定された平板部54aと外側に突き出た円筒部54bとを有し、円筒部54b内の3箇所に凹部54cが形成されている。また、平板部54aの4箇所に図3(C)に示すように座ぐり部54dが形成され、座ぐり部54d内のボルト56によって、固定部54(ひいては口金側コネクタ52)が流路折り曲げ部材51の側面51aに固定されている。
[0031]
 図3(B)において、図1の電力ケーブル33Aを介して口金側コネクタ52の固定部54に供給される電力は、流路折り曲げ部材51、カバー部材50、及び口金部28を介してガラス管25内の陽極に供給される。また、図1の送風用配管35Aを介して口金側コネクタ52の円筒部55に供給される冷風は、流路折り曲げ部材51の凹部51b、送風路51c、カバー部材50の開口50b、溝部28e、及び切り欠き部28dを通して口金部28の溝部28bに供給され、溝部28bを流れた空気は、棒状部25cとカバー部材50の先端部50caとの間から図2(A)のガラス管25のバルブ部25a側に送風される。これによって、口金部28及びガラス管25が効率的に冷却される。
[0032]
 次に、図4は、図1の電力ケーブル33A及び送風用配管35Aを含む本例の連結ケーブル57を示し、この図4において、連結ケーブル57は、ケーブル側第1コネクタ58Aと、ケーブル側第1連結部材62Aと、電力ケーブル33A及び送風用配管35Aと、ケーブル側第2連結部材62Bと、ケーブル側第2コネクタ58Bとを連結して構成されている。ケーブル側第1コネクタ58Aは、円筒状の先端部59Aaを持つ本体部材59Aと、本体部材59A内に止めねじ61Aによって固定された細長い円筒部材60Aとを有している。先端部59Aaの外面の3箇所に突部59Abが設けられ、先端部59Aaの突部59Abを円周方向に挟む位置に可撓性を持たせるためのすり割り部(不図示)が形成されている。円筒部材60Aは、図3(A)の口金側コネクタ52の円筒部55内に差し込める大きさであり、本体部材59Aの先端部59Aaは、図3(A)の口金側コネクタ52の固定部54の円筒部54bの内面に嵌合する大きさである。先端部59Aaを円筒部54b内に差し込んだ状態で、先端部59Aの突部59Abが、図3(B)の円筒部54b内の凹部54cに収納されて、先端部59Aaが円筒部54bに安定に保持される。なお、円筒部材60Aの先端部には円筒部55に容易に連結できるようにテーパ部が形成されているが、例えば加工精度が高い場合にはそのテーパ部は省略してもよい。
[0033]
 図4において、ケーブル側第1連結部材62Aは、ケーブル側第1コネクタ58Aの本体部材59Aのねじ部59Acに螺合されて固定された先端部63Aaを持つ本体部材63Aと、本体部材63A内に止めねじ65Aによって固定された細長い円筒部材64Aとを有し、本体部材63Aの他端側には円筒部63Abが形成され、円筒部63Abからさらに外側に円筒部材64Aが突き出ている。ケーブル側第1コネクタ58Aの本体部材59A及び円筒部材60Aと、ケーブル側第1連結部材62Aの本体部材63A及び円筒部材64Aとは、いずれも導電性の良好な金属製である。
[0034]
 また、本例では、電力ケーブル33Aは、矢印Bの外観で示すように、細長い多数の導線を円筒の網目状に編んだ可撓性を持つ部材であり、この電力ケーブル33A内に、軟性の合成樹脂(例えば軟質ポリ塩化ビニル、低密度ポリエチレン等。以下同様)又は合成ゴム等よりなり、可撓性を持つ細長い円筒状の送風用配管35Aが収納されている。電力ケーブル33Aの両端部は送風用配管35Aよりも長く伸びており、送風用配管35Aは、ケーブル側第1連結部材62Aの円筒部材64Aが収納できる大きさである。そして、円筒部材64Aの先端部が送風用配管35A内に差し込まれ、かつ電力ケーブル33Aの先端部がケーブル側第1連結部材62Aの円筒部63Abを覆っている状態で、送風用配管35Aの先端部及び円筒部63Abを電力ケーブル33Aで締め付けるように、金属製のベルト部66Aが固定されている。
[0035]
 また、ケーブル側第2連結部材62Bは、ケーブル側第1連結部材62Aと対称的に、本体部材63Bに止めねじ65Bによって円筒部材64Bを固定して構成され、ケーブル側第2コネクタ58Bは、ケーブル側第1コネクタ58Aと対称的に、本体部材59Bに止めねじ61Bによって円筒部材60Bを固定して構成されている。本体部材59B,63B及び円筒部材60B,64Bはいずれも導電性の良好な金属製であり、円筒部材64Bの先端部が差し込まれた送風用配管35Aの先端部及び本体部材63Bの円筒部63Bbを電力ケーブル33Aで締め付けるように金属製のベルト部66Bが固定されている。これによって、送風用配管35Aと円筒部材64A,64Bとが連通するように、かつ電力ケーブル33Aと本体部材63A,63Bとが電気的に導通するように、ケーブル側連結部材62A及び62Bと電力ケーブル33A及び送風用配管35Aとが連結されている。
