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1. (WO2008126501) スクライブ装置及びスクライブ方法
Document

明 細 書

発明の名称 スクライブ装置及びスクライブ方法

技術分野

0001  

背景技術

0002   0003   0004   0005  

発明の開示

発明が解決しようとする課題

0006   0007  

課題を解決するための手段

0008   0009   0010   0011   0012   0013   0014   0015   0016   0017   0018  

発明の効果

0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029  

図面の簡単な説明

0030   0031  

発明を実施するための最良の形態

0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038   0039   0040   0041   0042   0043   0044   0045   0046   0047   0048   0049   0050   0051  

請求の範囲

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11  

図面

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10  

明 細 書

スクライブ装置及びスクライブ方法

技術分野

[0001]
 本発明は、ガラス、半導体などの脆性材料からなる薄板状のワークにスクライブ線を刻むスクライブ装置及び方法に関する。

背景技術

[0002]
 脆性材料からなる薄板状のワークを分断する際には、ワークの表面にはあらかじめスクライブ線が刻み付けられる。スクライブ線を形成後、スクライブ線に沿ってワークを曲げると、スクライブ線のクラックがワークの裏面まで到達し、ワークが分断される。
[0003]
 ワークにスクライブ線を刻むスクライブ方法としては、スクライブヘッドに算盤玉状の回転可能なカッターホイールを設け、カッターホイールをワークに押し付けた状態で、カッターホイールがワークの表面上を転がるようにスクライブヘッドを移動させる方法や、カッターホイールの替わりにポイントダイヤと呼ばれる先端が尖った工具をワークに押し付けてスクライブ線を刻む方法がある。深い垂直クラックを形成するために、カッターホイールやポイントダイヤなどのカッタに振動が付与される場合もある。
[0004]
 図10に示されるように、従来のスクライブ装置においては、ワークWにスクライブ線を刻むとき、ワークWのスクライブ線Lが刻まれる予定の部分を挟んだ両側がテーブル61に固定されていた。そして、カッタをスクライブ線Lが刻まれる予定の部分に沿って相対的に移動させることで、ワークWの表面に垂直クラックを刻んでいた(例えば特許文献1参照)。スクライブ線Lを挟んだ両側をテーブル61に固定することで、ワークを安定して支持することができる。
[0005]
特許文献1 : 特開平9-315832号公報

