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1. (WO2008126570) オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/126570 国際出願番号: PCT/JP2008/054399
国際公開日: 23.10.2008 国際出願日: 11.03.2008
IPC:
H01L 21/027 (2006.01) ,G02B 3/00 (2006.01) ,G02B 5/00 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
3
単レンズまたは複合レンズ
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
5
レンズ以外の光学要素
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
出願人:
株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 〒1008331 東京都千代田区丸の内三丁目2番3号 Tokyo 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331, JP (AllExceptUS)
北 尚憲 KITA, Naonori [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
北 尚憲 KITA, Naonori; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA, Yoshiki; 〒1040061 東京都中央区銀座一丁目10番6号銀座ファーストビル 創英国際特許法律事務所 Tokyo SOEI PATENT AND LAW FIRM, Ginza First Bldg., 10-6, Ginza 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040061, JP
優先権情報:
2007-06923416.03.2007JP
発明の名称: (EN) OPTICAL INTEGRATOR, ILLUMINATING OPTICAL DEVICE, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) INTÉGRATEUR OPTIQUE, DISPOSITIF OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF
(JA) オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法
要約:
(EN) Provided is an optical integrator having a plurality of wavefront splitting elements arranged two-dimensionally parallel to each other. In the optical integrator, a beam group diagonally entered the optical axis center of an incoming surface of the wavefront splitting element is outputted parallel to the optical axis from the wavefront splitting element. In a prescribed number of wavefront splitting elements (100A) among the wavefront splitting elements, at least one curved optical surface (100a, 100b) of the wavefront splitting elements (100A) passes the optical axis center (100aa) of the incoming surface (100a) of the wavefront splitting elements (100A) and inclines with an axial line (104) in a prescribed direction (x direction) that orthogonally intersects with an optical axis (Axe) at the center.
(FR) L'invention concerne un intégrateur optique ayant une pluralité d'éléments de division de front d'onde agencés parallèles les uns aux autres de manière en deux dimensions. Dans l'intégrateur optique, un groupe de faisceaux étant entré en diagonale le centre d'axe optique d'une surface d'entrée de l'élément de division de front d'onde est émis parallèlement à l'axe optique à partir de l'élément de division de front d'onde. Dans un nombre prescrit d'éléments de division de front d'onde (100A) parmi les éléments de division de front d'onde, au moins une surface optique cintrée (100a, 100b) des éléments (100A) de division de front d'onde passe le centre d'axe optique (100aa) de la surface d'incidence (100a) des éléments de division de front d'onde (100A) et s'incline avec une ligne axiale (104) dans une direction prescrite (direction x) qui coupe de manière orthogonale un axe optique (Axe) au centre.
(JA) 二次元的に並列配置された複数の波面分割要素を有する本発明のオプティカルインテグレータでは、波面分割要素の入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が、光軸と平行に波面分割要素から射出されるように構成されている。そして、複数の波面分割要素のうち、所要数の波面分割要素(100A)では、当該波面分割要素(100A)の少なくとも1つの曲面状の光学面(100a,100b)が、当該波面分割要素(100A)の入射面(100a)の光軸中心(100aa)を通り且つ光軸AXeと直交する所定方向(x方向)の軸線(104)を中心として傾いて形成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020100014265EP2128892US20100103398