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1. (WO2008126601) プローブカード
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/126601 国際出願番号: PCT/JP2008/054498
国際公開日: 23.10.2008 国際出願日: 12.03.2008
IPC:
G01R 1/073 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
073
複合探針
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
出願人:
日本発條株式会社 NHK SPRING CO., LTD. [JP/JP]; 〒2360004 神奈川県横浜市金沢区福浦3丁目10番地 Kanagawa 3-10, Fukuura, Kanazawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2360004, JP (AllExceptUS)
山田 佳男 YAMADA, Yoshio [JP/JP]; JP (UsOnly)
中山 浩志 NAKAYAMA, Hiroshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
長屋 光浩 NAGAYA, Mitsuhiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
井沼 毅 INUMA, Tsuyoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
赤尾 崇 AKAO, Takashi [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
山田 佳男 YAMADA, Yoshio; JP
中山 浩志 NAKAYAMA, Hiroshi; JP
長屋 光浩 NAGAYA, Mitsuhiro; JP
井沼 毅 INUMA, Tsuyoshi; JP
赤尾 崇 AKAO, Takashi; JP
代理人:
酒井 宏明 SAKAI, Hiroaki; 〒1006020 東京都千代田区霞が関三丁目2番5号 霞が関ビルディング 酒井国際特許事務所 Tokyo Sakai International Patent Office Kasumigaseki Building 2-5, Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1006020, JP
優先権情報:
2007-06565114.03.2007JP
発明の名称: (EN) PROBE CARD
(FR) CARTE SONDE
(JA) プローブカード
要約:
(EN) Provided is a probe card which can accurately maintain planarity and parallelism to a prescribed reference surface. A leaf spring (17) presses the vicinity of an end portion on the entire circumference on a surface, i.e., a surface of a probe head (15) with a plurality of probes protruded thereon, to a direction of a substrate. An operating point (Q) of a force applied to the probe head (15) from the leaf spring is positioned inside of the outer periphery of the probe head (15). A retainer (16) presses the vicinity of an end portion on the entire circumference of a space transformer (14) to a direction of the substrate. An operating point (P) of a force applied to the space transformer (14) from the retainer is positioned inside of the outer periphery of the space transformer (14).
(FR) La présente invention concerne une carte sonde qui est en mesure de maintenir de manière précise une planéité et un parallélisme à une surface de référence prescrite. Un ressort à lames (17) appuie sur les environs d'une partie finale sur l'entière circonférence sur une surface, par exemple, une surface d'une tête de sonde (15) avec une pluralité de sondes en saillie là-dessus, vers la direction d'un substrat. Un point opérationnel (Q) d'une force appliquée à la tête de sonde (15) à partir du ressort à lames est positionné à l'intérieur de la périphérie externe de la tête de sonde (15). Un dispositif de retenue (16) appuie sur les environs d'une partie finale sur l'entière circonférence d'un transformateur spatial (14), vers la direction d'un substrat. Un point opérationnel (P) d'une force appliquée au transformateur spatial (14) à partir du dispositif de retenue est positionné à l'intérieur de la périphérie externe du transformateur spatial (14).
(JA)  所定の基準面に対する平面度、平行度を精度よく保つことができるプローブカードを提供する。プローブヘッド15の表面であって複数のプローブが突出する表面の縁端部近傍を全周にわたって基板の方向へ押さえ付けるリーフスプリング17からプローブヘッド15に加わる力の作用点Qをプローブヘッド15の外縁よりも内側に位置させるとともに、スペーストランスフォーマ14の縁端部近傍を全周にわたって基板の方向へ押さえ付けるリテーナ16からスペーストランスフォーマ14に加わる力の作用点Pをスペーストランスフォーマ14の外縁よりも内側に位置させる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
EP2128630JPWO2008126601US20100164518JP5426365