発明の開示

発明が解決しようとする課題

[0006]
 しかし、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分の両側がテーブルに固定されると、スクライブ時に発生している垂直クラックを成長させようとする方向の力(1)のベクトル(ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力)を抑え込む力(2)が働く。このため、垂直クラックが成長しにくくなり、余剰な力が水平クラックを成長させてしまう。
[0007]
 そこで本発明は、ワークの表面のダメージを少なく、かつ深い浸透を得ることができるスクライブ装置及び方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0008]
 以下、本発明について説明する。上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部が固定され、前記ワークの他方の側を空中に浮いた状態にするテーブルと、空中に浮いた状態にある前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む相対移動機構と、を備えるスクライブ装置である。
[0009]
 請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のスクライブ装置において、前記ワークに前記カッタが当接するとき、前記カッタが当接する側の前記ワークの表面に引張り応力が発生するように、前記カッタが前記ワークを押し曲げることを特徴とする。
[0010]
 請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載のスクライブ装置において、前記ワークを撓ませ、前記ワークの前記他方の側を前記テーブルから浮かせるワーク曲げ手段を備えることを特徴とする。
[0011]
 請求項4に記載の発明は、請求項3に記載のスクライブ装置において、前記ワーク曲げ手段は、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って設けられ、前記ワークと前記テーブルとの間に介在されるシートからなり、前記ワークの前記一方の側を前記テーブルに固定することによって、前記シートを支点にして前記ワークを撓ませることを特徴とする。
[0012]
 請求項5に記載の発明は、請求項4に記載のスクライブ装置において、前記ワーク曲げ手段は、前記テーブルに設けられる複数の空気通過孔からなり、前記ワークの前記一方の側に対応する複数の空気通過孔が前記ワークの一方の側を前記テーブルに真空吸着すると共に、前記ワークの前記他方の側に対応する複数の空気通過孔が前記ワークの前記他方の側に向かって空気を吹き付けることによって、前記ワークを撓ませることを特徴とする。
[0013]
 請求項6に記載の発明は、請求項5に記載のスクライブ装置において、前記複数の空気通過孔は、前記ワークを真空吸着する機能と、前記ワークに向かって空気を吹き付ける機能とを切り替え可能に有し、 前記ワークを真空吸着する系統の複数の空気流通孔の組み合わせと、前記ワークに向かって空気を吹き付ける系統の複数の空気流通孔の組み合わせを変化させることができることを特徴とする。
[0014]
 請求項7に記載の発明は、請求項1又は2に記載のスクライブ装置において、前記ワークの前記他方の側が前記テーブルからはみ出た状態で、前記ワークの前記一方の側の少なくとも一部が前記テーブルに固定されることを特徴とする。
[0015]
 請求項8に記載の発明は、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部が固定され、他方の側が接触するが固定されることのないテーブルと、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む相対移動機構と、を備えるスクライブ装置である。
[0016]
 請求項9に記載の発明は、請求項1ないし8のいずれかに記載のスクライブ装置において、前記スクライブ線は、閉曲線であり、前記テーブルには、前記ワークの前記一方の側である、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分の内側の少なくとも一部が固定され、前記ワークの前記他方の側である、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分の外側が固定されないことを特徴とする。
[0017]
 請求項10に記載の発明は、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部をテーブルに固定し、前記ワークの他方の側が空中に浮いた状態になるように、前記ワークを前記テーブルにセットする工程と、空中に浮いた状態にある前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む工程と、を備えるスクライブ方法である。
[0018]
 請求項11に記載の発明は、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部をテーブルに固定し、他方の側を前記テーブルに接触させるが前記テーブルに固定することのないように、前記ワークを前記テーブルにセットする工程と、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む工程と、を備えるスクライブ方法である。

発明の効果

[0019]
 請求項1に記載の発明によれば、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル(ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力)を抑え込む力が、ワークの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。また、テーブル上でワークをスクライブする方式では、テーブルの平坦度、ワークの厚みの変化等の外的な要因から余剰な力が発生した場合、その力が直接ワークに影響を及ぼし、ワークにダメージを与えるおそれがある。ワークを空中に浮かすことにより、その余剰な力をワークの撓み変形によって逃がすことができ、スクライブ後のワークの品質悪化を防止することができる。
[0020]
 請求項2に記載の発明によれば、ワークの表面に発生した引張り応力が垂直クラックをさらに成長させる。
[0021]
 請求項3に記載の発明によれば、ワークの他方の側をテーブルから空中に浮かせることができる。
[0022]
 請求項4に記載の発明によれば、テーブル上に設けられるシートを支点としてワークを撓ませることができる。
[0023]
 請求項5に記載の発明によれば、テーブルに設けられる空気通過孔からワークの他方の側に向かって空気を吹き付けることで、ワークを撓ませることができる。
[0024]
 請求項6に記載の発明によれば、ワークを吸着する系統の空気流通孔の組み合わせと、ワークに向かって空気を吹き付ける系統の空気流通孔の組み合わせを変化させることによって、一つのテーブルで複数本のスクライブ線を形成することができる。
[0025]
 請求項7に記載の発明によれば、ワークの他方の側を空中に浮かせることができる。
[0026]
 請求項8に記載の発明によれば、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル(ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力)を抑え込む力が、ワークの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。
[0027]
 ワークに閉曲線のスクライブ線を刻んでワークを分断する場合、安定した断面形状を得るためにはスクライブ時に垂直クラックを深く浸透させることが必須条件になる。請求項9に記載の発明によれば、閉曲線のスクライブ線に沿って垂直クラックを深く浸透させることができる。
[0028]
 請求項10に記載の発明によれば、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル(ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力)を抑え込む力が、ワークの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。また、テーブル上でスクライブする方式では、テーブルの平坦度、ワークの厚みの変化等の外的な要因から余剰な力が発生した場合、その力が直接ワークに影響を及ぼし、ワークにダメージを与えるおそれがある。ワークを空中に浮かすことにより、その余剰な力をワークの撓み変形によって逃がすことができ、スクライブ後のワークの品質悪化を防止することができる。
[0029]
 請求項11に記載の発明によれば、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル(ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力)を抑え込む力が、ワークの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。

