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1. (WO2008126409) 加速度センサおよびその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/126409 国際出願番号: PCT/JP2008/000897
国際公開日: 23.10.2008 国際出願日: 08.04.2008
IPC:
G01P 15/08 (2006.01) ,G01P 15/125 (2006.01) ,H01L 29/84 (2006.01) ,G01C 19/56 (2006.01) ,G01P 9/04 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
P
直線速度または角速度,加速度,減速度または衝撃の測定;運動の有無の指示;運動の方向の指示
15
加速度の測定,減速度の測定;衝撃,すなわち加速度の急激な変化,の測定
02
慣性力の利用によるもの
08
電気値または磁気値への変換を伴うもの
G 物理学
01
測定;試験
P
直線速度または角速度,加速度,減速度または衝撃の測定;運動の有無の指示;運動の方向の指示
15
加速度の測定,減速度の測定;衝撃,すなわち加速度の急激な変化,の測定
02
慣性力の利用によるもの
08
電気値または磁気値への変換を伴うもの
125
容量型ピックアップによるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29
整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部(31/00~47/00,51/05が優先;半導体本体または電極以外の細部23/00;1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品からなる装置27/00
66
半導体装置の型
84
外からの機械的力,例.圧力,の変化によって制御可能なもの
G 物理学
01
測定;試験
C
距離,水準または方位の測定;測量;航行;ジャイロ計器;写真計量または映像計量
19
ジャイロスコープ;振動状態の質量体を用いる回転感知装置;運動状態の質量体を持たない回転感知装置;ジャイロ効果を利用した角速度の測定
56
振動状態の質量体を用いる回転感知装置,例.コリオリ力に基づく振動型角速度センサ
G 物理学
01
測定;試験
P
直線速度または角速度,加速度,減速度または衝撃の測定;運動の有無の指示;運動の方向の指示
9
ジャイロスコープの効果を利用した速度測定,例.ガスまたは電子ビームを用いるもの
04
振動錘,例.音叉,をそなえた回転検出装置を用いるもの
出願人:
パナソニック株式会社 PANASONIC CORPORATION [JP/JP]; 5718501 大阪府門真市大字門真1006番地 Osaka 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501, JP (AllExceptUS)
佐藤一郎 SATOU, Ichirou; null (UsOnly)
発明者:
佐藤一郎 SATOU, Ichirou; null
代理人:
岩橋文雄 IWAHASHI, Fumio; 5718501 大阪府門真市大字門真1006番地 パナソニック株式会社内 Osaka c/o Panasonic Corporation 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501, JP
優先権情報:
2007-10242310.04.2007JP
2007-10242410.04.2007JP
2007-10561513.04.2007JP
発明の名称: (EN) ACCELERATION SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
(FR) CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 加速度センサおよびその製造方法
要約:
(EN) An acceleration sensor is provided with a main substrate having a spindle section, and a facing substrate, which is placed over the main substrate through a protruding section and faces the spindle section of the main substrate through a gap. On the spindle section and on a surface of the facing subsurface which faces the spindle section, facing electrodes facing each other through the gap, are arranged, respectively, a change of a capacitance between the facing electrodes due to a change of the size of the gap between the facing electrodes in accordance with applied acceleration is detected, and acceleration is measured. A signal line extracted from a facing electrode of one substrate is electrically connected to the other substrate through a connecting pad. Then, the signal line lead further from such connection is connected to an external wiring. Since all the external wirings are connected to either the main substrate side or to the facing substrate side of the detecting element, connection is facilitated. Therefore, generation of connection failures and the like are reduced and reliability is improved.
(FR) Capteur d'accélération comportant un substrat principal ayant une section formant axe, et un substrat lui faisant face, qui est placé sur le substrat principal à travers une section en saillie et fait face à la section formant axe du substrat principal à travers un espace. Sur la section formant axe et sur une surface de la surface auxiliaire opposée qui fait face à la section d'axe, des électrodes en vis-à-vis qui se font face de part et d'autre de l'espace sont agencées, respectivement, un changement de capacité entre les électrodes en vis-à-vis provoqué par un changement de dimension de l'espace entre les électrodes en vis-à-vis lié à uneaccélération appliquée est détecté, et l'accélération est mesurée. Une ligne de signal extraite d'une électrode en vis-à-vis d'un premier substrat est reliée électriquement au second substrat par un plot de connexion. Ensuite, le fil conducteur de la ligne de signal au-delà de ladite connexion est relié à un fil externe. Tous les fils externes étant reliéssoit au côté du substrat principal, soit au côté du substrat opposé de l'élément de détection, la connexion se fait plus facilement. On diminue ainsi le risque d'erreurs de connexion ou similaires et on améliore la fiabilité.
(JA)  本発明の加速度センサは、錘部を有する主基板と、突起部を介して主基板と合わさり主基板の錘部とギャップを介して対向する対向基板とを有している。錘部と対向基板との錘部と対向する面とには、ギャップを介して対向する対向電極をそれぞれ有し、加えられた加速度に従って対向電極のギャップの大きさが変化することにより対向電極間の静電容量が変化することを検出し加速度を測定する。一方の基板の対向電極から引き出した信号線は、接続パッドにて他方の基板に電気的に接続される。その先は、外部配線に接続される。外部配線接続が検出素子の主基板側または対向基板側のいずれかに一方に統一されるので、接続が容易となる。したがって、接続不良等の発生も低減し、信頼性の向上が図れる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)