[0036]
 また、ケーブル側第2連結部材62Bの本体部材63Bの先端部63Baがケーブル側第2コネクタ58Bの本体部材59Bのねじ部59Bcに螺合されて固定されている。ケーブル側第2コネクタ58Bの本体部材59Bの円筒状の先端部59Baの外面の3箇所に突部59Bbが形成されている。
 図4の連結ケーブル57において、図1の電源32からケーブル側第2コネクタ58Bの本体部材59Bに供給された電力は、ケーブル側第2連結部材62Bの本体部材63B、電力ケーブル33A、ケーブル側第1連結部材62Aの本体部材63A、及びケーブル側第1コネクタ58Aの本体部材59Aを介して図3(B)の口金側コネクタ52に供給される。また、図1の送風装置34から図4のケーブル側第2コネクタ58Bの円筒部材60B内に供給された冷風は、ケーブル側第2連結部材62Bの円筒部材64B、送風用配管35A、ケーブル側第1連結部材62Aの円筒部材64A、及びケーブル側第1コネクタ58Aの円筒部材60Aを介して図3(B)の口金側コネクタ52の円筒部55内に送風される。
[0037]
 なお、連結ケーブル57において、円筒部部材60A,64A,64B,60Bは省略することが可能である。さらに、ケーブル側連結部材62A及び62Bを省略して、ケーブル側コネクタ58A及び58Bに電力ケーブル33A及び送風用配管35Aを連結する構成を採用することも可能である。
 次に、図5は、図3(B)の放電ランプ1の口金側コネクタ52と図1の電源32及び送風装置34とを図4の連結ケーブル57で連結(接続)した状態を示し、この図5において、導電性の良好な金属製の取り付け部材40に、図3(B)の口金側コネクタ52と同じ構造の、導電性の良好な金属製の固定部42と円筒部43とからなる電源側コネクタ41の平板部42aがボルト(不図示)によって固定されている。固定部42の円筒部42bは、その内面に図4の連結ケーブル57のケーブル側第2コネクタ58Bの先端部59Baが嵌合できる大きさであり、円筒部43は、その内側にそのケーブル側第2コネクタ58Bの円筒部材60Bが差し込める大きさである。また、図4のケーブル側第2コネクタ58Bの先端部58Baの突部59Bbに対応するように、図5の円筒部42cの内面に凹部42cが形成されている。なお、円筒部材60Bの先端部には円筒部43に容易に連結できるようにテーパ部が形成されているが、例えば加工精度が高い場合にはそのテーパ部は省略してもよい。
[0038]
 また、取り付け部材40にボルト44で固定された端子が電力ケーブル46で電源32に連結されており、電力ケーブル46と電源側コネクタ41の固定部42とは電気的に導通している。さらに、電源側コネクタ41の円筒部43は、取り付け部材40に設けられた凹部40a及び配管路に沿って配置された配管45を介して送風装置34に連結され、送風装置34から電源側コネクタ41の円筒部43に冷風を供給できるように構成されている。
[0039]
 図5において、放電ランプ1の口金側コネクタ52に連結ケーブル57を接続するためには、口金側コネクタ52の円筒部54b内に連結ケーブル57のケーブル側第1コネクタ58Aの先端部59Aaを差し込み、先端部59Aaの突部59Abを円筒部54b内の凹部54cに嵌合させればよい。なお、先端部59Aaと円筒部54bとの連結方法は、突部59Abと凹部54cとを合わせる方法以外の、通常のコネクタ同士の連結で使用されている任意の方法を使用可能である。これは連結ケーブル57と電源側コネクタ41との連結についても同様である。すなわち、電源側コネクタ41に連結ケーブル57を接続するためには、電源側コネクタ41の円筒部42b内に連結ケーブル57のケーブル側第2コネクタ58Bの先端部を差し込み、円筒部42b内の凹部42cにその先端部の突部59Bbを嵌合させればよい。このように連結ケーブル57を用いることによって、極めて容易に、かつ迅速に電源32及び送風装置34と放電ランプ1とを接続できる。
[0040]