図面の簡単な説明

[0030]
[図1] 本発明の第一の実施形態のスクライブ装置の斜視図
[図2] テーブル上に吸着されるワークの平面図
[図3] テーブル上に吸着されるワークの断面図(図中(A)は吸着固定時を示し、図中(B)は荷重付加時を示す)
[図4] 本発明の第一の実施形態のスクライブ装置のテーブルの他の例を示す断面図
[図5] 本発明の第一の実施形態のスクライブ装置のテーブルのさらに他の例を示す平面図
[図6] 本発明の第一の実施形態のスクライブ装置のテーブルのさらに他の例を示す断面図
[図7] 本発明の第二の実施形態のスクライブ装置のテーブルの断面図
[図8] 本発明の第二の実施形態のスクライブ装置のテーブルの他の例を示す断面図
[図9] 本発明の第二の実施形態のスクライブ装置のテーブルのさらに他の例を示す断面図
[図10] 従来のスクライブ装置のテーブルを示す断面図

符号の説明

[0031]
1…テーブル
3…Y軸移動機構(相対移動機構)
6…X軸移動機構(相対移動機構)
8…スクライブヘッド
10…カッタ
11…シート
12…支点
21…テーブル
22…テーブル
24…テーブル
31…テーブル
32…空気通過孔
41…テーブル
42a~42g…空気流通孔
L…スクライブ線
W…ワーク

