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1. (WO2008126312) 熱式インプリント装置および熱式インプリント方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/126312 国際出願番号: PCT/JP2007/057266
国際公開日: 23.10.2008 国際出願日: 30.03.2007
予備審査請求日: 28.04.2008
IPC:
B29C 59/02 (2006.01) ,B29C 33/02 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
B 処理操作;運輸
29
プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般
C
プラスチックの成形または接合;可塑状態の物質の成形一般;成形品の後処理,例.補修
59
表面成形,例.エンボス;そのための装置
02
機械的手段,例.プレス,によるもの
B 処理操作;運輸
29
プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般
C
プラスチックの成形または接合;可塑状態の物質の成形一般;成形品の後処理,例.補修
33
型またはコア;その細部または付属装置
02
加熱または冷却装置が組み込まれたもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
パイオニア株式会社 PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 〒1538654 東京都目黒区目黒1丁目4番1号 Tokyo 4-1, Meguro 1-chome, Meguro-ku Tokyo 1538654, JP (AllExceptUS)
今井 哲也 IMAI, Tetsuya [JP/JP]; JP (UsOnly)
橋本 和信 HASHIMOTO, Kazunobu [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
今井 哲也 IMAI, Tetsuya; JP
橋本 和信 HASHIMOTO, Kazunobu; JP
代理人:
藤村 元彦 FUJIMURA, Motohiko; 〒1040045 東京都中央区築地4丁目1番1号 東劇ビル 藤村合同特許事務所 Tokyo FUJIMURA PATENT BUREAU Togeki-Bldg. 1-1, Tsukiji 4-chome Chuo-ku, Tokyo 104-0045, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) THERMAL IMPRINTING APPARATUS AND METHOD OF THERMAL IMPRINTING
(FR) APPAREIL D'IMPRESSION THERMIQUE ET PROCÉDÉ D'IMPRESSION THERMIQUE
(JA) 熱式インプリント装置および熱式インプリント方法
要約:
(EN) An apparatus comprising a mold provided on its surface with an uneven pattern to be formed on a transfer layer; press means capable of bringing the mold into close contact with the transfer layer and applying pressure thereto; and a pair of heating means disposed in a position interposing the mold and transfer substratum therebetween and adapted to heat the mold and transfer substratum, wherein at least one of the heating means has multiple heating regions consisting of a central heating region and at least one peripheral heating region surrounding the central heating region, the heating regions respectively having heating capacities different from each other.
(FR) La présente invention concerne un appareil comprenant un moule pourvu sur sa surface d'un motif en relief destiné à être formé sur une couche de transfert ; des moyens formant presse pouvant mettre le moule en contact étroit avec la couche de transfert et exercer une pression dessus ; et une paire de moyens chauffants disposés dans une position intercalant entre eux le moule et le substrat de transfert et adaptés pour chauffer le moule et le substrat de transfert, au moins un des moyens chauffants présentant de multiples régions chauffantes constituées d'une région chauffante centrale et d'au moins une région chauffante périphérique entourant la région chauffante centrale, les régions centrales présentant respectivement des capacités de chauffage différentes les unes des autres.
(JA)  転写層に形成すべき凹凸パターンが表面に形成されたモールドと、モールドを転写層に密着させて加圧する加圧機構と、モールドおよび転写基板を挟む位置に配置され、モールドおよび転写基板を加熱する一対の加熱機構と、を含み、加熱機構のうちの少なくとも一方は、中央加熱領域と中央加熱領域を囲む少なくとも1つの外周加熱領域とからなる複数の加熱領域を有し、加熱領域毎に異なる加熱能力を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
US20100072665