 この場合、放電ランプ1の口金側コネクタ52の円筒部54bと連結ケーブル57のケーブル側第1コネクタ58Aの先端部59Aaとが連結される。このため、口金側コネクタ52の円筒部55にケーブル側第1コネクタ58Aの円筒部材60Aが差し込まれて、両者は連通する。さらに、電源側コネクタ41の円筒部42bと連結ケーブル57のケーブル側第2コネクタ58Bの先端部とが連結される。このため、電源側コネクタ41の円筒部43にケーブル側第2コネクタ58Bの円筒部材60Bが差し込まれて、両者は連通する。
[0041]
 図5において、電源32から電力ケーブル46を介して電源側コネクタ41の固定部42に供給される電力は、連結ケーブル57のケーブル側第2コネクタ58B(本体部材59B)、ケーブル側第2連結部材62B(本体部材63B)、電力ケーブル33A、ケーブル側第1連結部材62A(本体部材63A)、及びケーブル側第1コネクタ58A(本体部材59A)を介して口金側コネクタ52の固定部54及び円筒部55に供給される。そして、口金側コネクタ52の固定部54に供給された電力は、流路折り曲げ部材51、カバー部材50、及び口金部28を介してガラス管25内の陽極に供給される。
[0042]
 一方、図5の送風装置34から配管45を介して電源側コネクタ41の円筒部43に供給された冷風は、矢印A1,A2,A3,A4で示すように連結ケーブル57のケーブル側第2コネクタ58Bの円筒部材60B、ケーブル側第2連結部材62Bの円筒部材64B、送風用配管35A、ケーブル側第1連結部材62Aの円筒部材64A、及びケーブル側第1コネクタ58Aの円筒部材60Aを介して口金側コネクタ52の円筒部55内に送風される。そして、円筒部55に供給された冷風は、矢印A5,A6,A7で示すように、流路折り曲げ部材51の送風路51c、カバー部材50の開口50b、溝部28e、切り欠き部28d、口金部28の溝部28b、及び棒状部25cとカバー部材50の先端部50caとの間の空間を通ってガラス管25のバルブ部25a(図2(A)参照)側に送風される。これによって、口金部28及びガラス管25が効率的に冷却される。
[0043]
 また、図5において、例えば放電ランプ1のメンテナンスを行うために、放電ランプ1から連結ケーブル57を分離する場合には、口金側コネクタ52の円筒部54bから連結ケーブル57のケーブル側第1コネクタ58Aの先端部59Aaを引く抜けばよい。また、電源32及び送風装置34から連結ケーブル57を分離するためには、電源側コネクタ41の円筒部42bから連結ケーブル57のケーブル側第2コネクタ58Bの先端部を引く抜けばよい。このように連結ケーブル57を用いることによって、極めて容易に、かつ迅速に電源32及び送風装置34と放電ランプ1とを分離できる。
[0044]
 本実施形態の露光光源30及び露光装置の作用効果は以下の通りである。
 (1)図3(B)の放電ランプ1は、ガラス管25に連結された口金部28と、この口金部28上に設けられ、導電性材料で形成される流路折り曲げ部材51と、この流路折り曲げ部材51と導通する固定部54を有する口金側コネクタ52と、流路折り曲げ部材51内の送風路51cと口金側コネクタ52の円筒部55内の送風路とを含み、口金部28に冷風を流すための送風路とを備えている。
[0045]
 従って、放電用の電力は、口金側コネクタ52の固定部54、流路折り曲げ部材51、及び口金部28を介して放電用の電極に供給され、冷風は、流路折り曲げ部材51及び口金側コネクタ52内の送風路を介して口金部28に供給される。これによって、口金部28が効率的に冷却される。
 (2)また、口金側コネクタ52の固定部54の先端部は円筒状であり、その内部に送風路を形成する円筒部55が設置されている。従って、その固定部54の先端部に図4の連結ケーブル57のケーブル側第1コネクタ58Aを容易に連結できるとともに、この連結とともにケーブル側第1コネクタ58A内の円筒部材60A内の送風路を円筒部55内の送風路に連通できる。
[0046]
 (3)また、口金部28はガラス管25に対して長手方向L(図2(A)参照)に連結され、口金側コネクタ52は、流路折り曲げ部材51に対して固定部54の先端部がその長手方向Lと直交する方向(交差する方向でもよい)を向くように取り付けられる。従って、その口金側コネクタ52に対してその長手方向Lと直交する方向に図4の連結ケーブル57を連結できるため、連結ケーブル57を図1の楕円鏡2の第2焦点P2から離して配置できる。従って、連結ケーブル57による放電ランプ1からの光の遮光量を少なくできる。
[0047]
 (4)また、図3(B)の流路折り曲げ部材51は、長手方向Lと直交する方向(交差する方向でよい)から長手方向Lに向かう送風路51cを有している。従って、長手方向Lと直交する方向から供給された冷風を折り曲げて口金部28の方向に供給できる。