発明を実施するための最良の形態

[0032]
 以下添付図面に基づいて、本発明の第一の実施形態におけるスクライブ装置を説明する。図1はスクライブ装置の斜視図を示す。ガラス、半導体などの脆性材料からなる薄板状のワークはスクライブ装置のテーブル1上に載置される。平坦なテーブル1上には複数の吸着孔が開けられていて、テーブル1上に載せられたワークWを吸着する。テーブル1は基礎フレーム2上に設けられた移動機構であるY軸移動機構3によって水平面内のY方向に移動される。Y軸移動機構3のステージ3a上にはアライメント(位置決め)用のθ軸回転機構4が設けられる。このθ軸回転機構4上にテーブル1が取り付けられる。
[0033]
 基礎フレーム2上にはコラム5が設けられる。コラム5はスクライブヘッド8の移動方向であるX軸方向に伸びる。移動機構であるX軸移動機構6は、スクライブヘッド8を水平面内のX軸方向に移動させる。スクライブヘッド8は、X軸移動機構6のステージに取り付けられる。スクライブヘッド8はZ軸移動機構によって上下方向に移動される。スクライブヘッド8には、水平面内で360度回転する回転ベアリング9を介してカッタ10が取り付けられる。カッタ10は、算盤玉状で垂直面内で回転可能なカッターホイールか、又は先端にダイヤモンドを埋め込んだポイントダイヤである。
[0034]
 スクライブを開始するにあたって、テーブル1上にワークWを載せ、θ軸回転機構4によってワークWのθ軸の位置決めをし、X軸移動機構6及びY軸移動機構3によってワークWのX,Y座標の位置決めをする。ワークWの位置決めが終了したら、Z軸移動機構によってスクライブヘッド8のカッタ10を下降させ、カッタ10をワークWの表面に当接させる。カッタ10に荷重を付与し、所定の切込み量が得られたら、X軸移動機構6によってスクライブヘッド8をX方向に移動させ、これと同時にY軸移動機構3によってテーブル1をY方向へ移動させると、ワークWの表面に水平面内で任意のスクライブ線Lを刻むことが可能になる。この実施形態では、ワークWの表面に四角形の角が円弧状に形成された閉曲線のスクライブ線Lが形成される。
[0035]
 図2はテーブル1上に吸着されるワークWの平面図を示し、図3はテーブル1上に吸着されるワークWの断面図を示す。ワークWをテーブル1に吸着するのに先立って、テーブル1とワークWとの間にはシート11が介在される。シート11は、ワークWのスクライブ線Lが刻まれる予定の部分に沿って四角形の枠状に形成される。そして、ワークWのスクライブ線Lが刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側(枠状のシート11の内側)を、真空吸着によってテーブル1に接触・固定する。すると図3(A)に示されるように、シート11の内周縁がワークWの撓み変形の支点12になってワークWが撓み、ワークWのスクライブ線Lが刻まれる予定の部分を挟んだ他方の側(枠状のシート11の外側)の全体がテーブル1から空中に浮いた片持ち状態になる。スクライブ線Lが刻まれる予定の部分は支点12からシート11の外側に配置され、スクライブ線Lが刻まれる予定の部分の直下には中空が存在する。ワークWをテーブル1に固定した状態では、ワークWの空中に浮いた部分には曲げモーメントや荷重がかけられていない。
[0036]
 空中に浮いた状態にあるワークWにカッタ10を当接させて、カッタ10に荷重を付加すると、図3(B)に示されるように、カッタ10が当接する側のワークWの表面に引張り応力が発生するように(言い換えれば、ワークWが上に凸の曲面になるように)、カッタ10がワークWを押し曲げる。このとき、ワークWの空中に浮いた部分にはカッタ10からの荷重のみが付与される。
[0037]
 この状態で、X軸移動機構6及びY軸移動機構3が、スクライブ線Lが刻まれる予定の部分に沿ってカッタ10をワークWに対して相対的に移動させると、ワークWにスクライブ線Lが刻まれる。ワークWの他方の側には、垂直クラックを成長させるために必要な力を抑え込む力が働かないので、垂直クラックが成長し易くなる。さらに、ガラスの表面に発生した引張り応力は、発生した垂直クラックが成長するように作用するので、垂直クラックをワークWの奥までさらに成長させることが可能になる。
[0038]
 カッタ10はシートの上方にあるワークWにスクライブ線Lを刻む。カッタ10をワークWに押し付けるとき、シート11が撓んだワークWの受けになるので、スクライブ線Lを安定させることができる。
[0039]
 スクライブ線Lを形成した後、ワークWはスクライブ線Lに沿ってブレイクされる。このブレイク工程においては、ワークWをスクライブ線Lに沿って折り曲げ、ワークWの表面の垂直クラックをワークWの裏面まで到達させて、ワークWを分断する。閉曲線のスクライブ線Lに沿ってワークWを分断する場合、マザーガラスから閉曲線の型を抜くような分断になる。ワークWの分断を容易にするために、スクライブ工程において、マザーガラスの端部からスクライブ線Lまで到達する捨線を形成してもよい。ワークWをスクライブ線L及び捨線に沿って複数回に分断することで、ワークWの分断が容易になる。
[0040]
 板状の脆性材料を直線以外の軌跡(異形)で分断(ブレイク)する際、安定した断面形状を得るためには、スクライブ時に垂直クラックを深く浸透させることが必須条件になる。例えばガラスを円弧形状に分断しようとした際に、もし垂直クラックを深く浸透させることができないならば、分断によって成長する垂直クラックが直進しようとするので、円弧形状のスクライブ線Lに追従しなくなる。そのため、スクライブ線Lが形成されるワークWの表面とは反対側のワークWの裏面のガラス形状が円弧形状とならなくなる。また、スクライブ時の垂直クラックが浅く、分断時に大きな曲げ力を必要とするならば、分断時にガラス同士が擦れ、製品部分に大きなダメージを与えてしまう。
