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1. (WO2008129931) 放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/129931 国際出願番号: PCT/JP2008/056718
国際公開日: 30.10.2008 国際出願日: 03.04.2008
IPC:
F21V 29/00 (2006.01) ,H01J 5/50 (2006.01) ,H01J 61/52 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01) ,F21Y 101/00 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21
照明
V
他に分類されない,照明装置またはそのシステムの機能的特徴あるいは細部;照明装置とその他の物品との構造的な組み合わせ
29
冷却または加熱手段
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
5
電子管または放電ランプの2以上の基本的な型に共通なうつわまたは導入線に関連する細部
50
電気的接続を行うための管またはランプの部分を形成する手段
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
61
ガス放電または蒸気放電ランプ
02
細部
52
冷却装置;加熱装置;放電空間のガスまたは蒸気を循環させる手段
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
21
照明
Y
光源の形状に関連して,サブクラスF21L,F21S,およびF21Vに関連する光源の形状についてのインデキシング系列
101
点状光源
出願人:
株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 〒1008331 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 Tokyo 2-3 Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1008331, JP (AllExceptUS)
菊池 孝幸 KIKUCHI, Takayuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
菊池 孝幸 KIKUCHI, Takayuki; JP
代理人:
大森 聡 OMORI, Satoshi; 〒2140014 神奈川県川崎市多摩区登戸2075番2-501 大森特許事務所 Kanagawa Omori Patent Office 2075-2-501, Noborito, Tama-ku Kawasaki-shi, Kanagawa 2140014, JP
優先権情報:
60/907,65412.04.2007US
発明の名称: (EN) DISCHARGE LAMP, CABLE FOR CONNECTION, LIGHT SOURCE DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE
(FR) LAMPE À DÉCHARGE, CÂBLE DE BRANCHEMENT, DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) 放電ランプ、接続用ケーブル、光源装置、及び露光装置
要約:
(EN) A light source device having a large cooling action on the ferrule member of a discharge lamp. The light source device comprises the discharge lamp having a glass tube (25) in which an electrode for discharging is contained and a ferrule part (28) connected to the glass tube (25), and a connection cable (72). The ring-like member (74A) of the connection cable (72) is connected to the ferrule part (28) of the discharge lamp. A cool air blow passage (74Ac) is formed in the ring member (74A). An electric power is supplied from a power supply (32) to the ferrule part (28) through the power cable (33D) of the connection cable (72) and the ring-like member (74A). Cool air is supplied from an air blower (34) to the ferrule part (28) through the air blow pipe (35D) of the connection cable (72) and the ring-like member (74A).
(FR) Dispositif de source de lumière exerçant une action de refroidissement importante sur la capsule de contact d'une lampe à décharge. Le dispositif de source de lumière comprend la lampe à décharge possédant un tube de verre (25) contenant une électrode de décharge, et une capsule de contact (28) reliée au tube de verre (25), ainsi qu'un câble de branchement (72). L'élément annulaire (74A) du câble de branchement (72) est relié à la capsule de contact (28) de la lampe à décharge. Un passage (74Ac) soufflant de l'air frais est situé dans l'élément annulaire (74A). La capsule de contact (28) est alimentée en courant électrique depuis l'alimentation électrique (32) par l'intermédiaire du câble électrique (33D) du câble de branchement (72) et de l'élément annulaire (74A). L'air frais provenant d'une souffleuse d'air (34) alimente la capsule de contact (28) par l'intermédiaire d'un tuyau souffleur d'air (35D) du câble de branchement (72) et de l'élément annulaire (74A).
(JA)  放電ランプの口金部材に対する冷却作用が大きい光源装置である。放電用の電極を収納したガラス管(25)と、ガラス管(25)に連結された口金部(28)とを有する放電ランプと、連結ケーブル(72)とを備え、連結ケーブル(72)のリング状部材(74A)が放電ランプの口金部(28)に取り付けられるとともに、リング状部材(74A)に冷風用の送風路(74Ac)が形成され、連結ケーブル(72)の電力ケーブル(33D)及びリング状部材(74A)を介して電源(32)から口金部(28)に電力を供給し、連結ケーブル(72)の送風用配管(35D)及びリング状部材(74A)を介して送風装置(34)から口金部(28)に冷風を供給する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020100014216JP2008262910JP2012253041CN101548133KR1020140141694KR1020160025634
KR1020170021913KR1020180086282