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1. (WO2008129932) 放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/129932 国際出願番号: PCT/JP2008/056719
国際公開日: 30.10.2008 国際出願日: 03.04.2008
IPC:
F21V 29/00 (2006.01) ,H01J 5/50 (2006.01) ,H01J 61/52 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01) ,F21Y 101/00 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21
照明
V
他に分類されない,照明装置またはそのシステムの機能的特徴あるいは細部;照明装置とその他の物品との構造的な組み合わせ
29
冷却または加熱手段
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
5
電子管または放電ランプの2以上の基本的な型に共通なうつわまたは導入線に関連する細部
50
電気的接続を行うための管またはランプの部分を形成する手段
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
61
ガス放電または蒸気放電ランプ
02
細部
52
冷却装置;加熱装置;放電空間のガスまたは蒸気を循環させる手段
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21
照明
Y
光源の形状に関連して,サブクラスF21L,F21S,およびF21Vに関連する光源の形状についてのインデキシング系列
101
点状光源
出願人:
株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 〒1008331 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 Tokyo 2-3 Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1008331, JP (AllExceptUS)
菊池 孝幸 KIKUCHI, Takayuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
北野 博 KITANO, Hiroshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
菊池 孝幸 KIKUCHI, Takayuki; JP
北野 博 KITANO, Hiroshi; JP
代理人:
大森 聡 OMORI, Satoshi; 〒2140014 神奈川県川崎市多摩区登戸2075番2-501 大森特許事務所 Kanagawa Omori Patent Office 2075-2-501, Noborito, Tama-ku Kawasaki-shi Kanagawa 2140014, JP
優先権情報:
60/907,65612.04.2007US
発明の名称: (EN) DISCHARGE LAMP, CABLE FOR CONNECTION, LIGHT SOURCE DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE
(FR) LAMPE À DÉCHARGE, CÂBLE DE BRANCHEMENT, DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) 放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置
要約:
(EN) A light source device having a large cooling action on the ferrule member of a discharge lamp. A connector (41) on the sides of the power supply (32) and the air blower (34) and the ferrule side connector (52) of a discharge lamp (1) are connected to each other through a connection cable (57) having a power cable (33A) in which an air blow pipe (35A) is contained. An electric power is supplied from the power supply (32) to a ferrule part (28) through the power cable (33A) of the connection cable (57), the ferrule side connector (52) and a flow passage-bending member (51). The cool air from the air blower (34)is supplied to the groove part (28b) of the ferrule part (28) through the air blow pipe (35A) of the connection cable (57), the ferrule side connector (52) and an air blow passage in the flow passage-bending member (51).
(FR) Dispositif de source de lumière exerçant une action de refroidissement importante sur la capsule de contact d'une lampe à décharge. Un connecteur (41) sur les côtés de l'alimentation électrique (32) et de la souffleuse d'air (34) et le connecteur (52) côté capsule de contact d'une lampe à décharge (1) sont reliés l'un à l'autre par l'intermédiaire d'un câble de branchement (57) possédant un câble électrique (33A) contenant un tuyau souffleur d'air (35A). La capsule de contact (28) est alimentée en courant électrique (32) depuis l'alimentation électrique (32) par l'intermédiaire du câble électrique (33A) du câble de branchement (57), du connecteur (52) et d'un élément (51) incurvant le passage d'écoulement. La partie gorge (28b) de la capsule de contact (28) est alimentée en air frais depuis la souffleuse d'air (34) par l'intermédiaire du tuyau souffleur d'air (35A) du câble de branchement (57), du connecteur (52) côté capsule de contact et d'un passage d'air pratiqué dans l'élément (51) incurvant le passage d'écoulement.
(JA)  放電ランプの口金部材に対する冷却作用が大きい光源装置である。電源(32)及び送風装置(34)側のコネクタ(41)と放電ランプ(1)の口金側コネクタ(52)とを、電力ケーブル(33A)内に送風用配管(35A)が収納された連結ケーブル(57)によって連結する。電源(32)からの電力を連結ケーブル(57)の電力ケーブル(33A)、口金側コネクタ(52)、及び流路折り曲げ部材(51)を介して口金部(28)に供給し、送風装置(34)からの冷風を連結ケーブル(57)の送風用配管(35A)と、口金側コネクタ(52)及び流路折り曲げ部材(51)内の送風路とを介して口金部(28)の溝部(28b)に供給する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
SG156214KR1020100014217EP2143995JP2008262911CN101548132CN102446669
CN102522316JP2013258152CN103489746KR1020140141695KR1020150056865EP2985526
KR1020160090912IN3700/KOLNP/2009KR1020180033609