[0041]
 垂直クラックを高浸透させるために、従来は特殊な工具や振動を加える等の方法を用いるしかなく、ノーマルホイールだけでは、垂直クラックを深く浸透させることは困難であった。しかし、ワークWとテーブル1との間にシート11を挟むことによって、ノーマルホイールでも垂直クラックの深いスクライブ線Lを容易に得ることが可能となる。閉曲線にスクライブした場合でも、垂直クラックの深いスクライブ線Lを得ることが可能になるので、製品へのダメージを極力少なくした分断が可能になる。
[0042]
 図4は、テーブル1の他の例を示す。この例では、テーブル31に複数の空気通過孔32が設けられている。スクライブ線Lを挟んだワークWの一方の側の少なくとも一部に配置される複数の空気通過孔は、ワークWの一方の側を真空吸着し、ワークWの一方の側をテーブル31に固定する。ワークWの他方の側に配置される複数の空気通過孔32は、ワークWの他方の側に向かって空気を吹き付けることで、ワークWの他方の側を撓ませ、ワークWの他方の側を空中に浮かせている。このように、真空吸着と正圧空気噴出とを組み合わせることで、シート11を使用しなくてもワークWを撓ませることができる。この例では、カッタ10がワークWに当接する位置において、ワークWをテーブル31から浮かせるため、ワークWがテーブル31から浮き上がる位置33は、カッタ10がワークWに当接する位置よりも吸着固定側(図中左側)に配置される。浮き上がる位置33とカッタ10がワークWに当接する位置との間に配置される空気通過孔32は、ワークWに向かって空気を吹き付ける。
[0043]
 図5は、テーブル1のさらに他の例を示す。この例では、複数の空気流通孔42a~42gは、ワークWを真空吸着する機能と、ワークWに向かって空気を吹き付ける機能とを切り替え可能に有する。縦一列に配列された複数の空気流通孔42a~42gは一つの系統としてまとめられていて、一つの系統の空気流通孔42a~42gは、横方向に複数列設けられている。真空吸着する系統の列数と、空気を吹き付ける系統の列数は、ワークWのスクライブ線Lの位置に合わせて変化する。ワークWを真空吸着する系統の複数の空気流通孔42a~42gの組み合わせと、ワークWに向かって空気を吹き付ける系統の複数の空気流通孔42a~42gの組み合わせを変化させることで、ワークWの一方の側を吸着し、他方の側に空気を吹き付ける状態を複数本のスクライブ線Lに対して作り上げることができる。すなわち、一つのテーブル41で複数本のスクライブ線Lを形成することができる。さらに、真空吸着と正圧空気噴出を組み合わせることによって自在にガラスの凸形状を得ることが可能になる。
[0044]
 図6はテーブル1のさらに他の例を示す。この例では、ワークWをテーブル51上で撓ませるのではなく、ワークWをテーブル51からはみ出させることで、ワークWを空中に浮いた状態にする。すなわち、スクライブ線Lを挟んだワークWの他方の側がテーブル51からはみ出た状態で、ワークWの一方の側の少なくとも一部がテーブル51に固定される。ワークWはテーブル51に片持ち支持されていて、カッタ10がワークWに当接する位置は空中に浮いている。ワークWにカッタ10が当接するとき、カッタ10が当接する側のワークWの表面に引張り応力が発生するように、カッタ10がワークWを押し曲げる。
[0045]
 図7は、本発明の第二の実施形態のスクライブ装置のテーブルを示す。この実施形態では、ワークWの全体(スクライブ線Lが刻まれる予定の部分を挟んだ両方の側)が平坦なテーブル21の上面に載せられ、ワークWの全体がテーブル21の上面に接触する。そして、スクライブ線Lが刻まれる予定の部分を挟んだワークWの一方の側のみがテーブル21に固定され、他方の側の全体がテーブル21に固定されていない。この例のテーブル21においても、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル(ワークWの表面内でスクライブ線Lと直交する方向の力)を抑え込む力が、ワークWの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。ただし、テーブル21上でワークWをスクライブする方式であるので、テーブル21の平坦度、ワークWの厚みの変化等の外的な要因から余剰な力が発生した場合、その力が直接ワークWに影響を及ぼし、ワークWにダメージを与えるおそれがある。
[0046]
 図8及び図9は、第二の実施形態のスクライブ装置のテーブル21の他の例を示す。図8に示されるように、テーブル22のスクライブ線Lが刻まれる予定の部分の下方には、溝23が形成されてもよい。また、図9に示されるように、ワークWの他方の側の一部がテーブル24からはみ出していてもよい。
[0047]
 なお、本発明は上記実施形態に限られず、本発明の要旨を変更しない範囲で様々に変更できる。例えば、スクライブ線は閉曲線に限られることなく、直線状に形成されてもよい。
[0048]
 ワークに対するカッタの移動は相対的なものであり、カッタ又はワークのいずれか一方が固定され、他方のみが移動してもよい。
[0049]
 上記実施形態ではワークの上側からカッタを当接させているが、ワークの下側からカッタを当接させてもよい。
[0050]
 上記実施形態では、ワークを撓ませるのにシートを使用しているが、ワークを撓ませることができれば手段は問わない。例えば、シートによる突き上げの替わりに圧電アクチュエータを用いてもよい。
[0051]
 本明細書は、2007年3月30日出願の特願2007-095047に基づく。この内容はすべてここに含めておく。