 (5)また、図3(B)の流路折り曲げ部材51の底面に、口金部28の側面を覆う円筒部50cを持つカバー部材50が固定されており、流路折り曲げ部材51内の送風路51cは、カバー部材50と口金部28との間の送風路に連通している。従って、口金部28を効率的に冷却できる。
[0048]
 (6)また、本実施形態では、カバー部材50と口金部28との間を介してガラス管25側に冷風を供給している。このように口金部28を冷却した空気をガラス管25側に供給することによって、ガラス管25をも冷却できる。これに関して、カバー部材50の円筒部50cの先端部50caを口金部28よりも延ばすことによって、ガラス管25側に対する冷却効果を高めることが可能である。ただし、例えば送風量が多いような場合には、先端部50caを必ずしも口金部28よりも延ばす必要はない。
[0049]
 なお、冷風(又は他の気体)の代わりに、冷却された液体(純水、フッ素系不活性液体等)を使用してもよい。この場合には、口金部28の表面を流れた液体を回収して再び冷却して口金側コネクタ52側に供給するための回収路を設けてもよい。
 (7)また、カバー部材50と口金部28との間の、口金部28の軸部28aの表面には送風路としての溝部28bが螺旋状に形成されている。このように口金部28の表面に螺旋状に送風することによって、口金部28の冷却効率を向上できる。
[0050]
 なお、このように口金部28の軸部28a側に溝部28bを設ける代わりに、カバー部材50の円筒部50cの軸部28aに対向する領域に、螺旋状の溝部を形成してもよい。この構成によっても、口金部28を冷却効率を向上できる。
 (8)また、図3(B)の口金部28の上端にマウント部28cが設けられ、螺旋状の溝部28bは、マウント部28cの側面に設けられた溝部28eに連通している。従って、そのマウント部28c上にカバー部材50及び流路折り曲げ部材51等を設置できるとともに、流路折り曲げ部材51の送風路51cからの冷風をカバー部材50の開口50b及びその溝部28eを介して口金部28の側面の溝部28bに導くことができる。
[0051]
 (9)また、図4の連結ケーブル57は、冷風及び電力を用いる放電ランプ1と図5の電源32及び送風装置34とを連結するためのケーブルであって、可撓性材料より形成されて、冷風の送風路を有する送風用配管35Aと、導電性を持つ可撓性材料より形成されて、送風用配管35Aを覆うように設けられた電力ケーブル33Aとを備えている。この場合、電源32からの電力は、電力ケーブル33Aを介して放電ランプ1側に供給され、送風装置34からの冷風は、送風用配管35Aを介して放電ランプ1側に供給される。従って、実質的に一つのケーブルを用いて電力と冷風とを容易に放電ランプ1に供給できる。
[0052]
 (10)また、電力ケーブル33Aは、多数の導線を網目状に編んだ部材であるため、容易に可撓性と導電性とを両立できる。
 (11)また、連結ケーブル57は、電力ケーブル33A及び送風用配管35Aの一端に連結されるケーブル側第1コネクタ58Aを備え、このケーブル側第1コネクタ58Aを介して放電ランプ1の口金側コネクタ52と接続されるため、放電ランプ1との連結及び分離を容易に、かつ迅速に行うことができる。
[0053]
 (12)また、連結ケーブル57は、電力ケーブル33A及び送風用配管35Aの他端に連結されるケーブル側第2コネクタ58Bを備え、このケーブル側第2コネクタ58Bを介して電源32及び送風装置34側の電源側コネクタ41と接続される。従って、電源32及び送風装置34との連結及び分離を容易に、かつ迅速に行うことができる。
 (13)また、本実施形態の露光光源30は、図5の電源32と送風装置34とに接続される装置であって、図5の放電ランプ1と、連結ケーブル57とを備え、電源32及び送風装置34と放電ランプ1とを連結ケーブル57によって接続している。従って、電源32からの電力は、連結ケーブル57の電力ケーブル33A、放電ランプ1の口金側コネクタ52の固定部54、流路折り曲げ部材51、及び口金部28を介して放電用の電極に供給される。さらに、送風装置34からの冷風は、連結ケーブル57の電力ケーブル33A内の送風用配管35Aを通過した後、放電ランプ1の口金側コネクタ52及び流路折り曲げ部材51内の送風路を通して口金部28に供給される。従って、口金部28に対する冷却作用が大きい。また、本例の口金部28は、放電ランプ1の自由端側にあるが、連結ケーブル57による放電ランプ1から発生する光の遮光量が少ないため、光の利用効率が高いと共に、放電ランプ1の温度上昇も少ない。
