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1. (WO2008129603) 基板搬送システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/129603 国際出願番号: PCT/JP2007/057681
国際公開日: 30.10.2008 国際出願日: 05.04.2007
IPC:
B65G 49/06 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05
もろい,または損傷性材料または物品用のもの
06
もろい薄板状材料,例.ガラス板,用のもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
平田機工株式会社 HIRATA CORPORATION [JP/JP]; 〒1420041 東京都品川区戸越3丁目9番20号 Tokyo 9-20, Togoshi 3-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1420041, JP (AllExceptUS)
秋月直 AKIZUKI, Sunao [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
秋月直 AKIZUKI, Sunao; JP
代理人:
大塚 康徳 OHTSUKA, Yasunori; 〒1020094 東京都千代田区紀尾井町3番6号 秀和紀尾井町パークビル7F Tokyo 7th FL., SHUWA KIOICHO PARK BLDG. 3-6, KIOICHO, CHIYODA-KU, Tokyo 1020094, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE CONVEYANCE SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送システム
要約:
(EN) In a substrate conveyance system (100) having guide rails (R) extending along a fixed path and a moving unit (10) lying for reciprocating movement along the guide rails (R) to transfer substrates from a loading site (210) to an unloading site (220) all of which are arranged along the guide rails (R) as with other multiple sites, platforms (20) are each assigned every loading station (211, 212, 213) to carry thereon the substrates delivered from the loading site (210) and an elevator unit (30) is mounted on the moving unit (10) to move vertically the substrates carried on the platforms (20). The platforms (20) each have a carrier unit (21) to carry thereon the substrates delivered out of the loading site (210), and support members (22) to keep the associated carrier unit (21) at a level higher than moving unit (10) just above the guide rails (R). The carrier unit (21) further provides a space (S) in which the elevator unit (30) is permitted to pass through there at the time the moving unit (10) moves past as well as the elevator unit (30) makes vertical displacement.
(FR) Dans un système de transport de substrat (100) possédant des rails de guidage (R) s'étendant le long d'un trajet fixe et une unité mobile (10) placée pour un mouvement de va-et-vient le long des rails de guidage (R), lequel permet de transférer des substrats d'un site de chargement (210) à un site de déchargement (220), la totalité desquels étant disposés le long des rails de guidage (R), des plates-formes (20) sont attribuées chacune à chaque poste de chargement (211, 212, 213) pour porter les substrats amenés à partir du site de chargement (210) et une unité élévatrice (30) est montée sur l'unité mobile (10) pour déplacer verticalement les substrats portés sur les plates-formes (20). Les plates-formes (20) possèdent chacune une unité de support (21) pour porter les substrats amenés à partir du site de chargement (210), et des éléments de support (22) pour conserver l'unité de support associée (21) à un niveau plus élevé que l'unité mobile (10) juste au-dessus des rails de guidage (R). L'unité de support (21) présente en outre un espace (S) dans lequel l'unité élévatrice (30) peut passer au moment où l'unité mobile (10) se déplace ainsi qu'au moment où l'unité élévatrice (30) réalise un déplacement vertical.
(JA)  予め定めた軌道(R)上を往復移動する移動ユニット(10)を備え、軌道(R)に沿って配置された複数の装置のうち、基板の搬出元となる装置(210)から搬出先となる装置(220)へ基板を搬送する基板搬送システム(100)において、基板の搬出元となる各々の装置(211、212、213)毎に配置され、基板の搬出元となる装置(210)から搬出される基板が載置される載置台20と、移動ユニット(10)に設けられ、載置台(20)に載置された基板を昇降する昇降ユニット(30)と、を備え、載置台(20)は、基板の搬出元となる装置(210)から搬出される基板が載置される載置ユニット21と、載置ユニット(21)を、軌道(R)上であって移動ユニット(10)よりも上方において支持する支持部材(22)と、を備え、載置ユニット(21)は、移動ユニット10の移動及び昇降ユニット(30)の昇降の際、昇降ユニット(30)が通過する通過スペース(S)を有することを特徴とする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN101652302