請求の範囲

[1]
 ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部が固定され、前記ワークの他方の側を空中に浮いた状態にするテーブルと、
 空中に浮いた状態にある前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む相対移動機構と、を備えるスクライブ装置。
[2]
 前記ワークに前記カッタが当接するとき、前記カッタが当接する側の前記ワークの表面に引張り応力が発生するように、前記カッタが前記ワークを押し曲げることを特徴とする請求項1に記載のスクライブ装置。
[3]
 前記ワークを撓ませ、前記ワークの前記他方の側を前記テーブルから浮かせるワーク曲げ手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のスクライブ装置。
[4]
 前記ワーク曲げ手段は、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って設けられ、前記ワークと前記テーブルとの間に介在されるシートからなり、
 前記ワークの前記一方の側を前記テーブルに固定することによって、前記シートを支点にして前記ワークを撓ませることを特徴とする請求項3に記載のスクライブ装置。
[5]
 前記ワーク曲げ手段は、前記テーブルに設けられる複数の空気通過孔からなり、
 前記ワークの前記一方の側に対応する複数の空気通過孔が前記ワークの一方の側を前記テーブルに真空吸着すると共に、前記ワークの前記他方の側に対応する複数の空気通過孔が前記ワークの前記他方の側に向かって空気を吹き付けることによって、前記ワークを撓ませることを特徴とする請求項4に記載のスクライブ装置。
[6]
 前記複数の空気通過孔は、前記ワークを真空吸着する機能と、前記ワークに向かって空気を吹き付ける機能とを切り替え可能に有し、
 前記ワークを真空吸着する系統の複数の空気流通孔の組み合わせと、前記ワークに向かって空気を吹き付ける系統の複数の空気流通孔の組み合わせを変化させることができることを特徴とする請求項5に記載のスクライブ装置。
[7]
 前記ワークの前記他方の側が前記テーブルからはみ出た状態で、前記ワークの前記一方の側の少なくとも一部が前記テーブルに固定されることを特徴とする請求項1又は2に記載のスクライブ装置。
[8]
 ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部が固定され、他方の側が接触するが固定されることのないテーブルと、
 前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む相対移動機構と、を備えるスクライブ装置。
[9]
 前記スクライブ線は、閉曲線であり、
 前記テーブルには、前記ワークの前記一方の側である、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分の内側の少なくとも一部が固定され、前記ワークの前記他方の側である、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分の外側が固定されないことを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載のスクライブ装置。
[10]
 ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部をテーブルに固定し、前記ワークの他方の側が空中に浮いた状態になるように、前記ワークを前記テーブルにセットする工程と、
 空中に浮いた状態にある前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む工程と、を備えるスクライブ方法。
[11]
 ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部をテーブルに固定し、他方の側を前記テーブルに接触させるが前記テーブルに固定することのないように、前記ワークを前記テーブルにセットする工程と、
 前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む工程と、を備えるスクライブ方法。

図面

[ 図 1]

[ 図 2]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]

[ 図 6]

[ 図 7]

[ 図 8]

[ 図 9]

[ 図 10]