[0054]
 (14)また、本例の露光装置は、放電ランプ1から発生した露光光によってウエハW(感光基板)にレチクルRのパターンを露光する露光装置であって、露光光源として本例の露光光源30を用いている。従って、放電ランプ1からの光の遮光量が少なくなり、露光光の照度を高めて露光工程のスループットを高めることができる。さらに、放電ランプ1を効率的に冷却でき、熱変形が低減するため、結像特性等を向上できる。
[0055]
 なお、上記の実施形態では、図3(B)に示すように、放電ランプ1の流路折り曲げ部材51の側面51aに直接、口金側コネクタ52を固定している。しかしながら、この代わりに、図6に示すように、流路折り曲げ部材51の側面51aに、延長ケーブル57Aを介して口金側コネクタ52Aを連結してもよい。
 図6は、この変形例の放電ランプ1の陽極側の口金部28を含む部分の構成を示し、この図6において、流路折り曲げ部材51の側面51aに、中央に送風用の開口が形成された連結部材70がボルト71によって固定されている。また、延長ケーブル57Aは、図4の連結ケーブル57内の電力ケーブル33A及び送風用配管35Aとそれぞれ同じ構成(ただし、この変形例では長さが短い点が異なっている)の電力ケーブル33A1及び送風用配管35A1から構成され、網目状に編み込まれた電力ケーブル33A1内に送風用配管35A1が収納されている。
[0056]
 また、固定部54A及び円筒部55Aを備える口金側コネクタ52Aが、図3(B)の口金側コネクタ52と異なる点は、口金側コネクタ52Aでは、固定部54Aの底面に円筒状の連結部54Adが形成され、かつ円筒部55Aは、固定部54Aの平板部に螺合等で固定されて、突き出ていない点である。これ以外の構成は口金側コネクタ52と同様であり、固定部54Aの円筒部54Ab内には、図4の連結ケーブル57の突部59Abに対応する凹部54Acが形成されている。
[0057]
 また、電力ケーブル33A1が連結部材70の円筒部70aを覆った状態で、円筒部70aの先端部を覆うように送風用配管35Aの一端が配置され、先端部70aを電力ケーブル33A1で締め付けるように、金属製のベルト部66Cが固定されている。同様に、電力ケーブル33A1が口金側コネクタ52Aの固定部54Aの連結部54Adを覆った状態で、連結部54Adの先端部を覆うように送風用配管35A1の他端が配置され、連結部54Aaを電力ケーブル33A1で締め付けるように、金属製のベルト部66Dが固定されている。
[0058]
 この結果、口金側コネクタ52Aの固定部54Aは、延長ケーブル57Aの電力ケーブル33A1及び連結部材70を介して流路折り曲げ部材51に電気的に導通し、口金側コネクタ52Aの円筒部55Aは、延長ケーブル57Aの送風用配管35A1及び連結部材70を介して流路折り曲げ部材51の送風路51cに連通している。従って、図6の口金側コネクタ52Aに、図4の連結ケーブル57のケーブル側第1コネクタ58Aを連結し、ケーブル側第2コネクタ58Bを図5の電源側コネクタ41に連結することによって、図6の放電ランプ1に電力及び冷風を供給できる。
[0059]
 この変形例の作用効果は以下の通りである。
 (1)口金側コネクタ52Aと流路折り曲げ部材51との間に配置され、放電ランプ1の電極に対する電力及び冷風を供給可能な延長ケーブル57Aを備えているため、口金側コネクタ52Aに図5の連結ケーブル57を着脱する際に、放電ランプ1に応力等が作用しない。従って、連結ケーブル57の着脱時に放電ランプ1に損傷を与える恐れがない利点がある。
[0060]
 (2)また、延長ケーブル57Aは、可撓性材料で形成され、かつ内部が送風路とされた送風用配管35A1と、導電性を持つ可撓性材料で形成され、かつ送風用配管35A1を覆う電力ケーブル33A1とを有する。従って、実質的に一つのケーブルで電力と冷風とを供給できるため、配管等が複雑化することがない。
 (3)また、電力ケーブル33A1は、多数の導線を網目状に編んだ部材であるため、容易に可撓性と導電性とを両立できる。
[0061]
 (4)また、電力ケーブル33A1は、一端が連結部材70を介して流路折り曲げ部材51に固定され、他端が口金側コネクタ52Aの固定部54Aに固定されているため、簡単な構成で口金側コネクタ52Aと流路折り曲げ部材51とを導通できる。
