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1. (WO2008126454) 基板搬送装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2008/126454 国際出願番号: PCT/JP2008/051779
国際公開日: 23.10.2008 国際出願日: 04.02.2008
IPC:
B65G 49/06 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
出願人: HIRATA, Kensuke[JP/JP]; JP (UsOnly)
WADA, Yoshiyuki[JP/JP]; JP (UsOnly)
IHI CORPORATION[JP/JP]; 1-1, Toyosu 3-chome, Koto-ku, Tokyo 1358710, JP (AllExceptUS)
発明者: HIRATA, Kensuke; JP
WADA, Yoshiyuki; JP
代理人: NAGATO, Kanji; 5F, HYAKURAKU Bldg., 8-1, Shinbashi 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1050004, JP
優先権情報:
2007-10375711.04.2007JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置
要約: front page image
(EN) When a first support body (14d) is positioned at a first position for transferring a substrate (2) between itself and a conveyor (4), a lift unit (10) lowers a transfer unit (14) to lower the first support body (14d) to a predetermined position lower than the lower surface of the substrate (2) conveyed by the conveyor (4). Then, the transfer unit (14) is raised, and thereby the substrate (2) conveyed by the conveyor (4) is raised from the conveyor (4) by the first support body (14d). After the first support body (14d) is raised to a position higher than the upper surface of the substrate (2) conveyed by the conveyor (4), the transfer unit (14) moves the first support body (14d) in the direction of traversing the conveyor (4) to a second position for transferring the substrate (2) between itself and a processing device (6), and transfers the substrate (2) placed on the first support body (14d) to the processing device (6).
(FR) L'invention porte sur une unité de levage (10)qui, lorsqu'un premier corps de support (14d) est positionné à une première position pour transférer un substrat (2) entre lui-même et un transporteur (4), abaisse une unité de transfert (40) pour abaisser le premier corps de support (14d) jusqu'à une position prédéterminée inférieure à la surface inférieure du substrat (2) transporté par le transporteur (4). Ensuite, l'unité de transfert (4) est soulevée, et le substrat (2) transporté par le transporteur (4) est ainsi soulevé à partir du transporteur (4) par le premier corps de support (14d). Après que le premier corps de support (14d) a été soulevé jusqu'à une position plus élevée que la surface supérieure du substrat (2) transporté par le transporteur (4), l'unité de transfert (4) déplace le premier corps de support (14d) dans la direction de traverse du transporteur (4) jusqu'à une seconde position pour transférer le substrat (2) entre lui-même et un dispositif de traitement (6), et transfère le substrat (2) placé sur le premier corps de support (14d) au dispositif de traitement (6).
(JA)  第1支持体(14d)がコンベア(4)との間で基板(2)の受け渡しを行うための第1位置にあるときに、昇降ユニット(10)が移載ユニット(14)を下降させ、コンベア(4)により搬送される基板(2)の下面より低い所定の下降位置まで第1支持体(14d)を下降させる。次に、移載ユニット(14)を上昇させることにより、第1支持体(14d)がコンベア(4)により搬送された基板(2)をコンベア(4)から持ち上げる。第1支持体(14d)がコンベア(4)により搬送される基板(2)の上面より高い位置まで上昇した後、移載ユニット(14)が、処理装置(6)との間で基板(2)の受け渡しを行うための第2位置までコンベア(4)を横断する方向に第1支持体(14d)を移動させ、第1支持体(14d)に載置された基板(2)を処理装置(6)に受け渡す。  
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)