 また、上記の実施形態では、図3(B)に示すように、口金部28とカバー部材50との間に螺旋状の溝部28bが形成されている。しかしながら、図7に示すように、円筒状の軸部28aに溝部等が形成されていない口金部28Aを用いることも可能である。図7の構成では、流路折り曲げ部材51の送風路51c内の空気は、口金部28Aのマウント部28cの一部に設けられた溝部28eを介して軸部28aとカバー部材50の円筒部50cとの間に空間に供給されて、そのまま軸部28aの表面を棒状部25c側に流れる。
[0062]
 また、上記の実施の形態の投影露光装置(露光装置)は、露光光源、複数のレンズ等から構成される照明光学系、及び投影光学系を露光装置本体に組み込み光学調整をして、多数の機械部品からなるレチクルステージやウエハステージを露光装置本体に取り付けて配線や配管を接続し、更に総合調整(電気調整、動作確認等)をすることにより製造することができる。なお、その投影露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
[0063]
 また、半導体デバイス等のマイクロデバイスは、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ、デバイスの基材である基板を製造するステップ、前述した実施形態の投影露光装置によりレチクルのパターンを基板(ウエハ等)に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱(キュア)及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)、並びに検査ステップ等を経て製造される。
[0064]
 なお、本発明の光源装置は、上述のステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパー等)の他に、ステップ・アンド・スキャン方式の走査露光型の投影露光装置(スキャニング・ステッパー等)の露光光源にも適用できる。また、本発明の光源装置は、国際公開第99/49504号パンフレット、国際公開第2004/019128号パンフレット等に開示される液浸型露光装置の露光光源にも適用することができる。また、本発明の光源装置は、投影光学系を使用しないプロキシミティ方式若しくはコンタクト方式の露光装置の光源装置、又は露光装置以外の機器の光源にも適用することができる。
[0065]
 なお、上述の実施形態においては、転写用のパターンが形成されたレチクル(マスク)を用いたが、このレチクルに代えて、例えば米国特許第6,778,257号明細書に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターンまたは反射パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。
 また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子やプラズマディスプレイなどを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスパターンをセラミックスウエハ上に転写する露光装置、並びに撮像素子(CCDなど)、有機EL、マイクロマシーン、MEMS(Microelectromechanical Systems)、及びDNAチップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置及びEUV露光装置などで使用されるマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。
[0066]
 また、上記の実施形態の図4の連結ケーブル57は、露光装置以外の電力及び冷風を使用する機器と、図5の電力32及び送風装置34とを連結する場合にも使用できる。
 なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。また、明細書、請求の範囲、図面、及び要約を含む2007年4月12日付け提出の米国仮出願第60/907,656号の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。

請求の範囲

[1]
 ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、
 前記ガラス部材に連結された口金部材と、
 前記口金部材に設けられ、導電性材料で形成される中継部材と、
 前記中継部材と電気的に接続される導電性部材を有する連結部材と、
 前記中継部材及び前記連結部材に設けられ、前記口金部材に冷却用媒体を供給するための流路とを備えることを特徴とする放電ランプ。
[2]
 前記導電性部材は円筒状であり、
 前記導電性部材の内部に、前記流路の一部が形成されたことを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。
[3]
 前記口金部材は、前記ガラス部材の第1方向側に連結され、
 前記連結部材は、前記中継部材に対して、前記円筒状の導電性部材が前記第1方向と交差する方向に配置されるように取り付けられることを特徴とする請求項2に記載の放電ランプ。
[4]
 前記中継部材は、前記第1方向と交差する方向から前記第1方向に向かう前記冷却用媒体の流路を有することを特徴とする請求項3に記載の放電ランプ。
[5]
 前記連結部材と前記中継部材との間に配置され、前記電極に対する電力及び前記冷却用媒体を供給可能なケーブルを備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の放電ランプ。
[6]
 前記ケーブルは、可撓性材料で形成され、かつ前記流路の一部を有する管状部材と、導電性を持つ可撓性材料で形成され、かつ前記管状部材を覆う被覆部材とを有することを特徴とする請求項5に記載の放電ランプ。
[7]
 前記被覆部材は、多数の導線を網目状に編んだ部材であることを特徴とする請求項6に記載の放電ランプ。
[8]
 前記被覆部材は、一端が前記中継部材に固定されるとともに、他端が前記導電性部材に固定されることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の放電ランプ。
[9]
 前記中継部材は、前記口金部材の少なくとも一部を覆う円筒部を有し、
 前記流路は、前記円筒部と前記口金部材との間に連通していることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の放電ランプ。
[10]
 前記冷却用媒体は冷却された気体であり、
 前記円筒部と前記口金部材との間を介して前記ガラス部材側に前記冷却された気体を供給することを特徴とする請求項9に記載の放電ランプ。
[11]
 前記中継部材が有する前記円筒部と、前記口金部材との間には、前記流路の少なくとも一部が螺旋状に形成されることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の放電ランプ。
[12]
 前記口金部材の表面には、前記螺旋状の溝部が形成されていることを特徴とする請求項11に記載の放電ランプ。
[13]
 前記口金部材の先端部に突部が設けられ、
 前記螺旋状の溝部は、前記突部の側面に設けられた切り欠き部に連通していることを特徴とする請求項12に記載の放電ランプ。
[14]
 冷却用媒体及び電力を用いる装置と前記冷却用媒体の供給源及び電源とを連結するための接続用ケーブルであって、
 可撓性材料より形成されて、前記冷却用媒体の流路を有する管状部材と、
 導電性を持つ可撓性材料より形成されて、前記管状部材を覆うように設けられた被覆部材とを備えたことを特徴とする接続用ケーブル。
[15]
 前記被覆部材は、多数の導線を網目状に編んだ部材であることを特徴とする請求項14に記載の接続用ケーブル。
[16]
 前記管状部材の一端に連結されるとともに、前記被覆部材の一端に連結される第1の端子部材をさらに備え、
 前記第1の端子部材を介して前記冷却用媒体及び電力を用いる装置と接続されることを特徴とする請求項14又は請求項15に記載の接続用ケーブル。
[17]
 前記管状部材の他端に連結されるとともに、前記被覆部材の他端に連結される第2の端子部材をさらに備え、
 前記第2の端子部材を介して前記冷却用媒体の供給源及び前記電源と接続されることを特徴とする請求項16に記載の接続用ケーブル。
[18]
 電源と冷却用媒体の供給源とに接続される光源装置であって、
 請求項1から請求項13のいずれか一項に記載の放電ランプと、
 前記電源及び前記供給源と、前記放電ランプとを接続する請求項14から請求項17のいずれか一項に記載の接続用ケーブルとを有することを特徴とする光源装置。
[19]
 光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、
 前記光源装置として請求項18に記載の光源装置を用いることを特徴とする露光装置。

図面

[ 図 1]

[ 図 2]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]

[ 図 6]

[ 図 7]